SIC விளிம்பு வளையம்

குறைக்கடத்தி உற்பத்தித் துறையில், SIC எட்ஜ் மோதிரங்கள், செதில் செயலாக்க கருவிகளின் முக்கிய கூறுகளாக, தொழில்துறை நிலப்பரப்பில் அவற்றின் பொருள் பண்புகளுடன் புரட்சியை ஏற்படுத்துகின்றன. சிலிக்கான் கார்பைடு ஒற்றை படிகங்களால் ஆன இந்த துல்லியமான கூறுகளின் மதிப்பு அதன் உயர் தொழில்நுட்ப உள்ளடக்கத்தில் மட்டுமல்லாமல், சிப் உற்பத்தியாளர்களுக்கு கொண்டு வரக்கூடிய இயக்க செலவினங்களின் மகசூல் மற்றும் மேம்படுத்தலில் குறிப்பிடத்தக்க முன்னேற்றத்திலும் உள்ளது.

SIC விளிம்பு வளைய கட்டமைப்பு பண்புகள்

சிலிக்கான் கார்பைடு எட்ஜ் மோதிரங்கள் குறைக்கடத்தி பொறிக்கும் கருவிகளில் முக்கிய நுகர்வு கூறுகளாகும், மேலும் அவை வேதியியல் நீராவி படிவு (சி.வி.டி) முறையால் தயாரிக்கப்பட்ட உயர் தூய்மை சிலிக்கான் கார்பைடு பொருட்களால் ஆனவை. அதன் வருடாந்திர கட்டமைப்பின் விட்டம் வழக்கமாக 200-450 மிமீ ஆகும், மேலும் தடிமன் 5-15 மிமீக்குள் கட்டுப்படுத்தப்படுகிறது, இது பின்வரும் பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது:

1. எக்ஸ்ட்ரீம் சகிப்புத்தன்மை: 1500 of இன் உயர் வெப்பநிலை சூழலைத் தாங்க முடியும்

2. பிளாஸ்மா நிலைத்தன்மை: மின்கடத்தா மாறிலி 9.7, முறிவு மின்னழுத்தம் 3mv/cm

3. வடிவியல் துல்லியம்: வட்ட பிழை ≤0.05 மிமீ, மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை RA <0.2μm

உற்பத்தி செயல்பாட்டில் திருப்புமுனை

நவீன தயாரிப்பு செயல்முறை மூன்று கட்ட முறையை பின்பற்றுகிறது:

1. மேட்ரிக்ஸ் உருவாக்கம்: ஐசோஸ்டேடிக் அழுத்தும் உருவாக்கம் சீரான அடர்த்தியை உறுதி செய்கிறது

2. உயர் வெப்பநிலை சின்தேரிங்: 2100 இல் ஒரு மந்த வளிமண்டலத்தில் அடர்த்தியான சிகிச்சை

3. மேற்பரப்பு மாற்றம்: நானோ அளவிலான பாதுகாப்பு அடுக்குகள் எதிர்வினை அயன் பொறித்தல் (RIE) மூலம் உருவாகின்றன. 3% போரானுடன் அளவிடப்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைடு எட்ஜ் ரிங்கின் சேவை வாழ்க்கை 40% அதிகரித்துள்ளது, மேலும் செதில் மாசு வீதம் 0.01 பிபிஎம் நிலைக்கு குறைக்கப்படுகிறது என்பதை சமீபத்திய ஆராய்ச்சி காட்டுகிறது

பயன்பாட்டு காட்சிகள்

இது 5nm க்குக் கீழே உள்ள செயல்முறைகளில் ஈடுசெய்ய முடியாத தன்மையைக் காட்டுகிறது:

2. சீரான தன்மையை பொறித்தல்: இது செதில் விளிம்பில் ± 1.5% பொறித்தல் வீத விலகலை பராமரிக்க முடியும்

3. மாசு கட்டுப்பாடு: பாரம்பரிய குவார்ட்ஸ் பொருட்களுடன் ஒப்பிடும்போது இது உலோக மாசுபாட்டை 92% குறைக்கிறது

4. பராமரிப்பு சுழற்சி: இது CF4/O2 பிளாஸ்மாவில் 1500 மணி நேரம் தொடர்ந்து செயல்பட முடியும்

எஸ்.ஐ.சி எட்ஜ் மோதிரங்களின் உள்நாட்டு உற்பத்தியில் வெட்செமிகான் ஒரு முன்னேற்றத்தை அடைந்துள்ளது, இது நிறைய செலவு செலவினங்களை மிச்சப்படுத்தும். எந்த நேரத்திலும் எங்களை தொடர்பு கொள்ள வரவேற்கிறோம்!