தயாரிப்புகள்
தயாரிப்புகள்
திடமான SIC டிஸ்க் வடிவ மழை தலை
  • திடமான SIC டிஸ்க் வடிவ மழை தலைதிடமான SIC டிஸ்க் வடிவ மழை தலை

திடமான SIC டிஸ்க் வடிவ மழை தலை

வெடெக் செமிகண்டக்டர் சீனாவில் ஒரு முன்னணி குறைக்கடத்தி உபகரண உற்பத்தியாளர் மற்றும் ஒரு தொழில்முறை உற்பத்தியாளர் மற்றும் திட எஸ்.ஐ.சி டிஸ்க் வடிவ மழை தலையின் சப்ளையர் ஆவார். எதிர்வினை வாயுவின் சீரான விநியோகத்தை உறுதி செய்வதற்காக சி.வி.டி செயல்முறை போன்ற மெல்லிய திரைப்பட படிவு தயாரிப்பில் எங்கள் வட்டு வடிவ ஷவர் தலை பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது மற்றும் இது சி.வி.டி உலையின் முக்கிய கூறுகளில் ஒன்றாகும்.

சி.வி.டி செயல்பாட்டில் திடமான எஸ்.ஐ.சி டிஸ்க் வடிவ மழை தலையின் பங்கு, படிவு பகுதிக்கு மேலே எதிர்வினை வாயுவை சமமாக விநியோகிப்பதாகும், இதனால் ஒரு தட்டையான மற்றும் சீரான படத்தைப் பெறுவதற்கு உலை முழுவதும் வாயு சமமாக பரவ முடியும்.


திடமான SIC ஷவர் தலை சி.வி.டி உலையின் மேற்புறத்தில் அல்லது எரிவாயு நுழைவாயிலுக்கு அருகில் அமைக்கப்பட்டுள்ளது. எதிர்வினை வாயு ஷவர் தலையில் விநியோகிக்கப்படும் துளைகள் வழியாக வட்டு வடிவ கட்டமைப்பிற்குள் நுழைகிறது மற்றும் ஷவர் தலையின் மேற்பரப்பில் பரவுகிறது. பல சேனல் வடிவமைப்பு மற்றும் சமமாக விநியோகிக்கப்பட்ட விற்பனை நிலையங்கள் மூலம், எதிர்வினை வாயு முழு உலை பகுதிக்கும் சமமாக பாயும், செறிவு அல்லது கொந்தளிப்பைத் தவிர்ப்பது, மற்றும் அடி மூலக்கூறில் டெபாசிட் செய்யப்படும் அடுக்கு தடிமன் நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது.

Solid SiC Disc-shaped Shower Head working diagram


அதே நேரத்தில், குறைக்கடத்தி வட்டு வடிவ மழை தலையின் கட்டமைப்பும் ஒரு பரவல் விளைவைக் கொண்டுள்ளது, இது வாயுவின் ஓட்ட விகிதத்தை திறம்பட குறைக்க முடியும், இதனால் இது முனை கடையின் சமமாக பரவக்கூடும், மேலும் படிவு விளைவில் உள்ளூர் வாயு ஓட்ட மாற்றங்களின் தாக்கத்தை குறைக்கலாம். இது அடி மூலக்கூறில் நேரடி வாயு தாக்கத்தைத் தவிர்க்கவும், சீரற்ற படிவு பிரச்சினையைத் தடுக்கவும் உதவுகிறது.


பொருட்களின் கண்ணோட்டத்தில், திடமான SIC வாயு ஷவர் தலை அதிக வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, அரிப்பு-எதிர்ப்பு மற்றும் மிக உயர்ந்த நிலைத்தன்மையுடன் கூடிய உயர் வலிமை கொண்ட திடமான SIC பொருளால் ஆனது. இது சி.வி.டி உலையில் நீண்ட காலமாக வேலை செய்ய முடியும் மற்றும் நீண்ட சேவை வாழ்க்கையைக் கொண்டுள்ளது.


வெடெக் குறைக்கடத்தி உயர்தர தனிப்பயனாக்கப்பட்ட சேவைகளை வழங்குகிறது. திடமான எஸ்.ஐ.சி டிஸ்க் வடிவ மழை தலையின் வடிவம் மற்றும் துளை தளவமைப்பு வெவ்வேறு வாயு வகைகள், ஓட்ட விகிதங்கள் மற்றும் படிவு பொருட்களுக்கு ஏற்ப வாடிக்கையாளரின் செயல்முறை தேவைகளுக்கு ஏற்ப நெகிழ்வாக சரிசெய்யப்படலாம். வெவ்வேறு அளவிலான உலைகள் அல்லது அடி மூலக்கூறு அளவுகளுக்கு, வாயு விநியோக விளைவை மேம்படுத்த வெவ்வேறு விட்டம் மற்றும் துளை விநியோகங்களைக் கொண்ட வட்டு வடிவ மழை தலைகள் தனிப்பயனாக்கப்படலாம்.


வெடெக் செமிகண்டக்டர் திடமான எஸ்.ஐ.சி குறைக்கடத்தி மழை தலை தயாரிப்புகளுக்கான முதிர்ந்த செயல்முறைகள் மற்றும் மேம்பட்ட தொழில்நுட்பங்களைக் கொண்டுள்ளது, இது சி.வி.டி செயல்முறைகளில் தொடர்ச்சியான முன்னேற்றத்தை அடைய அதிக எண்ணிக்கையிலான வாடிக்கையாளர்களுக்கு உதவுகிறது. வெடெக் செமிகண்டக்டர் சீனாவில் உங்கள் நீண்டகால கூட்டாளராக மாற எதிர்பார்க்கிறது.


திட sic இன் இயற்பியல் பண்புகள்


திட sic இன் இயற்பியல் பண்புகள்
அடர்த்தி
3.21
ஜி/செ.மீ.3

மின்சார எதிர்ப்பு
102
/செ.மீ.

நெகிழ்வு வலிமை
590 Mpa
(6000 கிலோ/செ.மீ.2)
யங்கின் மாடுலஸ்
450 Gபா
(6000 கிலோ/செ.மீ.2)
விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை
26 பா
(2650kgf/mm2)
C.T.E. (RT-1000 ℃)
4.0 எக்ஸ் 10-6/கே

வெப்ப கடத்துத்திறன் (ஆர்டி)
250 W/mk

இது குறைக்கடத்திதிடமான SIC வட்டு வடிவ மழை தலை உற்பத்தி கடைகள்


Semiconductor EquipmentGraphite epitaxial substrateGraphite ring assemblySemiconductor process equipment



சூடான குறிச்சொற்கள்: திடமான SIC டிஸ்க் வடிவ மழை தலை
விசாரணையை அனுப்பு
தொடர்பு தகவல்
  • முகவரி

    வாங்டா சாலை, ஜியாங் தெரு, வுயி கவுண்டி, ஜின்ஹுவா நகரம், ஜெஜியாங் மாகாணம், சீனா

  • டெல்

    +86-18069220752

  • மின்னஞ்சல்

    anny@veteksemi.com

For inquiries about Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Special Graphite or price list, please leave your email to us and we will be in touch within 24 hours.
செய்தி பரிந்துரைகள்
X
உங்களுக்கு சிறந்த உலாவல் அனுபவத்தை வழங்கவும், தள போக்குவரத்தை பகுப்பாய்வு செய்யவும் மற்றும் உள்ளடக்கத்தைத் தனிப்பயனாக்கவும் நாங்கள் குக்கீகளைப் பயன்படுத்துகிறோம். இந்தத் தளத்தைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம், எங்கள் குக்கீகளைப் பயன்படுத்துவதை ஒப்புக்கொள்கிறீர்கள். தனியுரிமைக் கொள்கை
நிராகரிக்கவும்ஏற்றுக்கொள்