உயர் தூய்மை குவார்ட்ஸ் வேஃபர் கேரியர்

1. முக்கிய அம்சங்கள் & நன்மைகள்

• பிபிபி அளவுகளில் கட்டுப்படுத்தப்படும் உலோக அசுத்தங்களுடன் கூடிய அல்ட்ரா-உயர் தூய்மை டீஹைட்ராக்சிலேட்டட் ஃப்யூஸ்டு குவார்ட்ஸ் (SiO₂ ≥ 99.999%)

• 1100 °C வரை நீண்ட கால இயக்க வெப்பநிலை; 1200 °C க்கு குறுகிய கால உச்ச எதிர்ப்பு

• அடிக்கடி வெப்பநிலை சுழற்சியின் கீழ் சிறந்த வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு மற்றும் பரிமாண நிலைத்தன்மை

• ஆக்ஸிஜனேற்ற செயல்முறை வாயுக்கள் மற்றும் பொதுவான ஈரமான செயல்முறை இரசாயனங்கள் (HF, H₂O₂, அமிலங்கள்/காரங்கள்) எதிராக வலுவான இரசாயன செயலற்ற தன்மை

• ஒரே மாதிரியான செதில் ஆதரவு மற்றும் குறைக்கப்பட்ட விளிம்பு சேதத்திற்கான வட்டமான விளிம்புகளுடன் கூடிய உயர் சமதளம் மற்றும் துல்லியமான தரை மேற்பரப்பு

• குறைந்த வெற்றிட வெளியேற்றம் மற்றும் குறைந்த மேற்பரப்பு உறிஞ்சுதல் - துல்லியமான வெற்றிட செயல்முறைகளுக்கு ஏற்றது

• முழுமையாக தனிப்பயனாக்கக்கூடிய கட்டமைப்புகள்: திடமான கேரியர்கள், துளையிடப்பட்ட/வெளியேற்றப்பட்ட வடிவமைப்புகள், படிநிலை இருப்பிட அம்சங்கள், பொருத்துதல் துளைகள், பல-புள்ளி ஆதரவுகள் மற்றும் 2-12 அங்குல செதில்களுக்கான தடிமனான சிதைவு எதிர்ப்பு வடிவமைப்புகள்

2. வழக்கமான பயன்பாடுகள்

உயர்ந்த வெப்பநிலை அல்லது ஆக்கிரமிப்பு வேதியியலின் கீழ் செதில்களுக்கு சுத்தமான, பரிமாண நிலையான ஆதரவு தேவைப்படும் இடங்களில் இந்த கேரியர்கள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன:

• பரவல் மற்றும் அனீலிங் உலை ஏற்றுதல்

• PECVD மற்றும் LPCVD திரைப்பட வளர்ச்சி செயல்முறை ஆதரவு

• வெற்றிட அறை மற்றும் உயர் வெப்பநிலை செயல்முறை கருவி

• பிந்தைய பொறி உலர்த்துதல் மற்றும் ஈரமான-சுத்தமான நிலைய கேரியர்கள்

• SiC மற்றும் GaN ஆற்றல் சாதன வெப்ப செயலாக்கம்

• ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக் அடி மூலக்கூறு கையாளுதல் மற்றும் ஆய்வக வெப்ப கருவிகள்

3. முக்கிய தொழில்நுட்ப அளவுருக்கள்

• அடிப்படை பொருள்: குறைக்கடத்தி தர டீஹைட்ராக்சிலேட்டட் ஃப்யூஸ்டு குவார்ட்ஸ், SiO₂ ≥ 99.999%

• இணக்கமான செதில் அளவுகள்: 2, 4, 6, 8, மற்றும் 12 அங்குலம் (Si, SiC, GaN, சபையர்)

• பரிந்துரைக்கப்பட்ட தொடர்ச்சியான வெப்பநிலை வரம்பு: −20 °C முதல் 1100 °C வரை; சுமார் 1200 °C வரை குறுகிய கால உச்சம்

• உற்பத்தி வழி: ஒரு துண்டு உருவாக்கம், துல்லியமான மேற்பரப்பு அரைத்தல், விளிம்பு ரவுண்டிங், மன அழுத்த நிவாரண அனீலிங் மற்றும் அல்ட்ரா-கிளீன் இறுதி சுத்தம்

• கிடைக்கக்கூடிய உள்ளமைவுகள்: திடமான, காற்றோட்டமான/துளையிடப்பட்ட, படிநிலை கண்டறிதல், துளை-வடிவமைக்கப்பட்ட மற்றும் முழுமையாக தனிப்பயன் வடிவவியல்

• செயல்திறன் கவனம்: அதிக தூய்மை, வெப்ப நிலைத்தன்மை, அரிப்பு எதிர்ப்பு, மேற்பரப்பு தட்டையானது, குறைந்த வாயு வெளியேற்றம் மற்றும் நீண்ட கால பரிமாணத் தக்கவைப்பு

• தனிப்பயனாக்குதல் நோக்கம்: வெளிப்புற பரிமாணங்கள், தடிமன், ஆதரவு வடிவியல், துளை அமைப்பு மற்றும் வாடிக்கையாளர் வரைபடங்களின் அடிப்படையில் சிறப்பு அம்சங்கள்

4. VeTek உயர் தூய்மை குவார்ட்ஸ் வேஃபர் கேரியர்களை ஏன் தேர்வு செய்ய வேண்டும்?

செமிகண்டக்டர் குவார்ட்ஸ் கூறுகளின் தொழில்முறை உற்பத்தியாளராக, VeTek செமிகண்டக்டர் வழங்குகிறது:

• உயர் தூய்மை குவார்ட்ஸ் வேஃபர் கேரியர்கள் வெப்ப, வெற்றிடம் மற்றும் ஈரமான செயல்முறை சூழல்களுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன

• கடுமையான தூய்மைக் கட்டுப்பாடு, மேற்பரப்பின் தட்டையான தன்மை மற்றும் மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி உற்பத்திக்கு ஏற்ற தூய்மை

• உலை, அறை மற்றும் செயல்முறை-நிலைய கருவிகளுக்கான முழு தனிப்பயனாக்கம் மற்றும் OEM-இணக்கமான வடிவமைப்புகள்

• உலை குழாய்கள், செதில் படகுகள், சிலுவைகள் மற்றும் பிற செயல்முறை கூறுகள் உட்பட நிரப்பு குறைக்கடத்தி குவார்ட்ஸ் தயாரிப்புகள்

எங்களின் உயர் தூய்மையான குவார்ட்ஸ் வேஃபர் கேரியர்கள் சீரான வெப்பத் தொடர்பைப் பராமரிக்கவும், துகள் மற்றும் உலோக மாசுபாட்டைக் குறைக்கவும், தொடர்ச்சியான உயர்-வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் செயல்முறை நிலைமைகளின் கீழ் கருவிகளின் ஆயுளை நீட்டிக்கவும் உதவுகின்றன—அதிக மகசூல் மற்றும் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் உரிமையின் குறைந்த செலவை ஆதரிக்கிறது.