செயல்திறன் மற்றும் செலவு மேம்படுத்துதலுக்கான திறவுகோல்: CMP குழம்பு நிலைத்தன்மை கட்டுப்பாடு மற்றும் தேர்வு உத்திகளின் பகுப்பாய்வு

குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில், திகெமிக்கல் மெக்கானிக்கல் பிளானரைசேஷன் (சிஎம்பி)செயல்முறையானது செதில் மேற்பரப்புத் திட்டமிடலை அடைவதற்கான முக்கிய கட்டமாகும், இது அடுத்தடுத்த லித்தோகிராஃபி படிகளின் வெற்றி அல்லது தோல்வியை நேரடியாக தீர்மானிக்கிறது. CMP இல் முக்கியமான நுகர்வுப் பொருளாக, பாலிஷிங் ஸ்லரியின் செயல்திறன் நீக்குதல் வீதத்தைக் (RR) கட்டுப்படுத்துதல், குறைபாடுகளைக் குறைத்தல் மற்றும் ஒட்டுமொத்த விளைச்சலை மேம்படுத்துதல் ஆகியவற்றில் இறுதிக் காரணியாகும்.

இந்த வழிகாட்டி CMP குழம்பு தொழில்நுட்ப கட்டமைப்பின் முறையான பகுப்பாய்வை வழங்குகிறது மற்றும் செலவுக் குறைப்பு மற்றும் செயல்திறன் ஆதாயங்களை அடைய சிக்கலான உற்பத்தி சூழல்களில் செயல்முறை நிலைத்தன்மையை எவ்வாறு பராமரிப்பது என்பதை ஆராய்கிறது.

I. CMP ஸ்லரியின் வழக்கமான கலவை

ஒரு பொதுவான CMP குழம்பு என்பது இரசாயன நடவடிக்கை மற்றும் இயற்பியல் இயந்திர சக்தியின் ஒருங்கிணைந்த தயாரிப்பு ஆகும், இது பின்வரும் முதன்மை கூறுகளைக் கொண்டுள்ளது:

உராய்வுகள்: இயந்திர அகற்றும் திறன்களை வழங்குதல். பொதுவான வகைகளில் நானோ அளவிலான சிலிக்கா, செரியா மற்றும் அலுமினா ஆகியவை அடங்கும்.

ஆக்ஸிஜனேற்றிகள்: உலோக மேற்பரப்பை ஆக்சிஜனேற்றம் செய்வதன் மூலம் இரசாயன எதிர்வினை விகிதங்களை அதிகரிக்கவும்; பொதுவான எடுத்துக்காட்டுகளில் H₂O₂ அல்லது இரும்பு உப்புகள் அடங்கும்.

செலேட்டிங் முகவர்கள்: உலோக அயனிகளுடன் கூடிய வளாகங்களை உருவாக்கி கரைவதை எளிதாக்குகிறது.

அரிப்பு தடுப்பான்கள்: இலக்கு அல்லாத பகுதிகளில் அரிப்பை அடக்குவதன் மூலம் பொருள் தேர்வை மேம்படுத்தவும்.

சேர்க்கைகள்: எதிர்வினை சாளரத்தையும் கணினி நிலைத்தன்மையையும் பராமரிக்கப் பயன்படுத்தப்படும் pH சரிசெய்திகள் மற்றும் சிதறல்களைச் சேர்க்கவும்.

கூழின் இரசாயன மற்றும் உடல் நடத்தைகள் இலக்கு பொருளின் பண்புகளுடன் துல்லியமாக பொருந்த வேண்டும்; இல்லையெனில், கீறல்கள், பாத்திரங்கள் மற்றும் அரிப்பு போன்ற குறைபாடுகள் அறிமுகப்படுத்தப்படும்.①

II. வெவ்வேறு பொருட்களுக்கான ஸ்லரி சிஸ்டம்ஸ்

ஏனெனில் பல்வேறு செதில்களின் பொருள் பண்புகள்பட அடுக்குகள் கணிசமாக வேறுபடுகின்றன, குழம்புகள் தனிப்பயனாக்கப்பட வேண்டும் மற்றும் இலக்கு வைக்கப்பட வேண்டும்:

III. முக்கிய செயல்திறன் அளவீடுகள்

செயல்திறன் ஆதாயங்களுக்கான சாத்தியத்தை மதிப்பிடும்போது, ​​பின்வரும் தொழில்நுட்ப குறிகாட்டிகள் இன்றியமையாதவை:

அகற்றுதல் விகிதம் (RR): ஒரு யூனிட் நேரத்திற்கு (nm/min) அகற்றப்படும் பொருளின் தடிமன், இது ஃபேப் த்ரோபுட்டை நேரடியாக பாதிக்கிறது.

தேர்ந்தெடுக்கும் தன்மை: இலக்கு பொருள் அகற்றும் வீதத்தின் விகிதம் மற்றும் அருகில் உள்ள பொருட்களின் விகிதம்; அதிக தெரிவுநிலை இலக்கு அல்லாத அடுக்குகளை சிறப்பாக பாதுகாக்கிறது.

வேஃபர் நான்-யூனிஃபார்மிட்டிக்குள் (WIWNU): செதில் மேற்பரப்பு முழுவதும் பிளானரைசேஷனின் நிலைத்தன்மையை அளவிடுகிறது.

குறைபாடு: கீறல்கள் மற்றும் நுண்ணிய துகள் எச்சம் போன்ற முக்கியமான மகசூல்-கொல்லும் அளவீடுகளை உள்ளடக்கியது. ஸ்லரி நிலைப்புத்தன்மை: சேமிப்பு மற்றும் பயன்பாட்டின் போது கசடு, திரட்டுதல் அல்லது வண்டல் ஆகியவற்றை எதிர்க்கும் திறன்.

IV.செயல்முறை நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்துவதற்கான தொழில்துறை சிறந்த நடைமுறைகள்

நீண்ட கால "செலவு குறைப்பு மற்றும் செயல்திறன் மேம்பாடு" அடைய, முன்னணி குறைக்கடத்தி நிறுவனங்கள் பின்வரும் நிலைத்தன்மை மேலாண்மை நடைமுறைகளில் கவனம் செலுத்துகின்றன:

இரசாயன மற்றும் இயந்திர சக்திகளின் துல்லிய சமநிலை: இரசாயன கூறுகளுக்கு உராய்வுகளின் விகிதத்தை நேர்த்தியாகச் சரிசெய்வதன் மூலம், எதிர்வினை சமநிலை மூலக்கூறு மட்டத்தில் பராமரிக்கப்படுகிறது, இது மூலத்தில் டிஷிங் குறைபாடுகளைக் குறைக்கிறது.

திரவ நிலைப்புத்தன்மை மற்றும் வடிகட்டுதல் மேலாண்மை: குழம்பு சுழற்சி அமைப்பில் உள்ள pH ஏற்ற இறக்கங்களின் கடுமையான கட்டுப்பாடு, உயர் திறன் வடிகட்டுதல் தொழில்நுட்பத்துடன் இணைந்து, துகள் திரட்டலால் ஏற்படும் கீறல் நிலையற்ற தன்மையைத் தடுக்கிறது.

தனிப்பயனாக்கப்பட்ட செயல்முறைப் பொருத்தம்: செயல்முறை சாளரத்தை அதிகரிக்க, பல்வேறு உடல் கடினத்தன்மைகளுக்காக (எ.கா., உயர் கடினத்தன்மை SiC அல்லது உடையக்கூடிய குறைந்த-k பொருட்கள்) குறிப்பிட்ட குழம்புகள் உருவாக்கப்படுகின்றன.

சீரான கண்காணிப்பு தரநிலைகள்: கண்டிப்பான தொகுதிக் கட்டுப்பாட்டு உத்தியை நிறுவுதல் RR மற்றும் WIWNU போன்ற முக்கிய அளவீடுகள் வெகுஜன உற்பத்தி முழுவதும் சீராக இருப்பதை உறுதி செய்கிறது.

Aஆசிரியர்:செரா-லீ

குறிப்பு:

①CMP ஸ்லர்ரி தேர்வு: ஒரு பொருட்கள் பார்வை - AZoM

②கெமிக்கல் மெக்கானிக்கல் பிளானரைசேஷன் ஸ்லர்ரி கெமிஸ்ட்ரி கண்ணோட்டம் – என்டெக்ரிஸ்