SIC வளர்ச்சிக்கான முக்கிய பொருள் என்ன?

உயர்தர மற்றும் அதிக மகசூல் சிலிக்கான் கார்பைடு அடி மூலக்கூறுகளைத் தயாரிப்பதில், மையத்திற்கு நல்ல வெப்ப புலப் பொருட்களால் உற்பத்தி வெப்பநிலையின் துல்லியமான கட்டுப்பாடு தேவைப்படுகிறது. தற்போது, ​​முக்கியமாக பயன்படுத்தப்படும் வெப்ப புலம் சிலுவை கருவிகள் உயர் தூய்மை கிராஃபைட் கட்டமைப்பு கூறுகள் ஆகும், இதன் செயல்பாடுகள் உருகிய கார்பன் தூள் மற்றும் சிலிக்கான் தூள் ஆகியவற்றை சூடாக்குவதோடு வெப்பத்தை பராமரிப்பதும் ஆகும். கிராஃபைட் பொருட்கள் உயர் குறிப்பிட்ட வலிமை மற்றும் குறிப்பிட்ட மாடுலஸ், நல்ல வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு போன்றவற்றின் பண்புகளைக் கொண்டுள்ளன. இருப்பினும், அவை அதிக வெப்பநிலை ஆக்ஸிஜன் நிறைந்த சூழல்களில் எளிதான ஆக்ஸிஜனேற்றம், மோசமான அம்மோனியா எதிர்ப்பு மற்றும் மோசமான கீறல் எதிர்ப்பு போன்ற குறைபாடுகளைக் கொண்டுள்ளன. சிலிக்கான் கார்பைடு ஒற்றை படிகங்களின் வளர்ச்சியிலும், சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்சியல் செதில்களின் உற்பத்தியிலும், கிராஃபைட் பொருட்களுக்கான பெருகிய முறையில் கடுமையான பயன்பாட்டுத் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்வது கடினம், இது அவற்றின் வளர்ச்சி மற்றும் நடைமுறை பயன்பாட்டை தீவிரமாக கட்டுப்படுத்துகிறது. எனவே, போன்ற உயர் வெப்பநிலை பூச்சுகள்டான்டலம் கார்பைடுஉயரத் தொடங்கியது.

TAC மட்பாண்டங்கள் 3880 with ஐச் சமமாகக் கொண்டுள்ளன, இதில் அதிக கடினத்தன்மை (MOHS கடினத்தன்மை 9-10), ஒப்பீட்டளவில் பெரிய வெப்ப கடத்துத்திறன் (22W · M-1 · K-1), கணிசமான நெகிழ்வு வலிமை (340-400 MPa) மற்றும் ஒப்பீட்டளவில் சிறிய குணகம் (6.6 × 10). அவை சிறந்த வெப்ப வேதியியல் நிலைத்தன்மை மற்றும் சிறந்த இயற்பியல் பண்புகளையும் வெளிப்படுத்துகின்றன. டிஏசி பூச்சுகள் கிராஃபைட் மற்றும் சி/சி கலவைகளுடன் சிறந்த வேதியியல் மற்றும் இயந்திர பொருந்தக்கூடிய தன்மையைக் கொண்டுள்ளன. எனவே, அவை விண்வெளி வெப்ப பாதுகாப்பு, ஒற்றை படிக வளர்ச்சி, ஆற்றல் மின்னணுவியல் மற்றும் மருத்துவ சாதனங்களில் பிற துறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

டாக் பூசப்பட்ட கிராஃபைட் வெற்று கிராஃபைட்டை விட சிறந்த வேதியியல் அரிப்பு எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது அல்லதுSic பூசப்பட்டகிராஃபைட். இது 2600 ° C அதிக வெப்பநிலையில் நிலையான முறையில் பயன்படுத்தப்படலாம் மற்றும் பல உலோக கூறுகளுடன் வினைபுரியாது. இது ஒற்றை-படிக வளர்ச்சி மற்றும் மூன்றாம் தலைமுறை குறைக்கடத்திகளின் செதில் பொறித்தல் ஆகியவற்றின் காட்சிகளில் சிறந்த செயல்திறன் கொண்ட பூச்சு ஆகும், மேலும் செயல்பாட்டில் வெப்பநிலை மற்றும் அசுத்தங்களின் கட்டுப்பாட்டை கணிசமாக மேம்படுத்த முடியும். உயர்தர சிலிக்கான் கார்பைடு செதில்கள் மற்றும் தொடர்புடைய எபிடாக்சியல் செதில்களைத் தயாரிக்கவும். பி.வி.டி கருவிகளில் MOCVD உபகரணங்கள் மற்றும் SIC ஒற்றை படிகங்களில் GAN அல்லது ALN ஒற்றை படிகங்களை வளர்ப்பதற்கு இது மிகவும் பொருத்தமானது, மேலும் வளர்ந்த ஒற்றை படிகங்களின் தரம் கணிசமாக மேம்படுத்தப்பட்டுள்ளது.