தயாரிப்புகள்
தயாரிப்புகள்
TaC பூச்சு வளையம்
  • TaC பூச்சு வளையம்TaC பூச்சு வளையம்

TaC பூச்சு வளையம்

TAC பூச்சு வளையம் என்பது குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளில் பயன்படுத்த வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு உயர் செயல்திறன் கொண்ட கூறு ஆகும், வெடெக் குறைக்கடத்தி TAC பூச்சு வளையம் அதிக வெப்ப நிலைத்தன்மை, வேதியியல் அரிப்புக்கு எதிர்ப்பு மற்றும் சிறந்த இயந்திர வலிமை ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் குறிப்பாக பொறித்தல் செயல்பாட்டின் போது SIC செஃபர்களை வைத்திருக்கவும் ஆதரிக்கவும் பயன்படுத்தப்படுகிறது, உயர்தர செதில்களை அடைவதற்கு துல்லியமான கட்டுப்பாடு மற்றும் ஆயுள் அவசியம். உங்கள் மேலதிக ஆலோசனையை நாங்கள் எதிர்பார்க்கிறோம்.

VeTek குறைக்கடத்தியின் TaC பூச்சு வளையமானது உயர்தர கிராஃபைட்டிலிருந்து வடிவமைக்கப்பட்டது மற்றும் டான்டலம் கார்பைடு (TaC) உடன் பூசப்பட்டது, இது அதன் சிறந்த பண்புகளுக்கு பெயர் பெற்றது, இது குறைக்கடத்தி செதில் செயலாக்கத்தில் ஒரு தவிர்க்க முடியாத அங்கமாகும்.


வெடெக் செமிகண்டக்டர் டாக் பூச்சு வளையத்தின் முக்கிய அம்சங்கள் மற்றும் நன்மைகள்:


Tantalum carbide (TaC) coating on a microscopic cross-section

●  உயர் வெப்ப நிலைத்தன்மை: டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு வளையத்தின் தனித்துவமான அம்சங்களில் ஒன்று அதிக வெப்பநிலையைத் தாங்கும் திறன் ஆகும். SiC பொறித்தல் செயல்முறையானது உயர்ந்த வெப்பநிலை மற்றும் வினைத்திறன் வாயுக்களை வெளிப்படுத்துவதை உள்ளடக்கியது, மேலும் டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு வளையம் நிலையானதாக இருப்பதை உறுதிசெய்கிறது மற்றும் இந்த கடுமையான சூழ்நிலைகளிலும் அதன் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாட்டைத் தக்க வைத்துக் கொள்கிறது. இந்த வெப்ப மீள்தன்மையானது, நீண்ட காலத்திற்குள் அந்த கூறு தொடர்ந்து சிறந்த முறையில் செயல்படுவதை உறுதி செய்கிறது.


Mochanemance மேம்பட்ட இயந்திர வலிமை: அதிக வலிமை கொண்ட கிராஃபைட் மற்றும் டிஏசி பூச்சு ஆகியவற்றின் கலவையானது மேம்பட்ட இயந்திர பண்புகளுடன் ஒரு கூறுகளை விளைவிக்கிறது, இதனால் டாக் பூசப்பட்ட வளையத்தை அணியவும் கிழிக்கவும் மிகவும் எதிர்க்கிறது. எஸ்.ஐ.சி செதில்களை உறுதியாக வைத்திருப்பதிலும், துல்லியமான பொறிப்பதை உறுதி செய்வதிலும், செயல்பாட்டின் போது எந்தவொரு சிதைவையும் தடுப்பதிலும் அதன் இயந்திர வலிமை முக்கியமானது.


●  வேதியியல் அரிப்பு எதிர்ப்பு: SiC எச்சிங் போன்ற குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளில், கூறுகள் பெரும்பாலும் ஆக்கிரமிப்பு இரசாயனங்கள் மற்றும் எதிர்வினை வாயுக்களுக்கு வெளிப்படும். டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு அரிப்புக்கு எதிராக சிறந்த பாதுகாப்பை வழங்குகிறது, வளையத்தின் பயனுள்ள ஆயுளை கணிசமாக நீட்டிக்கிறது மற்றும் அடிக்கடி மாற்றுவதற்கான தேவையை குறைக்கிறது. இந்த எதிர்ப்பானது பொறித்தல் செயல்பாட்டில் மிகவும் முக்கியமானது, அங்கு கூறுகள் வேதியியல் ரீதியாக வினைபுரியும் பொருட்களுடன் தொடர்ந்து தொடர்பில் இருக்கும்.


●  மேம்பட்ட செயல்திறனுக்கான சிறந்த CoatiTaC பூச்சுகள்: கிராஃபைட் வளையத்தில் உள்ள டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு ஒரு வலுவான மேற்பரப்பை வழங்குகிறது, இது கூறுகளின் ஒட்டுமொத்த செயல்திறனை மேம்படுத்துகிறது. டான்டலம் கார்பைடு அதன் உயர் உருகும் இடத்திற்கு (தோராயமாக 3,880 ° C) புகழ்பெற்றது மற்றும் வேதியியல் எதிர்வினைகளுக்கு அதன் சிறந்த எதிர்ப்பு, குறிப்பாக அரைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகளின் போது பொதுவாக எதிர்கொள்ளும் ஆக்கிரமிப்பு சூழல்களில். இந்த டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு உற்பத்தியின் ஆயுட்காலம் கணிசமாக மேம்படுத்துகிறது, இது இணைக்கப்படாத கிராஃபைட் மோதிரங்களுடன் ஒப்பிடும்போது உயர்ந்த ஆயுள் வழங்குகிறது.


Mochanemance மேம்பட்ட இயந்திர வலிமை: அதிக வலிமை கொண்ட கிராஃபைட் மற்றும் டிஏசி பூச்சு ஆகியவற்றின் கலவையானது மேம்பட்ட இயந்திர பண்புகளுடன் ஒரு கூறுகளை விளைவிக்கிறது, இதனால் டாக் பூசப்பட்ட வளையத்தை அணியவும் கிழிக்கவும் மிகவும் எதிர்க்கிறது. எஸ்.ஐ.சி செதில்களை உறுதியாக வைத்திருப்பதிலும், துல்லியமான பொறிப்பதை உறுதி செய்வதிலும், செயல்பாட்டின் போது எந்தவொரு சிதைவையும் தடுப்பதிலும் அதன் இயந்திர வலிமை முக்கியமானது.


சீனாவில் ஒரு முன்னணி டிஏசி பூச்சு வளைய சப்ளையர், உற்பத்தியாளர் மற்றும் தொழிற்சாலை என, வெடெக் செமிகண்டக்டர் நீண்ட காலமாக குறைக்கடத்தி செயலாக்கத் தொழிலுக்கு மேம்பட்ட டிஏசி பூச்சு வளைய தயாரிப்புகள் மற்றும் தொழில்நுட்ப தீர்வுகளை வழங்குவதில் உறுதியாக உள்ளது, மேலும் தனிப்பயனாக்கப்பட்ட தயாரிப்பு சேவைகளை ஆதரிக்கிறது. சீனாவில் உங்கள் நீண்டகால கூட்டாளராக மாறுவதற்கு வெடெக்செமி உண்மையிலேயே எதிர்நோக்குகிறார்.


TAC பூச்சு இயற்பியல் பண்புகள்

TAC பூச்சு இயற்பியல் பண்புகள்
TaC பூச்சு அடர்த்தி
14.3 (g/cm³)
குறிப்பிட்ட உமிழ்வு
0.3
வெப்ப விரிவாக்க குணகம்
6.3*10-6/கே
டாக் பூச்சு கடினத்தன்மை (எச்.கே)
2000 எச்.கே.
எதிர்ப்பு
1 × 10-5ஓம்* செ.மீ
வெப்ப நிலைத்தன்மை
<2500℃
கிராஃபைட் அளவு மாறுகிறது
-10 ~ -20um
பூச்சு தடிமன்
≥20um வழக்கமான மதிப்பு (35um ± 10um)

வெடெக் குறைக்கடத்தியின் டிஏசி பூச்சு வளைய தயாரிப்பு கடைகள்

SiC Coating Graphite substrateTaC Coating Ring testSilicon carbide ceramic processingSemiconductor process equipment


சூடான குறிச்சொற்கள்: TaC பூச்சு வளையம்
விசாரணையை அனுப்பு
தொடர்பு தகவல்
  • முகவரி

    வாங்டா சாலை, ஜியாங் தெரு, வுய் கவுண்டி, ஜின்ஹுவா சிட்டி, ஜெஜியாங் மாகாணம், சீனா

  • டெல்/

    +86-18069220752

  • மின்னஞ்சல்

    anny@veteksemi.com

சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு, டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு, சிறப்பு கிராஃபைட் அல்லது விலைப்பட்டியல் பற்றிய விசாரணைகளுக்கு, தயவுசெய்து உங்கள் மின்னஞ்சலை எங்களுக்கு அனுப்பவும், நாங்கள் 24 மணி நேரத்திற்குள் தொடர்பில் இருப்போம்.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept