டான்டலம் கார்பைடு வழிகாட்டி வளையம்

இது குறைக்கடத்திடான்டலம் கார்பைடு வழிகாட்டி ரின்gவடிவமைக்கப்பட்டுள்ளதுகிராஃபைட்மற்றும்டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்டது, சிறந்த செயல்திறன் மற்றும் நீண்ட ஆயுளை உறுதிப்படுத்த இரு பொருட்களின் சிறந்த பண்புகளை மேம்படுத்தும் கலவையாகும்.

திடாக் பூச்சுடான்டலம் கார்பைடு வழிகாட்டி வளையத்தில் இது எஸ்.ஐ.சி படிக வளர்ச்சி உலைகளின் எதிர்வினை வளிமண்டலங்களில் வேதியியல் ரீதியாக செயலற்றதாக இருப்பதை உறுதி செய்கிறது, இதில் பெரும்பாலும் ஹைட்ரஜன், ஆர்கான் மற்றும் நைட்ரஜன் போன்ற வாயுக்கள் அடங்கும். வளர்ந்து வரும் படிகத்தின் எந்தவொரு மாசுபாட்டையும் தடுக்க இந்த வேதியியல் செயலற்ற தன்மை மிக முக்கியமானது, இது குறைபாடுகள் மற்றும் இறுதி குறைக்கடத்தி தயாரிப்புகளின் செயல்திறனைக் குறைக்கும். கூடுதலாக, TAC பூச்சு வழங்கிய வெப்ப நிலைத்தன்மை டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு வழிகாட்டி வளையத்தை தேவையான உயர் வெப்பநிலையில் திறம்பட செயல்பட அனுமதிக்கிறதுSic படிக வளர்ச்சி, பொதுவாக 2000 ° C ஐ விட அதிகமாக உள்ளது.

கூடுதலாக, டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு வளையத்தில் கிராஃபைட் மற்றும் டாக் ஆகியவற்றின் கலவையானது படிக வளர்ச்சி உலைக்குள் வெப்ப நிர்வாகத்தை மேம்படுத்துகிறது. கிராஃபைட்டின் உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன் திறமையாக வெப்பத்தை விநியோகிக்கிறது, ஹாட்ஸ்பாட்களைத் தடுக்கிறது மற்றும் சீரான படிக வளர்ச்சியை ஊக்குவிக்கிறது. இதற்கிடையில், டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு ஒரு வெப்பத் தடையாக செயல்படுகிறது, கிராஃபைட் கோரை அதிக வெப்பநிலை மற்றும் எதிர்வினை வாயுக்களுக்கு நேரடி வெளிப்பாட்டிலிருந்து பாதுகாக்கிறது. கோர் மற்றும் பூச்சுப் பொருட்களுக்கு இடையிலான இந்த சினெர்ஜி ஒரு வழிகாட்டி வளையத்தில் விளைகிறது, இது எஸ்.ஐ.சி படிக வளர்ச்சியின் கடுமையான நிலைமைகளைத் தாங்குவது மட்டுமல்லாமல், செயல்முறையின் ஒட்டுமொத்த செயல்திறனையும் தரத்தையும் மேம்படுத்துகிறது.

வெடெக் செமிகண்டக்டர் டான்டலம் கார்பைட்டின் இயந்திர பண்புகள் டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு வளையத்தில் உடைகளை வெகுவாகக் குறைக்கின்றன. மீண்டும் மீண்டும் நிகழும் தன்மை காரணமாக இது முக்கியமானதுபடிக வளர்ச்சி செயல்முறை, இது வழிகாட்டி வளையத்தை அடிக்கடி வெப்ப சுழற்சிகள் மற்றும் இயந்திர அழுத்தங்களுக்கு அம்பலப்படுத்துகிறது. டான்டலம் கார்பைட்டின் கடினத்தன்மை மற்றும் உடைகள் எதிர்ப்பு ஆகியவை வழிகாட்டி வளையம் அதன் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாடு மற்றும் துல்லியமான பரிமாணங்களை நீண்ட காலத்திற்கு பராமரிப்பதை உறுதி செய்கிறது, மேலும் அடிக்கடி மாற்றுவதற்கான தேவையை குறைக்கிறது மற்றும் உற்பத்தி செயல்பாட்டில் வேலையில்லா நேரத்தைக் குறைக்கிறது.

வெடெக் செமிகண்டக்டர் டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு வழிகாட்டி வளையம் குறைக்கடத்தி துறையில் ஒரு முக்கிய அங்கமாகும், குறிப்பாக வளர்ச்சிக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளதுசிலிக்கான் கார்பைடு படிகங்கள். அதன் வடிவமைப்பு கிராஃபைட் மற்றும் டான்டலம் கார்பைட்டின் பலங்களை அதிக வெப்பநிலை, உயர் அழுத்த சூழல்களில் விதிவிலக்கான செயல்திறனை வழங்குகிறது. TAC பூச்சு வேதியியல் செயலற்ற தன்மை, இயந்திர ஆயுள் மற்றும் வெப்ப நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது, இவை அனைத்தும் உயர்தர SIC படிகங்களை உருவாக்குவதற்கு முக்கியமானவை. தீவிர நிலைமைகளின் கீழ் அதன் ஒருமைப்பாட்டையும் செயல்பாட்டையும் பராமரிப்பதன் மூலம், வழிகாட்டி வளையம் SIC படிகங்களின் திறமையான மற்றும் குறைபாடு இல்லாத வளர்ச்சியை ஆதரிக்கிறது, இது உயர் சக்தி மற்றும் உயர் அதிர்வெண் குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் முன்னேற்றத்திற்கு பங்களிக்கிறது.

ஒரு நுண்ணிய குறுக்குவெட்டில் டான்டலம் கார்பைடு (டிஏசி) பூச்சு:

TAC பூச்சு இயற்பியல் பண்புகள்: