தயாரிப்புகள்
தயாரிப்புகள்
டாக் பூச்சு சக்
  • டாக் பூச்சு சக்டாக் பூச்சு சக்

டாக் பூச்சு சக்

வெடெக் செமிகண்டக்டரின் டிஏசி பூச்சு சக் மேற்பரப்பில் உயர்தர பூச்சு கொண்டுள்ளது, அதன் சிறந்த வெப்பநிலை எதிர்ப்பு மற்றும் வேதியியல் செயலற்ற தன்மைக்கு அறியப்படுகிறது, குறிப்பாக சிலிக்கான் கார்பைடு (எஸ்ஐசி) எபிடாக்ஸி (ஈபிஐ) செயல்முறைகளில். அதன் விதிவிலக்கான அம்சங்கள் மற்றும் சிறந்த செயல்திறனுடன், எங்கள் TAC பூச்சு சக் பல முக்கிய நன்மைகளை வழங்குகிறது. போட்டி விலையில் தரமான தயாரிப்புகளை வழங்க நாங்கள் கடமைப்பட்டுள்ளோம், மேலும் சீனாவில் உங்கள் நீண்டகால கூட்டாளராக இருப்பதை எதிர்நோக்குகிறோம்.

எஸ்.ஐ.சி ஈபிஐ செயல்பாட்டில் விதிவிலக்கான முடிவுகளை அடைவதற்கு வெடெக் செமிகண்டக்டரின் டிஏசி பூச்சு சக் சிறந்த தீர்வாகும். அதன் டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு, உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு மற்றும் வேதியியல் செயலற்ற தன்மை ஆகியவற்றைக் கொண்டு, எங்கள் தயாரிப்பு துல்லியமான மற்றும் நம்பகத்தன்மையுடன் உயர்தர படிகங்களை உற்பத்தி செய்ய உங்களுக்கு அதிகாரம் அளிக்கிறது. எங்களை விசாரிப்பதற்கு வருக.



டாக் டான்டலம் கார்பைடு என்பது எபிடாக்சியல் கருவிகளின் உள் பகுதிகளின் மேற்பரப்பை பூசுவதற்கு பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு பொருள். இது பின்வரும் பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது:


Tantalum carbide coating on a microscopic cross-section

சிறந்த உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு: டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு 2200 ° C வரை வெப்பநிலையைத் தாங்கும், இது எபிடாக்சியல் எதிர்வினை அறைகள் போன்ற உயர் வெப்பநிலை சூழல்களில் பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றதாக இருக்கும்.


அதிக கடினத்தன்மை: டான்டலம் கார்பைட்டின் கடினத்தன்மை சுமார் 2000 எச்.கே.


வலுவான வேதியியல் ஸ்திரத்தன்மை.


நல்ல மின் கடத்துத்திறன்: பூச்சு மேற்பரப்பில் நல்ல மின் கடத்துத்திறன் உள்ளது, இது மின்னியல் வெளியீடு மற்றும் வெப்ப கடத்துதலுக்கு உகந்தது.


இந்த பண்புகள் டாக் டான்டலம் கார்பைடு பூசலை உள் புஷிங், எதிர்வினை அறை சுவர்கள் மற்றும் எபிடாக்சியல் கருவிகளுக்கான வெப்பமூட்டும் கூறுகள் போன்ற முக்கியமான பகுதிகளை உற்பத்தி செய்வதற்கான சிறந்த பொருளை உருவாக்குகின்றன. இந்த கூறுகளை TAC உடன் பூசுவதன் மூலம், எபிடாக்சியல் கருவிகளின் ஒட்டுமொத்த செயல்திறன் மற்றும் சேவை வாழ்க்கையை மேம்படுத்தலாம்.


சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்ஸியைப் பொறுத்தவரை, டிஏசி பூச்சு துண்டும் ஒரு முக்கிய பங்கைக் கொண்டிருக்கலாம். மேற்பரப்பு பூச்சு மென்மையான மற்றும் அடர்த்தியானது, இது உயர்தர சிலிக்கான் கார்பைடு படங்களை உருவாக்குவதற்கு உகந்ததாகும். அதே நேரத்தில், TAC இன் சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் சாதனங்களுக்குள் வெப்பநிலை விநியோகத்தின் சீரான தன்மையை மேம்படுத்த உதவும், இதன் மூலம் எபிடாக்சியல் செயல்முறையின் வெப்பநிலை கட்டுப்பாட்டு துல்லியத்தை மேம்படுத்துகிறது, இறுதியில் உயர் தரத்தை அடைகிறதுசிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்சியல்அடுக்கு வளர்ச்சி.


டாக் டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு துண்டின் தயாரிப்பு அளவுரு

TAC பூச்சு இயற்பியல் பண்புகள்
பூச்சு அடர்த்தி 14.3 (g/cm³)
குறிப்பிட்ட உமிழ்வு 0.3
வெப்ப விரிவாக்க குணகம் 6.3*10-6/கே
கடினத்தன்மை (எச்.கே) 2000 எச்.கே.
எதிர்ப்பு 1 × 10-5ஓம்*செ.மீ.
வெப்ப நிலைத்தன்மை <2500
கிராஃபைட் அளவு மாற்றங்கள் -10 ~ -20um
பூச்சு தடிமன் ≥20um வழக்கமான மதிப்பு (35um ± 10um)


வெடெக் குறைக்கடத்தியின் தயாரிப்புகள் கடைகள்:

SiC Coating Wafer CarrierSemiconductor process equipmentCVD SiC Focus RingOxidation and Diffusion Furnace Equipment


சூடான குறிச்சொற்கள்: டாக் பூச்சு சக்
விசாரணையை அனுப்பு
தொடர்பு தகவல்
  • முகவரி

    வாங்டா சாலை, ஜியாங் தெரு, வுய் கவுண்டி, ஜின்ஹுவா சிட்டி, ஜெஜியாங் மாகாணம், சீனா

  • டெல்

    +86-18069220752

  • மின்னஞ்சல்

    anny@veteksemi.com

சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு, டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு, சிறப்பு கிராஃபைட் அல்லது விலைப்பட்டியல் பற்றிய விசாரணைகளுக்கு, தயவுசெய்து உங்கள் மின்னஞ்சலை எங்களுக்கு அனுப்பவும், நாங்கள் 24 மணி நேரத்திற்குள் தொடர்பில் இருப்போம்.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept