திடமான SIC பொறித்தல் கவனம் வளையம்

வெடெக் செமிகண்டக்டர் சி.வி.டி திட எஸ்.ஐ.சி தொழில்நுட்பத்தில் பெரும் முன்னேற்றம் அடைந்துள்ளது, இப்போது உலக முன்னணி மட்டத்துடன் திடமான எஸ்.ஐ.சி பொறித்தல் கவனம் செலுத்தும் வளையத்தை உருவாக்க முடிகிறது. வேடெக் குறைக்கடத்தியின் திடமான எஸ்.ஐ.சி பொறித்தல் கவனம் வளையம் என்பது வேதியியல் நீராவி படிவு செயல்முறையின் மூலம் உருவாக்கப்பட்ட அதி-உயர் தூய்மை சிலிக்கான் கார்பைடு பொருள் தயாரிப்பு ஆகும்.

சாலிட் SiC எச்சிங் ஃபோகசிங் ரிங் என்பது குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகளில், குறிப்பாக பிளாஸ்மா பொறித்தல் அமைப்புகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது. SiC ஃபோகஸ் ரிங் என்பது சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) செதில்களின் துல்லியமான மற்றும் கட்டுப்படுத்தப்பட்ட பொறிப்பை அடைய உதவும் ஒரு முக்கிய அங்கமாகும்.

பிளாஸ்மா பொறித்தல் செயல்பாட்டின் போது, ​​ஃபோகஸ் வளையம் பல பாத்திரங்களை வகிக்கிறது:

● பிளாஸ்மாவை மையமாகக் கொண்டது: திடமான SiC எச்சிங் ஃபோகசிங் வளையமானது செதில்களைச் சுற்றி பிளாஸ்மாவை வடிவமைத்து செறிவூட்ட உதவுகிறது, பொறித்தல் செயல்முறை ஒரே மாதிரியாகவும் திறமையாகவும் நடைபெறுவதை உறுதி செய்கிறது. இது பிளாஸ்மாவை விரும்பிய பகுதிக்கு கட்டுப்படுத்த உதவுகிறது, சுற்றியுள்ள பகுதிகளுக்கு தவறான செதுக்கல் அல்லது சேதத்தை தடுக்கிறது.

.  அறையின் சுவர்களைப் பாதுகாத்தல்: கவனம் செலுத்தும் வளையம் பிளாஸ்மா மற்றும் அறைச் சுவர்களுக்கு இடையே ஒரு தடையாக செயல்படுகிறது, நேரடி தொடர்பு மற்றும் சாத்தியமான சேதத்தைத் தடுக்கிறது. SiC பிளாஸ்மா அரிப்பை மிகவும் எதிர்க்கும் மற்றும் அறை சுவர்களுக்கு சிறந்த பாதுகாப்பை வழங்குகிறது.

.  Tஎம்பரேச்சர் கட்டுப்பாடு: செதுக்கும் செயல்பாட்டின் போது செதில் முழுவதும் சீரான வெப்பநிலை விநியோகத்தை பராமரிக்க sic கவனம் வளையம் உதவுகிறது. இது வெப்பத்தைச் சிதறடிக்க உதவுகிறது மற்றும் பொறித்தல் முடிவுகளைப் பாதிக்கக்கூடிய உள்ளூர் அதிக வெப்பம் அல்லது வெப்ப சாய்வுகளைத் தடுக்கிறது.

திட SiC ஆனது அதன் சிறந்த வெப்ப மற்றும் இரசாயன நிலைத்தன்மை, அதிக இயந்திர வலிமை மற்றும் பிளாஸ்மா அரிப்புக்கு எதிர்ப்பு ஆகியவற்றின் காரணமாக வளையங்களை மையப்படுத்துவதற்கு தேர்ந்தெடுக்கப்பட்டது. இந்த பண்புகள் SiC ஐ பிளாஸ்மா பொறித்தல் அமைப்புகளுக்குள் கடுமையான மற்றும் கோரும் நிலைமைகளுக்கு பொருத்தமான பொருளாக ஆக்குகின்றன.

கவனம் செலுத்தும் மோதிரங்களின் வடிவமைப்பு மற்றும் விவரக்குறிப்புகள் குறிப்பிட்ட பிளாஸ்மா பொறித்தல் அமைப்பு மற்றும் செயல்முறை தேவைகளைப் பொறுத்து மாறுபடும் என்பது கவனிக்கத்தக்கது. உகந்த பொறித்தல் செயல்திறன் மற்றும் நீண்ட ஆயுளை உறுதிப்படுத்த மோதிரங்களை மையமாகக் கொண்ட வடிவம், பரிமாணங்கள் மற்றும் மேற்பரப்பு பண்புகளை வெடெக் குறைக்கடத்தி மேம்படுத்துகிறது. சாலிட் எஸ்.ஐ.சி செதில் கேரியர்கள், சசெப்டர்கள், போலி செதில், வழிகாட்டி மோதிரங்கள், பொறித்தல் செயல்முறைக்கான பாகங்கள், சி.வி.டி செயல்முறை போன்றவற்றுக்கு பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.