SiC படிக வளர்ச்சிக்காக டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூசப்பட்ட நுண்துளை கிராஃபைட்

VeTek செமிகண்டக்டர் டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட போரஸ் கிராஃபைட் நான்கு முக்கிய தொழில்நுட்ப செயல்பாடுகள் மூலம் SiC படிக வளர்ச்சி சூழலை மேம்படுத்த வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது:

● நீராவி கூறு வடிகட்டுதல்: துல்லியமான நுண்துளை அமைப்பு உயர்-தூய்மை வடிகட்டியாக செயல்படுகிறது, விரும்பிய நீராவி கட்டங்கள் மட்டுமே படிக உருவாக்கத்திற்கு பங்களிப்பதை உறுதிசெய்து, அதன் மூலம் ஒட்டுமொத்த தூய்மையை மேம்படுத்துகிறது.

● துல்லியமான வெப்பநிலை கட்டுப்பாடு: TaC பூச்சு வெப்ப நிலைப்புத்தன்மை மற்றும் கடத்துத்திறனை மேம்படுத்துகிறது, இது உள்ளூர் வெப்பநிலை சாய்வுகளின் துல்லியமான சரிசெய்தல் மற்றும் வளர்ச்சி விகிதங்களில் சிறந்த கட்டுப்பாட்டை அனுமதிக்கிறது.

● வழிகாட்டப்பட்ட ஓட்டம் திசை: கட்டமைப்பு வடிவமைப்பு, பொருள்களின் வழிகாட்டுதல் ஓட்டத்தை எளிதாக்குகிறது, சீரான வளர்ச்சியை ஊக்குவிக்க தேவையான இடங்களில் பொருட்கள் சரியாக வழங்கப்படுவதை உறுதி செய்கிறது.

● பயனுள்ள கசிவு கட்டுப்பாடு: வளர்ச்சி வளிமண்டலத்தின் ஒருமைப்பாடு மற்றும் ஸ்திரத்தன்மையை பராமரிக்க எங்கள் தயாரிப்பு சிறந்த சீல் பண்புகளை வழங்குகிறது.

TaC பூச்சுகளின் இயற்பியல் பண்புகள்

பாரம்பரிய கிராஃபைட்டுடன் ஒப்பீடு

நுண்ணிய குறுக்குவெட்டில் டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சு

பயன்பாட்டின் தாக்கம்: PVT செயல்முறையில் குறைபாட்டைக் குறைத்தல்

PVT (உடல் நீராவி போக்குவரத்து) செயல்பாட்டில், வழக்கமான கிராஃபைட்டை VeTek இன் TaC பூசப்பட்ட போரஸ் கிராஃபைட்டுடன் மாற்றுவது வரைபடத்தில் காட்டப்பட்டுள்ள பொதுவான குறைபாடுகளை நேரடியாக நிவர்த்தி செய்கிறது:

● Eகார்பன் சேர்க்கைகளை கட்டுப்படுத்துதல்: திடமான துகள்களுக்கு ஒரு தடையாக செயல்படுவதன் மூலம், இது கார்பன் சேர்ப்புகளை திறம்பட நீக்குகிறது மற்றும் பாரம்பரிய சிலுவைகளில் பொதுவான மைக்ரோபைப்புகளை குறைக்கிறது.

● கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாட்டை பாதுகாத்தல்: இது நீண்ட சுழற்சி SiC ஒற்றை படிக வளர்ச்சியின் போது எட்ச் குழிகள் மற்றும் நுண்குழாய்கள் உருவாவதை தடுக்கிறது.

● அதிக மகசூல் மற்றும் தரம்: பாரம்பரிய பொருட்களுடன் ஒப்பிடும்போது, ​​TaC பூசப்பட்ட கூறுகள் ஒரு தூய்மையான வளர்ச்சி சூழலை உறுதி செய்கின்றன, இதன் விளைவாக கணிசமாக அதிக படிக தரம் மற்றும் உற்பத்தி மகசூல் கிடைக்கும்.