தயாரிப்புகள்
தயாரிப்புகள்

திட சிலிக்கான் கார்பைடு

வெடெக் செமிகண்டக்டர் திட சிலிக்கான் கார்பைடு பிளாஸ்மா பொறித்தல் உபகரணங்கள், திடமான சிலிக்கான் கார்பைடு (சி.வி.டி சிலிக்கான் கார்பைடு) பொறித்தல் உபகரணங்களில் உள்ள பகுதிகள் அடங்கும்கவனம் செலுத்தும் மோதிரங்கள்.


எடுத்துக்காட்டாக, ஃபோகஸ் மோதிரம் என்பது செதிலுக்கு வெளியே வைக்கப்பட்டு, செதிலுடன் நேரடி தொடர்பில் வைக்கப்பட்டுள்ளது, மோதிரத்திற்கு ஒரு மின்னழுத்தத்தைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம் மோதிரத்தின் வழியாக செல்லும் பிளாஸ்மாவை மையமாகக் கொண்டு, இதன் மூலம் செயலாக்கத்தின் சீரான தன்மையை மேம்படுத்த பிளாஸ்மாவை செதில் கவனம் செலுத்துகிறது. பாரம்பரிய கவனம் வளையம் சிலிக்கான் அல்லதுகுவார்ட்ஸ்.


Sஓலிட் சிக் ஃபோகஸ் மோதிரம்வேலை செய்யும் கொள்கை

Working Principle of Solid SiC Focus Ring


எஸ்ஐ அடிப்படையிலான கவனம் மோதிரம் மற்றும் சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி கவனம் செலுத்தும் வளையத்தின் ஒப்பீடு

எஸ்ஐ அடிப்படையிலான கவனம் மோதிரம் மற்றும் சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி கவனம் செலுத்தும் வளையத்தின் ஒப்பீடு
உருப்படி மற்றும் சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி.
அடர்த்தி (கிராம்/செ.மீ.3) 2.33 3.21
இசைக்குழு இடைவெளி (ஈ.வி) 1.12 2.3
வெப்ப கடத்துத்திறன் (w/cm ℃) 1.5 5
சி.டி.இ (எக்ஸ் 10-6/℃) 2.6 4
மீள் மாடுலஸ் (ஜி.பி.ஏ) 150 440
கடினத்தன்மை (ஜி.பி.ஏ) 11.4 24.5
அணிய மற்றும் அரிப்புக்கு எதிர்ப்பு ஏழை சிறந்த


வெடெக் செமிகண்டக்டர் குறைக்கடத்தி கருவிகளுக்கான எஸ்.ஐ.சி கவனம் செலுத்தும் மோதிரங்கள் போன்ற மேம்பட்ட திட சிலிக்கான் கார்பைடு (சி.வி.டி சிலிக்கான் கார்பைடு) பகுதிகளை வழங்குகிறது. எங்கள் திடமான சிலிக்கான் கார்பைடு கவனம் செலுத்தும் மோதிரங்கள் இயந்திர வலிமை, வேதியியல் எதிர்ப்பு, வெப்ப கடத்துத்திறன், உயர் வெப்பநிலை ஆயுள் மற்றும் அயன் பொறித்தல் எதிர்ப்பு ஆகியவற்றின் அடிப்படையில் பாரம்பரிய சிலிக்கானை விஞ்சுகின்றன.


எங்கள் SIC கவனம் செலுத்தும் மோதிரங்களின் முக்கிய அம்சங்கள் அடங்கும்:

குறைக்கப்பட்ட பொறிப்பு விகிதங்களுக்கு அதிக அடர்த்தி.

உயர் பேண்ட்கேப்புடன் சிறந்த காப்பு.

அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் வெப்ப விரிவாக்கத்தின் குறைந்த குணகம்.

சிறந்த இயந்திர தாக்க எதிர்ப்பு மற்றும் நெகிழ்ச்சி.

அதிக கடினத்தன்மை, உடைகள் எதிர்ப்பு மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு.

பயன்படுத்தி தயாரிக்கப்படுகிறதுபிளாஸ்மா-மேம்பட்ட வேதியியல் நீராவி படிவு (பி.இ.சி.வி.டி)நுட்பங்கள், எங்கள் SIC கவனம் செலுத்தும் மோதிரங்கள் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் பொறித்தல் செயல்முறைகளின் அதிகரித்துவரும் கோரிக்கைகளை பூர்த்தி செய்கின்றன. அவை அதிக பிளாஸ்மா சக்தி மற்றும் ஆற்றலைத் தாங்கும் வகையில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன, குறிப்பாககொள்ளளவு இணைக்கப்பட்ட பிளாஸ்மா (சி.சி.பி)அமைப்புகள்.

வெடெக் செமிகண்டக்டரின் எஸ்.ஐ.சி கவனம் செலுத்தும் மோதிரங்கள் குறைக்கடத்தி சாதன உற்பத்தியில் விதிவிலக்கான செயல்திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மையை வழங்குகின்றன. சிறந்த தரம் மற்றும் செயல்திறனுக்காக எங்கள் SIC கூறுகளைத் தேர்வுசெய்க.


View as  
 
சிலிக்கான் கார்பைடு ஷவர் தலை

சிலிக்கான் கார்பைடு ஷவர் தலை

சிலிக்கான் கார்பைடு ஷவர் தலை சிறந்த உயர் வெப்பநிலை சகிப்புத்தன்மை, வேதியியல் நிலைத்தன்மை, வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் நல்ல வாயு விநியோக செயல்திறன் ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளது, இது ஒரே மாதிரியான வாயு விநியோகத்தை அடையலாம் மற்றும் திரைப்பட தரத்தை மேம்படுத்தலாம். எனவே, இது பொதுவாக வேதியியல் நீராவி படிவு (சி.வி.டி) அல்லது உடல் நீராவி படிவு (பி.வி.டி) செயல்முறைகள் போன்ற உயர் வெப்பநிலை செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது. உங்கள் மேலதிக ஆலோசனையை எங்களுக்கு வரவேற்கிறோம், வெடெக் குறைக்கடத்தி.
சிலிக்கான் கார்பைடு முத்திரை வளையம்

சிலிக்கான் கார்பைடு முத்திரை வளையம்

சீனாவில் ஒரு தொழில்முறை சிலிக்கான் கார்பைடு சீல் ரிங் தயாரிப்பு உற்பத்தியாளர் மற்றும் தொழிற்சாலையாக, வெடெக் செமிகண்டக்டர் சிலிக்கான் கார்பைடு சீல் மோதிரம் அதன் சிறந்த வெப்ப எதிர்ப்பு, அரிப்பு எதிர்ப்பு, இயந்திர வலிமை மற்றும் வெப்ப கடத்துத்திறன் காரணமாக குறைக்கடத்தி செயலாக்க கருவிகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. சி.வி.டி, பி.வி.டி மற்றும் பிளாஸ்மா பொறித்தல் போன்ற உயர் வெப்பநிலை மற்றும் எதிர்வினை வாயுக்களை உள்ளடக்கிய செயல்முறைகளுக்கு இது மிகவும் பொருத்தமானது, மேலும் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்பாட்டில் ஒரு முக்கிய பொருள் தேர்வாகும். உங்கள் மேலதிக விசாரணைகள் வரவேற்கப்படுகின்றன.
SIC படிக வளர்ச்சிக்கான CVD SIC தொகுதி

SIC படிக வளர்ச்சிக்கான CVD SIC தொகுதி

எஸ்.ஐ.சி படிக வளர்ச்சிக்கான சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி தொகுதி, வெடெக் குறைக்கடத்தி உருவாக்கிய புதிய உயர் தூய்மை மூலப்பொருள் ஆகும். இது அதிக உள்ளீட்டு-வெளியீட்டு விகிதத்தைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் உயர்தர, பெரிய அளவிலான சிலிக்கான் கார்பைடு ஒற்றை படிகங்களை வளர்க்க முடியும், இது இன்று சந்தையில் பயன்படுத்தப்படும் தூளை மாற்றுவதற்கான இரண்டாவது தலைமுறை பொருள். தொழில்நுட்ப சிக்கல்களைப் பற்றி விவாதிக்க வருக.
SIC படிக வளர்ச்சி புதிய தொழில்நுட்பம்

SIC படிக வளர்ச்சி புதிய தொழில்நுட்பம்

வேதியியல் நீராவி படிவு (சி.வி.டி) ஆல் உருவாக்கப்பட்ட வெடெக் செமிகண்டக்டரின் அதி-உயர் தூய்மை சிலிக்கான் கார்பைடு (எஸ்.ஐ.சி) உடல் நீராவி போக்குவரத்து (பி.வி.டி) மூலம் சிலிக்கான் கார்பைடு படிகங்களை வளர்ப்பதற்கான மூலப்பொருளாகப் பயன்படுத்த பரிந்துரைக்கப்படுகிறது. எஸ்.ஐ.சி படிக வளர்ச்சி புதிய தொழில்நுட்பத்தில், மூலப்பொருள் ஒரு சிலுவையில் ஏற்றப்பட்டு விதை படிகத்தில் பதப்படுத்தப்படுகிறது. SIC படிகங்களை வளர்ப்பதற்கான ஆதாரமாக இருக்க அதிக தூய்மை CVD-SIC தொகுதிகள் பயன்படுத்தவும். எங்களுடன் ஒரு கூட்டணியை நிறுவ வரவேற்கிறோம்.
சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி ஷவர் தலை

சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி ஷவர் தலை

வெடெக் செமிகண்டக்டர் ஒரு முன்னணி சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி ஷவர் ஹெட் உற்பத்தியாளர் மற்றும் சீனாவில் புதுமைப்பித்தன். நாங்கள் பல ஆண்டுகளாக எஸ்.ஐ.சி பொருளில் நிபுணத்துவம் பெற்றிருக்கிறோம். சி.ஐ.சி ஷவர் ஹெட் அதன் சிறந்த தெர்மோகெமிக்கல் ஸ்திரத்தன்மை, அதிக இயந்திர வலிமை மற்றும் பிளாஸ்மா அரிப்புக்கு எதிர்ப்பு காரணமாக கவனம் செலுத்தும் வளையப் பொருளாக தேர்வு செய்யப்படுகிறது. சீனாவில் உங்கள் நீண்டகால கூட்டாளராக மாற நாங்கள் எதிர்நோக்குகிறோம்.
Sic மழை தலை

Sic மழை தலை

வெடெக் செமிகண்டக்டர் சீனாவில் ஒரு முன்னணி எஸ்.ஐ.சி ஷவர் ஹெட் உற்பத்தியாளர் மற்றும் புதுமைப்பித்தன். நாங்கள் பல ஆண்டுகளாக எஸ்.ஐ.சி பொருளில் நிபுணத்துவம் பெற்றிருக்கிறோம். சிக் ஷவர் ஹெட் அதன் சிறந்த தெர்மோகெமிக்கல் ஸ்திரத்தன்மை, உயர் இயந்திர வலிமை மற்றும் பிளாஸ்மா அரிப்புக்கு எதிர்ப்பு காரணமாக கவனம் செலுத்தும் வளையப் பொருளாக தேர்ந்தெடுக்கப்படுகிறது. சீனாவில் உங்கள் நீண்டகால பங்காளியாக மாறுவதை எதிர்நோக்குகிறோம்.

Veteksemicon solid silicon carbide is the ideal procurement material for high-temperature, high-strength, and corrosion-resistant components used in semiconductor and industrial applications. As a fully dense, monolithic ceramic, solid silicon carbide (SiC) offers unmatched mechanical rigidity, extreme thermal conductivity, and exceptional chemical durability in harsh processing environments. Veteksemicon’s solid SiC is specifically developed for critical structural applications such as SiC wafer carriers, cantilever paddles, susceptors, and showerheads in semiconductor equipment.


Manufactured through pressureless sintering or reaction bonding, our solid silicon carbide parts exhibit excellent wear resistance and thermal shock performance, even at temperatures above 1600°C. These properties make solid SiC the preferred material for CVD/PECVD systems, diffusion furnaces, and oxidation furnaces, where long-term thermal stability and purity are essential.


Veteksemicon also offers custom-machined SiC parts, enabling tight dimensional tolerances, high surface quality, and application-specific geometries. Additionally, solid SiC is non-reactive in both oxidizing and reducing atmospheres, enhancing its suitability for plasma, vacuum, and corrosive gas environments.


To explore our full range of solid silicon carbide components and discuss your project specifications, please visit the Veteksemicon product detail page or contact us for technical support and quotations.


சீனாவில் ஒரு தொழில்முறை திட சிலிக்கான் கார்பைடு உற்பத்தியாளர் மற்றும் சப்ளையராக, எங்கள் சொந்த தொழிற்சாலை உள்ளது. உங்கள் பிராந்தியத்தின் குறிப்பிட்ட தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய உங்களுக்கு தனிப்பயனாக்கப்பட்ட சேவைகள் தேவைப்பட்டாலும் அல்லது சீனாவில் தயாரிக்கப்பட்ட மேம்பட்ட மற்றும் நீடித்த {77 bep வாங்க விரும்பினாலும், நீங்கள் எங்களுக்கு ஒரு செய்தியை அனுப்பலாம்.
செய்தி பரிந்துரைகள்
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept