CVD TaC பூசப்பட்ட சஸ்செப்டர்

தயாரிப்பு வரையறை மற்றும் கலவை

VETEK CVD TaC கோடட் சஸ்செப்டர் என்பது மூன்றாம் தலைமுறை செமிகண்டக்டர் (SiC, GaN, AlN) எபிடாக்சியல் செயலாக்கத்திற்கு குறிப்பாகப் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு உயர்நிலை செதில் கேரியர் கூறு ஆகும். இந்த தயாரிப்பு இரண்டு உயர் செயல்திறன் கொண்ட பொருட்களின் உடல் நன்மைகளை ஒருங்கிணைக்கிறது:

உயர்-தூய்மை கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு: அடி மூலக்கூறு உயர்ந்த கட்டமைப்பு வலிமை, அதிக அடர்த்தி மற்றும் வெப்ப செயலாக்க நிலைத்தன்மை ஆகியவற்றைக் கொண்டிருப்பதை உறுதிசெய்ய ஒரு ஐசோஸ்டேடிக் அழுத்தி மோல்டிங் செயல்முறையைப் பயன்படுத்துகிறது.

CVD TaC பூச்சு: ஒரு அடர்த்தியான, அழுத்தம் இல்லாத டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பாதுகாப்பு அடுக்கு மேம்பட்ட இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) தொழில்நுட்பத்தின் மூலம் கிராஃபைட் மேற்பரப்பில் வளர்க்கப்படுகிறது.

முக்கிய தொழில்நுட்ப நன்மைகள்: அசாதாரண தீவிர சூழல் தழுவல்

MOCVD செயல்பாட்டில், TaC பூச்சு ஒரு உடல் பாதுகாப்பு அடுக்கு மட்டுமல்ல, செயல்முறை மீண்டும் நிகழும் தன்மையை உறுதி செய்வதற்கான மையமாகவும் உள்ளது:

அதிக வெப்பநிலைக்கு சகிப்புத்தன்மை: TaC ஆனது 3880°C வரை உருகும் புள்ளியைக் கொண்டுள்ளது, 1600°C க்கும் அதிகமான அதி-உயர் வெப்பநிலை எபிடாக்சியல் செயல்முறைகளிலும் சிறந்த வடிவ நிலைத்தன்மையைப் பராமரிக்கிறது.

சிறந்த அரிப்பு எதிர்ப்பு: NH₃(அம்மோனியா) அல்லது H₂(ஹைட்ரஜன்) கொண்ட வலுவான குறைக்கும் சூழல்களில், TaC இன் அரிப்பு விகிதம் மிகவும் குறைவாக உள்ளது, அடி மூலக்கூறு இழப்பு மற்றும் தூய்மையற்ற மழைப்பொழிவை திறம்பட தடுக்கிறது.

அல்ட்ரா-உயர் தூய்மை உத்தரவாதம்: பூச்சு தூய்மை 99.9995% வரை அதிகமாக உள்ளது. அதன் அடர்த்தியான அமைப்பு கிராஃபைட் மைக்ரோபோர்களை முற்றிலுமாக மூடுகிறது, எபிடாக்சியல் படம் மிகக் குறைந்த தூய்மையற்ற நிலைகளை அடைவதை உறுதி செய்கிறது.

துல்லியமான வெப்ப புல விநியோகம்: VETEK இன் உகந்த பூச்சுக் கட்டுப்பாட்டுத் தொழில்நுட்பமானது, சஸ்பெப்டர் மேற்பரப்பு வெப்பநிலை வேறுபாடு ±2°Cக்குள் கட்டுப்படுத்தப்படுவதை உறுதிசெய்கிறது, இது செதில் எபிடாக்சியல் லேயரின் தடிமன் மற்றும் அலைநீள நிலைத்தன்மையை கணிசமாக மேம்படுத்துகிறது.

தொழில்நுட்ப அளவுருக்கள்

நுண்ணிய குறுக்குவெட்டில் டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சு:

முக்கிய பயன்பாட்டு புலங்கள்

SiC (சிலிக்கான் கார்பைடு) எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி: 6-இன்ச், 8-இன்ச் மற்றும் பெரிய அளவிலான SiC பவர் சாதனங்களின் உற்பத்தியை ஆதரிக்கிறது.

GaN (காலியம் நைட்ரைடு) அடிப்படையிலான சாதனங்கள்: அதிக பிரகாசம் கொண்ட LEDகள், HEMT பவர் சாதனங்கள் மற்றும் RF சில்லுகளுக்கான MOCVD செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

AlN (அலுமினியம் நைட்ரைடு) மற்றும் UVC வளர்ச்சி: டீப் UV LEDகள் போன்ற அல்ட்ரா-வைட் பேண்ட்கேப் பொருட்களுக்கான தீவிர உயர் வெப்பநிலை (1400°C+) கேரியர் தீர்வுகளை வழங்குகிறது.

தனிப்பயனாக்கப்பட்ட ஆராய்ச்சி ஆதரவு: பல்வேறு ஒழுங்கற்ற பாகங்கள் மற்றும் பல துளை வட்டுகளுக்கான ஆராய்ச்சி நிறுவனங்களின் துல்லியமான தனிப்பயனாக்குதல் தேவைகளுக்கு ஏற்றது.

இணக்கமான மாதிரிகள் மற்றும் தனிப்பயனாக்குதல் சேவைகள்

VETEK ஆனது துல்லியமான இயந்திர செயலாக்கம் மற்றும் பூச்சு திறன்களைக் கொண்டுள்ளது, உலகளாவிய முக்கிய MOCVD உபகரணங்களுடன் முழுமையாகத் தழுவுகிறது:

AIXTRON: பல்வேறு கிரக சுழற்சி வட்டுகள் மற்றும் தளங்களை ஆதரிக்கிறது.

வீகோ: K465i, Propel மற்றும் பிற செங்குத்து susceptor தொடர்களை ஆதரிக்கிறது.

AMEC மற்றும் பிற: முழுமையாக இணக்கமான மாற்று பாகங்கள் அல்லது மேம்படுத்தல் தீர்வுகளை வழங்குகிறது.