திட SiC ஃபோகஸ் ரிங்

6.முக்கிய பயன்பாட்டு புலங்கள்

7. Veteksemi திட SiC ஃபோகஸ் ரிங் கோர் நன்மைகள்

சிறந்த பிளாஸ்மா அரிப்பு எதிர்ப்பு

CF4, O2 மற்றும் Cl2 போன்ற அதிக அரிக்கும், அதிக அடர்த்தி கொண்ட பிளாஸ்மாக்களுக்கு நீண்டகால வெளிப்பாட்டின் கீழ், வழக்கமான பொருட்கள் விரைவான உடைகள் மற்றும் துகள் மாசுபாட்டிற்கு ஆளாகின்றன. எங்கள் திடமான SiC ஃபோகஸ் ரிங் சிறந்த அரிப்பு எதிர்ப்பை வெளிப்படுத்துகிறது, குவார்ட்ஸ் அல்லது அலுமினா போன்ற பொருட்களை விட அரிப்பு விகிதம் மிகக் குறைவு. இதன் பொருள் இது காலப்போக்கில் ஒரு மென்மையான மேற்பரப்பைப் பராமரிக்கிறது, கூறு தேய்மானம் மற்றும் கிழிவால் ஏற்படும் செதில் குறைபாடுகளின் அபாயத்தை கணிசமாகக் குறைக்கிறது, தொடர்ச்சியான மற்றும் நிலையான வெகுஜன உற்பத்தியை உறுதி செய்கிறது.

சிறந்த உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை மற்றும் வெப்ப மேலாண்மை செயல்திறன்

குறைக்கடத்தி பொறித்தல் செயல்முறை குறிப்பிடத்தக்க வெப்பத்தை உருவாக்குகிறது, இதனால் அறை கூறுகள் வியத்தகு வெப்பநிலை ஏற்ற இறக்கங்களை அனுபவிக்கின்றன. எங்களின் ஃபோகஸ் ரிங்க்கள் வெப்ப விரிவாக்கத்தின் மிகக் குறைந்த குணகத்தைக் கொண்டுள்ளன, 1600 டிகிரி செல்சியஸ் வரையிலான நிலையற்ற வெப்பநிலையை விரிசல் அல்லது சிதைவு இல்லாமல் தாங்கும் திறன் கொண்டது. மேலும், அவற்றின் உள்ளார்ந்த உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன் வெப்பத்தை சமமாகவும் விரைவாகவும் சிதறடிக்க உதவுகிறது, செதில் விளிம்பில் வெப்பநிலை விநியோகத்தை திறம்பட மேம்படுத்துகிறது.முழு செதில் முழுவதும் முக்கியமான பரிமாணங்களின் சீரான மற்றும் நிலைத்தன்மையை பொறித்தல்.

அசாதாரண பொருள் தூய்மை மற்றும் கட்டமைப்பு அடர்த்தி

சிலிக்கான் கார்பைடு மூலப்பொருட்களின் (≥99.999%) தூய்மையை நாங்கள் கண்டிப்பாகக் கட்டுப்படுத்துகிறோம், மேலும் அசுத்தத்தைக் கட்டுப்படுத்துவதற்கான மேம்பட்ட உற்பத்தி செயல்முறைகளின் கடுமையான தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்வதற்காக சின்டரிங் செயல்பாட்டின் போது உலோக மாசுபாட்டை நீக்குகிறோம். உயர்-வெப்பநிலை சின்டரிங் மூலம் உருவாகும் அடர்த்தியான அமைப்பு மிகக் குறைந்த போரோசிட்டியைக் கொண்டுள்ளது, செயல்முறை வாயுக்கள் மற்றும் துணை தயாரிப்புகளின் ஊடுருவலை முற்றிலும் தடுக்கிறது. இது செயல்திறன் சிதைவு மற்றும் உள் பொருள் சிதைவால் ஏற்படும் துகள் வளர்ச்சியைத் தடுக்கிறது, தூய்மையான செயல்முறை அறை சூழலை உறுதி செய்கிறது.

நீண்ட கால இயந்திர வாழ்க்கை மற்றும் விரிவான செலவு-செயல்திறன்

அடிக்கடி மாற்ற வேண்டிய வழக்கமான நுகர்பொருட்களுடன் ஒப்பிடும்போது, ​​Veteksemi திடமான SiC ஃபோகஸ் மோதிரங்கள் விதிவிலக்கான நீடித்துழைப்பை வழங்குகின்றன. அவர்கள் தங்கள் சேவை வாழ்க்கை முழுவதும் நிலையான செயல்திறனை பராமரிக்கிறார்கள், மாற்று சுழற்சிகளை பல முறை நீட்டிக்கிறார்கள். இது நேரடியாக உதிரி பாக கொள்முதல் செலவைக் குறைப்பது மட்டுமல்லாமல், பராமரிப்புக்கான உபகரணங்கள் வேலையில்லா நேரத்தைக் குறைப்பதன் மூலம் இயந்திர பயன்பாட்டை கணிசமாக மேம்படுத்துகிறது, இதன் விளைவாக வாடிக்கையாளர்களுக்கு குறிப்பிடத்தக்க ஒட்டுமொத்த செலவு நன்மைகள் கிடைக்கும்.

துல்லியமான அளவு கட்டுப்பாடு மற்றும் நெகிழ்வான தனிப்பயனாக்குதல் சேவைகள்

பல்வேறு இயந்திரங்கள் மற்றும் நுகர்பொருட்களுக்கான செயல்முறைகளின் துல்லியமான தேவைகளை நாங்கள் புரிந்துகொள்கிறோம். ஒவ்வொரு ஃபோகஸ் வளையமும் ±0.05மிமீக்குள் முக்கியமான பரிமாண சகிப்புத்தன்மையை உறுதிசெய்ய துல்லியமான எந்திரம் மற்றும் கடுமையான சோதனைக்கு உட்படுகிறது. தனிப்பயன் அளவுகள், மேற்பரப்பு முடிப்புகள் (Ra ≤ 0.2μm வரை மெருகூட்டல்), மற்றும் கடத்துத்திறன் சரிசெய்தல் உள்ளிட்ட தனிப்பயனாக்கப்பட்ட சேவைகளை நாங்கள் வழங்குகிறோம்.

விரிவான தொழில்நுட்ப விவரக்குறிப்புகள், வெள்ளைத் தாள்கள் அல்லது மாதிரி சோதனை ஏற்பாடுகளுக்கு, Veteksemi உங்கள் செயல்முறை செயல்திறனை எவ்வாறு மேம்படுத்தலாம் என்பதை ஆராய எங்கள் தொழில்நுட்ப ஆதரவுக் குழுவைத் தொடர்பு கொள்ளவும்.