உயர் தூய்மை குவார்ட்ஸ் எட்ச் வளையம்

1.முக்கிய அம்சங்கள் & நன்மைகள்

• SiO₂ ≥ 99.999% உடன் செமிகண்டக்டர்-கிரேடு டீஹைட்ராக்சிலேட்டட் ஃப்யூஸ்டு குவார்ட்ஸ் மற்றும் இறுக்கமாக கட்டுப்படுத்தப்பட்ட உலோக அசுத்தங்கள்

• 1100 °C வரை நிலையான தொடர்ச்சியான செயல்பாடு, 1200 °Cக்கு அருகில் குறுகிய கால திறன்

• ஃவுளூரின் மற்றும் குளோரின் அடிப்படையிலான எட்ச் வேதியியல் மற்றும் உயர் ஆற்றல் பிளாஸ்மா வெளிப்பாடு ஆகியவற்றிற்கு வலுவான எதிர்ப்பு

• குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கம் மற்றும் மீண்டும் மீண்டும் அறை வெப்பநிலை சுழற்சிகளின் கீழ் நல்ல வெப்ப-அதிர்ச்சி செயல்திறன்

• அறை அடிப்படை அழுத்தம் மற்றும் செயல்முறை வாயு கலவை பாதுகாக்க குறைந்த வெற்றிட வெளியேற்றம்

• சீரான அறை பொருத்தம் மற்றும் பிளாஸ்மா எல்லை வரையறைக்கு பளபளப்பான தொடர்பு மேற்பரப்புகளுடன் மைக்ரான்-நிலை பரிமாண கட்டுப்பாடு

• கட்டமைக்கக்கூடிய வடிவமைப்புகள்: தட்டையான மோதிரங்கள், ஸ்டெப் எட்ச் மோதிரங்கள், இருப்பிடம்/தக்கவைத்தல் மோதிரங்கள் மற்றும் முக்கிய எட்ச் கருவி தளங்களுக்கான முழு தனிப்பயன் சுயவிவரங்கள்

2.வழக்கமான பயன்பாடுகள்

உயர் தூய்மை குவார்ட்ஸ் எட்ச் மோதிரங்கள் உலர் பிளாஸ்மா எட்ச் செயல்முறை அறைகளில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன:

• தர்க்கம் மற்றும் நினைவக சாதனம் பிளாஸ்மா எட்ச் படிகள்

• SiC மற்றும் GaN பவர்-டிவைஸ் எட்ச் செயல்முறைகள்

• உயர்-விகித அமைப்பு எச்

• ஆப்டிகல் மற்றும் கலவை-செமிகண்டக்டர் அடி மூலக்கூறு பிளாஸ்மா செயலாக்கம்

• மேம்பட்ட பேக்கேஜிங் பிளாஸ்மா எட்ச் மற்றும் தொடர்புடைய சுத்தம் செய்யும் படிகள்

• RIE / ICP ஆய்வகம் மற்றும் உற்பத்தி எட்ச் கருவிகள்

3.முக்கிய தொழில்நுட்ப அளவுருக்கள்

• பொருள்: குறைக்கடத்தி தர டீஹைட்ராக்சிலேட்டட் ஃப்யூஸ்டு குவார்ட்ஸ், SiO₂ ≥ 99.999%

• செதில் பொருந்தக்கூடிய தன்மை: 2 / 4 / 6 / 8 / 12 அங்குல சிலிக்கான், SiC, GaN மற்றும் சபையர்

• இயக்க வெப்பநிலை: −20 °C முதல் 1100 °C வரை தொடர்ந்து; குறுகிய கால உச்சம் தோராயமாக 1200 °C

• முதன்மை செயல்பாடுகள்: பிளாஸ்மா விளிம்பு அடைப்பு, வாயு ஓட்ட வழிகாட்டுதல், விளிம்பு பாதுகாப்பு மற்றும் அறை தனிமைப்படுத்தல்

• எந்திர தரம்: மைக்ரான்-நிலை சகிப்புத்தன்மை, பளபளப்பான மேற்பரப்புகள், கட்டுப்படுத்தப்பட்ட விளிம்புகள் மற்றும் சுத்தமான பூச்சு

• கட்டமைப்பு விருப்பங்கள்: தட்டையான வளையம், படிகள் கொண்ட எட்ச் வளையம், இருப்பிடம்/தக்க வளையம் மற்றும் தனிப்பயன் வடிவவியல்

• தனிப்பயனாக்கம்: வெளிப்புற/உள் விட்டம், தடிமன், படி உயரம், இருப்பிட அம்சங்கள், சேம்ஃபர்கள் மற்றும் ஒரு வரைபடத்திற்கான இடைமுக விவரங்கள்

4.VeTek உயர் தூய்மை குவார்ட்ஸ் எட்ச் மோதிரங்களை ஏன் தேர்வு செய்ய வேண்டும்?

VeTek செமிகண்டக்டர் எட்ச் மற்றும் வெப்ப கருவிகளுக்கான செயல்முறை-முக்கியமான குவார்ட்ஸ் வன்பொருளை வழங்குகிறது. எட்ச் வளையங்களுக்கு, கவனம்:

• மேம்பட்ட உலர்-எட்ச் சூழல்களுக்கு பொருந்தும் பொருள் தூய்மை மற்றும் மேற்பரப்பு தூய்மை

• நிலையான பிளாஸ்மா எல்லைக் கட்டுப்பாடு மற்றும் மீண்டும் மீண்டும் செய்யக்கூடிய அறை பொருத்தத்தை ஆதரிக்கும் பரிமாண துல்லியம்

• OEM-பாணி மாற்று மற்றும் முழுமையாக தனிப்பயன் அறை இடைமுகங்களுக்கான வடிவமைப்பு நெகிழ்வுத்தன்மை

• செதில் கேரியர்கள், உலை குழாய்கள், படகுகள் மற்றும் தொடர்புடைய செயல்முறை பாகங்கள் ஆகியவற்றை உள்ளடக்கிய ஒரு முழுமையான குவார்ட்ஸ் கூறு வரம்பு

உயர் தூய்மை, பிளாஸ்மா நீடித்து நிலைப்பு மற்றும் இறுக்கமான வடிவியல் கட்டுப்பாடு ஆகியவற்றை இணைப்பதன் மூலம், VeTek உயர் தூய்மை குவார்ட்ஸ் எட்ச் மோதிரங்கள் முழுவதும் வேஃபர் எட்ச் சீரான தன்மையை மேம்படுத்தவும், விளிம்பு தொடர்பான குறைபாடுகளைக் குறைக்கவும், உலர் பிளாஸ்மா எட்ச் கருவிகளில் நீண்ட, நிலையான உற்பத்தி சுழற்சிகளை ஆதரிக்கவும் உதவுகின்றன.