திட சிலிக்கான் கார்பைடு

VeTek செமிகண்டக்டர் சாலிட் சிலிக்கான் கார்பைடு என்பது பிளாஸ்மா பொறித்தல் கருவிகளில் ஒரு முக்கியமான பீங்கான் கூறு ஆகும், திட சிலிக்கான் கார்பைடு(சிவிடி சிலிக்கான் கார்பைடு) பொறிக்கும் கருவியில் உள்ள பாகங்கள் அடங்கும்கவனம் செலுத்தும் மோதிரங்கள், கேஸ் ஷவர்ஹெட், தட்டு, விளிம்பு வளையங்கள், முதலியன. திட சிலிக்கான் கார்பைடு (CVD சிலிக்கான் கார்பைடு) குளோரின் - மற்றும் ஃவுளூரின் கொண்ட பொறித்தல் வாயுக்களுக்கு குறைந்த வினைத்திறன் மற்றும் கடத்துத்திறன் காரணமாக, இது பிளாஸ்மா பொறித்தல் கருவிகளுக்கு கவனம் செலுத்தும் மோதிரங்கள் மற்றும் பிற சிறந்த பொருளாகும். கூறுகள்.

எடுத்துக்காட்டாக, ஃபோகஸ் ரிங் என்பது செதில்களுக்கு வெளியே வைக்கப்படும் ஒரு முக்கியமான பகுதியாகும் மற்றும் செதில்களுடன் நேரடி தொடர்பில் உள்ளது, மோதிரத்தின் வழியாக செல்லும் பிளாஸ்மாவை மையப்படுத்த வளையத்திற்கு ஒரு மின்னழுத்தத்தைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம், அதன் மூலம் பிளாஸ்மாவை செதில்களின் சீரான தன்மையை மேம்படுத்துகிறது. செயலாக்கம். பாரம்பரிய ஃபோகஸ் வளையம் சிலிக்கான் அல்லது செய்யப்படுகிறதுகுவார்ட்ஸ், ஒரு பொதுவான ஃபோகஸ் ரிங் மெட்டீரியலாக கடத்தும் சிலிக்கான், இது சிலிக்கான் செதில்களின் கடத்துத்திறனுக்கு கிட்டத்தட்ட நெருக்கமாக உள்ளது, ஆனால் பற்றாக்குறையானது ஃப்ளோரின் கொண்ட பிளாஸ்மாவில் பொறித்தல் எதிர்ப்பு குறைவாக உள்ளது, எச்சிங் இயந்திர பாகங்கள் பொருட்கள் ஒரு குறிப்பிட்ட காலத்திற்கு அடிக்கடி பயன்படுத்தப்படுகின்றன, தீவிரம் இருக்கும். அரிப்பு நிகழ்வு, அதன் உற்பத்தி திறனை தீவிரமாக குறைக்கிறது.

Solid SiC ஃபோகஸ் ரிங்வேலை செய்யும் கொள்கை：

மற்றும் அடிப்படையிலான ஃபோகசிங் ரிங் மற்றும் CVD SiC ஃபோகசிங் ரிங் ஒப்பீடு: