க்யு ஆர் குறியீடு

எங்களை பற்றி
தயாரிப்புகள்
எங்களை தொடர்பு கொள்ள
தொலைபேசி
தொலைநகல்
+86-579-87223657
மின்னஞ்சல்
முகவரி
வாங்டா சாலை, ஜியாங் தெரு, வுய் கவுண்டி, ஜின்ஹுவா சிட்டி, ஜெஜியாங் மாகாணம், சீனா
வெடெக் செமிகண்டக்டர் திட சிலிக்கான் கார்பைடு பிளாஸ்மா பொறித்தல் உபகரணங்கள், திடமான சிலிக்கான் கார்பைடு (சி.வி.டி சிலிக்கான் கார்பைடு) பொறித்தல் உபகரணங்களில் உள்ள பகுதிகள் அடங்கும்கவனம் செலுத்தும் மோதிரங்கள்.
எடுத்துக்காட்டாக, ஃபோகஸ் மோதிரம் என்பது செதிலுக்கு வெளியே வைக்கப்பட்டு, செதிலுடன் நேரடி தொடர்பில் வைக்கப்பட்டுள்ளது, மோதிரத்திற்கு ஒரு மின்னழுத்தத்தைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம் மோதிரத்தின் வழியாக செல்லும் பிளாஸ்மாவை மையமாகக் கொண்டு, இதன் மூலம் செயலாக்கத்தின் சீரான தன்மையை மேம்படுத்த பிளாஸ்மாவை செதில் கவனம் செலுத்துகிறது. பாரம்பரிய கவனம் வளையம் சிலிக்கான் அல்லதுகுவார்ட்ஸ்.
Sஓலிட் சிக் ஃபோகஸ் மோதிரம்வேலை செய்யும் கொள்கை:
எஸ்ஐ அடிப்படையிலான கவனம் மோதிரம் மற்றும் சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி கவனம் செலுத்தும் வளையத்தின் ஒப்பீடு
எஸ்ஐ அடிப்படையிலான கவனம் மோதிரம் மற்றும் சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி கவனம் செலுத்தும் வளையத்தின் ஒப்பீடு | ||
உருப்படி | மற்றும் | சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி. |
அடர்த்தி (கிராம்/செ.மீ.3) | 2.33 | 3.21 |
இசைக்குழு இடைவெளி (ஈ.வி) | 1.12 | 2.3 |
வெப்ப கடத்துத்திறன் (w/cm ℃) | 1.5 | 5 |
சி.டி.இ (எக்ஸ் 10-6/℃) | 2.6 | 4 |
மீள் மாடுலஸ் (ஜி.பி.ஏ) | 150 | 440 |
கடினத்தன்மை (ஜி.பி.ஏ) | 11.4 | 24.5 |
அணிய மற்றும் அரிப்புக்கு எதிர்ப்பு | ஏழை | சிறந்த |
வெடெக் செமிகண்டக்டர் குறைக்கடத்தி கருவிகளுக்கான எஸ்.ஐ.சி கவனம் செலுத்தும் மோதிரங்கள் போன்ற மேம்பட்ட திட சிலிக்கான் கார்பைடு (சி.வி.டி சிலிக்கான் கார்பைடு) பகுதிகளை வழங்குகிறது. எங்கள் திடமான சிலிக்கான் கார்பைடு கவனம் செலுத்தும் மோதிரங்கள் இயந்திர வலிமை, வேதியியல் எதிர்ப்பு, வெப்ப கடத்துத்திறன், உயர் வெப்பநிலை ஆயுள் மற்றும் அயன் பொறித்தல் எதிர்ப்பு ஆகியவற்றின் அடிப்படையில் பாரம்பரிய சிலிக்கானை விஞ்சுகின்றன.
குறைக்கப்பட்ட பொறிப்பு விகிதங்களுக்கு அதிக அடர்த்தி.
உயர் பேண்ட்கேப்புடன் சிறந்த காப்பு.
அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் வெப்ப விரிவாக்கத்தின் குறைந்த குணகம்.
சிறந்த இயந்திர தாக்க எதிர்ப்பு மற்றும் நெகிழ்ச்சி.
அதிக கடினத்தன்மை, உடைகள் எதிர்ப்பு மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு.
பயன்படுத்தி தயாரிக்கப்படுகிறதுபிளாஸ்மா-மேம்பட்ட வேதியியல் நீராவி படிவு (பி.இ.சி.வி.டி)நுட்பங்கள், எங்கள் SIC கவனம் செலுத்தும் மோதிரங்கள் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் பொறித்தல் செயல்முறைகளின் அதிகரித்துவரும் கோரிக்கைகளை பூர்த்தி செய்கின்றன. அவை அதிக பிளாஸ்மா சக்தி மற்றும் ஆற்றலைத் தாங்கும் வகையில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன, குறிப்பாககொள்ளளவு இணைக்கப்பட்ட பிளாஸ்மா (சி.சி.பி)அமைப்புகள்.
வெடெக் செமிகண்டக்டரின் எஸ்.ஐ.சி கவனம் செலுத்தும் மோதிரங்கள் குறைக்கடத்தி சாதன உற்பத்தியில் விதிவிலக்கான செயல்திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மையை வழங்குகின்றன. சிறந்த தரம் மற்றும் செயல்திறனுக்காக எங்கள் SIC கூறுகளைத் தேர்வுசெய்க.
Veteksemicon solid silicon carbide is the ideal procurement material for high-temperature, high-strength, and corrosion-resistant components used in semiconductor and industrial applications. As a fully dense, monolithic ceramic, solid silicon carbide (SiC) offers unmatched mechanical rigidity, extreme thermal conductivity, and exceptional chemical durability in harsh processing environments. Veteksemicon’s solid SiC is specifically developed for critical structural applications such as SiC wafer carriers, cantilever paddles, susceptors, and showerheads in semiconductor equipment.
Manufactured through pressureless sintering or reaction bonding, our solid silicon carbide parts exhibit excellent wear resistance and thermal shock performance, even at temperatures above 1600°C. These properties make solid SiC the preferred material for CVD/PECVD systems, diffusion furnaces, and oxidation furnaces, where long-term thermal stability and purity are essential.
Veteksemicon also offers custom-machined SiC parts, enabling tight dimensional tolerances, high surface quality, and application-specific geometries. Additionally, solid SiC is non-reactive in both oxidizing and reducing atmospheres, enhancing its suitability for plasma, vacuum, and corrosive gas environments.
To explore our full range of solid silicon carbide components and discuss your project specifications, please visit the Veteksemicon product detail page or contact us for technical support and quotations.
+86-579-87223657
வாங்டா சாலை, ஜியாங் தெரு, வுய் கவுண்டி, ஜின்ஹுவா சிட்டி, ஜெஜியாங் மாகாணம், சீனா
பதிப்புரிமை © 2024 வெடெக் செமிகண்டக்டர் டெக்னாலஜி கோ., லிமிடெட். அனைத்து உரிமைகளும் பாதுகாக்கப்பட்டவை.
Links | Sitemap | RSS | XML | Privacy Policy |