சி.வி.டி டாக் பூச்சு செதில் கேரியர்

குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறையின் போது, ​​வெடெக் செமிகண்டக்டர்சி.வி.டி டாக் பூச்சு செதில் கேரியர்செதில்களை எடுத்துச் செல்ல பயன்படுத்தப்படும் தட்டு. இந்த தயாரிப்பு ஒரு வேதியியல் நீராவி படிவு (சி.வி.டி) செயல்முறையைப் பயன்படுத்துகிறதுசெதில் கேரியர் அடி மூலக்கூறு. இந்த பூச்சு செதில் கேரியரின் ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பை கணிசமாக மேம்படுத்துகிறது, அதே நேரத்தில் செயலாக்கத்தின் போது துகள் மாசுபாட்டைக் குறைக்கும். குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்தில் இது ஒரு முக்கிய அங்கமாகும்.

குறைக்கடத்தியை கையாள்கிறதுசி.வி.டி டாக் பூச்சு செதில் கேரியர்ஒரு அடி மூலக்கூறு மற்றும் aடான்டலம் கார்பைடு (டிஏசி) பூச்சு.

டான்டலம் கார்பைடு பூச்சுகளின் தடிமன் பொதுவாக 30 மைக்ரான் வரம்பில் உள்ளது, மேலும் TAC 3,880 ° C வரை உருகும் புள்ளியைக் கொண்டுள்ளது, அதே நேரத்தில் சிறந்த அரிப்பு மற்றும் உடைகள் எதிர்ப்பை வழங்குகிறது.

கேரியரின் அடிப்படை பொருள் உயர் தூய்மை கிராஃபைட் அல்லதுசிலிக்கான் கார்பைடு (sic), பின்னர் TAC இன் ஒரு அடுக்கு (2000HK வரை NOOP கடினத்தன்மை) அதன் அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் இயந்திர வலிமையை மேம்படுத்த ஒரு CVD செயல்முறை மூலம் மேற்பரப்பில் பூசப்படுகிறது.

செதில் செயல்பாட்டின் போது, ​​வெடெக் குறைக்கடத்திசி.வி.டி டாக் பூச்சு செதில் கேரியர்பின்வரும் முக்கியமான பாத்திரங்களை வகிக்கலாம்:

1. செதில்களின் பாதுகாப்பு

உடல் பாதுகாப்பு கேரியர் செதில் மற்றும் வெளிப்புற இயந்திர சேத மூலங்களுக்கு இடையில் ஒரு உடல் தடையாக செயல்படுகிறது. வேதியியல் - நீராவி படிவு (சி.வி.டி) அறை மற்றும் ஒரு பொறித்தல் கருவி போன்ற வெவ்வேறு செயலாக்க உபகரணங்களுக்கு இடையில் செதில்கள் மாற்றப்படும்போது, ​​அவை கீறல்கள் மற்றும் தாக்கங்களுக்கு ஆளாகின்றன. சி.வி.டி டிஏசி பூச்சு செதில் கேரியர் ஒப்பீட்டளவில் கடினமான மற்றும் மென்மையான மேற்பரப்பைக் கொண்டுள்ளது, இது சாதாரண கையாளுதல் சக்திகளைத் தாங்கும் மற்றும் செதில் மற்றும் கடினமான அல்லது கூர்மையான பொருள்களுக்கு இடையில் நேரடி தொடர்பைத் தடுக்கலாம், இதனால் செதில்களுக்கு உடல் சேதம் ஏற்படும் அபாயத்தைக் குறைக்கிறது.

வேதியியல் பாதுகாப்பு TAC சிறந்த வேதியியல் நிலைத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளது. ஈரமான பொறித்தல் அல்லது ரசாயன சுத்தம் போன்ற செதில் செயல்பாட்டில் பல்வேறு வேதியியல் சிகிச்சை நடவடிக்கைகளின் போது, ​​சி.வி.டி டிஏசி பூச்சு வேதியியல் முகவர்கள் கேரியர் பொருளுடன் நேரடி தொடர்புக்கு வருவதைத் தடுக்கலாம். இது அரிப்பு மற்றும் ரசாயன தாக்குதலில் இருந்து செதில் கேரியரைப் பாதுகாக்கிறது, இது கேரியரிடமிருந்து செதில்களாக வெளியிடப்படுவதை உறுதிசெய்கிறது, இதன் மூலம் செதில் மேற்பரப்பு வேதியியலின் ஒருமைப்பாட்டை பராமரிக்கிறது.

2. ஆதரவு மற்றும் சீரமைப்பு

நிலையான ஆதரவு செதில் கேரியர் செதில்களுக்கான நிலையான தளத்தை வழங்குகிறது. செதில்கள் அதிக வெப்பநிலை சிகிச்சை அல்லது உயர் -அழுத்த சூழல்களுக்கு உட்படுத்தப்படும் செயல்முறைகளில், அதிக வெப்பநிலை உலை போன்றவை, கேரியர் செதில்களை சமமாக ஆதரிக்க முடியும். கேரியரின் சரியான வடிவமைப்பு மற்றும் உயர் - தரமான டிஏசி பூச்சு செதிலில் சீரான அழுத்த விநியோகத்தை உறுதி செய்கிறது, அதன் தட்டையான தன்மை மற்றும் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாட்டை பராமரிக்கிறது.

துல்லியமான சீரமைப்பு பல்வேறு லித்தோகிராஃபி மற்றும் படிவு செயல்முறைகளுக்கு துல்லியமான சீரமைப்பு முக்கியமானது. செதில் கேரியர் துல்லியமான சீரமைப்பு அம்சங்களுடன் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. இந்த சீரமைப்பு அம்சங்களின் பரிமாண துல்லியத்தை காலப்போக்கில் பராமரிக்க TAC பூச்சு உதவுகிறது, பல பயன்பாடுகள் மற்றும் வெவ்வேறு செயலாக்க நிலைமைகளுக்கு வெளிப்பட்ட பிறகு கூட. செயலாக்க கருவிகளுக்குள் செதில்கள் துல்லியமாக நிலைநிறுத்தப்படுவதை இது உறுதி செய்கிறது, இது செதில் மேற்பரப்பில் குறைக்கடத்தி பொருட்களின் துல்லியமான வடிவமைத்தல் மற்றும் அடுக்குதல் ஆகியவற்றை செயல்படுத்துகிறது.

3. வெப்ப பரிமாற்றம்

வெப்ப ஆக்ஸிஜனேற்றம் மற்றும் சி.வி.டி போன்ற பல செதில் செயல்முறைகளில் சீரான வெப்ப விநியோகம், துல்லியமான வெப்பநிலை கட்டுப்பாடு அவசியம். சி.வி.டி டிஏசி பூச்சு செதில் கேரியர் நல்ல வெப்ப கடத்துத்திறன் பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது. இது வெப்ப நடவடிக்கைகளின் போது வெப்பத்தை சமநிலைக்கு சமமாக மாற்றலாம் மற்றும் குளிரூட்டும் செயல்முறைகளின் போது வெப்பத்தை அகற்றலாம். இந்த சீரான வெப்ப பரிமாற்றம் செதிலில் வெப்பநிலை சாய்வுகளைக் குறைக்க உதவுகிறது, மேலும் வெப்ப அழுத்தங்களைக் குறைக்கிறது, இது குறைக்கடத்தி சாதனங்களில் குறைபாடுகளை ஏற்படுத்தக்கூடும்.

மேம்பட்ட வெப்பம் - பரிமாற்ற செயல்திறன் TAC பூச்சு ஒட்டுமொத்த வெப்பத்தை மேம்படுத்தலாம் - செதில் கேரியரின் பரிமாற்ற பண்புகள். பிற பூச்சுகளைக் கொண்ட இணைக்கப்படாத கேரியர்கள் அல்லது கேரியர்களுடன் ஒப்பிடும்போது, ​​TAC பூச்சு மேற்பரப்பு மிகவும் சாதகமான மேற்பரப்பைக் கொண்டிருக்கலாம் - சுற்றியுள்ள சூழலுடனும், செதிலுடனும் வெப்ப பரிமாற்றத்திற்கான ஆற்றல் மற்றும் அமைப்பு. இது மிகவும் திறமையான வெப்ப பரிமாற்றத்தை விளைவிக்கிறது, இது செயலாக்க நேரத்தைக் குறைத்து, செதில் உற்பத்தி செயல்முறையின் உற்பத்தி செயல்திறனை மேம்படுத்தலாம்.

4. மாசு கட்டுப்பாடு

குறைந்த - விஞ்சும் பண்புகள் TAC பூச்சு பொதுவாக குறைந்த வெளிச்செல்லும் நடத்தையை வெளிப்படுத்துகிறது, இது செதில் புனையல் செயல்முறையின் சுத்தமான சூழலில் முக்கியமானது. செதில் கேரியரிடமிருந்து கொந்தளிப்பான பொருட்களை விஞ்சுவது செதில் மேற்பரப்பு மற்றும் செயலாக்க சூழலை மாசுபடுத்தும், இது சாதன தோல்விகள் மற்றும் குறைக்கப்பட்ட விளைச்சலுக்கு வழிவகுக்கும். சி.வி.டி டிஏசி பூச்சுகளின் குறைந்த - குறைவான தன்மை, கேரியர் தேவையற்ற அசுத்தங்களை இந்த செயல்பாட்டில் அறிமுகப்படுத்தாது என்பதை உறுதி செய்கிறது, குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் உயர் -தூய்மை தேவைகளைப் பராமரிக்கிறது.

துகள் - இலவச மேற்பரப்பு சி.வி.டி டிஏசி பூச்சுகளின் மென்மையான மற்றும் சீரான தன்மை கேரியர் மேற்பரப்பில் துகள் உருவாக்கத்தின் வாய்ப்பைக் குறைக்கிறது. துகள்கள் செயலாக்கத்தின் போது செதிலைக் கடைப்பிடிக்கலாம் மற்றும் குறைக்கடத்தி சாதனங்களில் குறைபாடுகளை ஏற்படுத்தும். துகள் தலைமுறையை குறைப்பதன் மூலம், TAC பூச்சு செதில் கேரியர் செதில் உற்பத்தி செயல்முறையின் தூய்மையை மேம்படுத்தவும் தயாரிப்பு விளைச்சலை அதிகரிக்கவும் உதவுகிறது.

ஒரு நுண்ணிய குறுக்குவெட்டில் டான்டலம் கார்பைடு (டிஏசி) பூச்சு:

சி.வி.டி டிஏசி பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்：

இது குறைக்கடத்திசி.வி.டி டிஏசி பூச்சு செதில் கேரியர் உற்பத்தி கடைகள்: