எஸ்.ஐ.சி எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி உலை வெவ்வேறு தொழில்நுட்ப வழிகள்

சிலிக்கான் கார்பைடு அடி மூலக்கூறுகள் பல குறைபாடுகளைக் கொண்டுள்ளன, மேலும் அவை நேரடியாக செயலாக்க முடியாது. சிப் செதில்களை உருவாக்க ஒரு குறிப்பிட்ட ஒற்றை படிக மெல்லிய படம் ஒரு எபிடாக்சியல் செயல்முறை மூலம் வளர்க்கப்பட வேண்டும். இந்த மெல்லிய படம் எபிடாக்சியல் லேயர். கிட்டத்தட்ட அனைத்து சிலிக்கான் கார்பைடு சாதனங்களும் எபிடாக்சியல் பொருட்களில் உணரப்படுகின்றன. சிலிக்கான் கார்பைடு சாதனங்களின் வளர்ச்சிக்கு உயர்தர சிலிக்கான் கார்பைடு ஒரேவிதமான எபிடாக்சியல் பொருட்கள் அடிப்படையாகும். எபிடாக்சியல் பொருட்களின் செயல்திறன் சிலிக்கான் கார்பைடு சாதனங்களின் செயல்திறனை உணர்ந்து கொள்வதை நேரடியாக தீர்மானிக்கிறது.

உயர்-தற்போதைய மற்றும் உயர் நம்பகத்தன்மை சிலிக்கான் கார்பைடு சாதனங்கள் மேற்பரப்பு உருவவியல், குறைபாடு அடர்த்தி, ஊக்கமருந்து மற்றும் எபிடாக்சியல் பொருட்களின் தடிமன் சீரான தன்மை ஆகியவற்றில் மிகவும் கடுமையான தேவைகளை முன்வைத்துள்ளன. பெரிய அளவு, குறைந்த குறைபாடு அடர்த்தி மற்றும் உயர்-சீரான தன்மைசிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்ஸிசிலிக்கான் கார்பைடு தொழில்துறையின் வளர்ச்சிக்கு முக்கியமாக மாறியுள்ளது.

உயர்தர தயாரிப்புசிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்ஸிமேம்பட்ட செயல்முறைகள் மற்றும் உபகரணங்கள் தேவை. மிகவும் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படும் சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி முறை வேதியியல் நீராவி படிவு (சி.வி.டி) ஆகும், இது எபிடாக்சியல் திரைப்பட தடிமன் மற்றும் ஊக்கமருந்து செறிவு, குறைவான குறைபாடுகள், மிதமான வளர்ச்சி விகிதம் மற்றும் தானியங்கி செயல்முறை கட்டுப்பாடு ஆகியவற்றின் துல்லியமான கட்டுப்பாட்டின் நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளது. இது வெற்றிகரமாக வணிகமயமாக்கப்பட்ட நம்பகமான தொழில்நுட்பமாகும்.

சிலிக்கான் கார்பைடு சி.வி.டி எபிடாக்ஸி பொதுவாக சூடான சுவர் அல்லது சூடான சுவர் சி.வி.டி கருவிகளைப் பயன்படுத்துகிறது, இது அதிக வளர்ச்சி வெப்பநிலை நிலைமைகளின் (1500-1700 ℃) கீழ் எபிடாக்சியல் லேயர் 4 எச் படிக எஸ்.ஐ.சி தொடர்ச்சியை உறுதி செய்கிறது. பல வருட வளர்ச்சிக்குப் பிறகு, சூடான சுவர் அல்லது சூடான சுவர் சி.வி.டி.

சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்சியல் உலையின் தரம் முக்கியமாக மூன்று குறிகாட்டிகளைக் கொண்டுள்ளது. முதலாவது தடிமன் சீரான தன்மை, ஊக்கமருந்து சீரான தன்மை, குறைபாடு வீதம் மற்றும் வளர்ச்சி விகிதம் உள்ளிட்ட எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்திறன்; இரண்டாவது வெப்பநிலை/குளிரூட்டும் வீதம், அதிகபட்ச வெப்பநிலை, வெப்பநிலை சீரான தன்மை உள்ளிட்ட சாதனங்களின் வெப்பநிலை செயல்திறன்; இறுதியாக யூனிட் விலை மற்றும் உற்பத்தி திறன் உள்ளிட்ட உபகரணங்களின் செலவு செயல்திறன்.

மூன்று வகையான சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி உலைகளுக்கு இடையிலான வேறுபாடுகள்

சூடான சுவர் கிடைமட்ட சி.வி.டி, சூடான சுவர் கிரக சி.வி.டி மற்றும் அரை-சூடான சுவர் செங்குத்து சி.வி.டி ஆகியவை இந்த கட்டத்தில் வணிக ரீதியாக பயன்படுத்தப்பட்ட பிரதான எபிடாக்சியல் கருவி தொழில்நுட்ப தீர்வுகள் ஆகும். மூன்று தொழில்நுட்ப உபகரணங்களும் அவற்றின் சொந்த குணாதிசயங்களைக் கொண்டுள்ளன, மேலும் தேவைகளுக்கு ஏற்ப தேர்ந்தெடுக்கலாம். கட்டமைப்பு வரைபடம் கீழே உள்ள படத்தில் காட்டப்பட்டுள்ளது:

சூடான சுவர் கிடைமட்ட சி.வி.டி அமைப்பு பொதுவாக ஒற்றை-வாஃபர் பெரிய அளவிலான வளர்ச்சி அமைப்பாகும், இது காற்று மிதக்கும் மற்றும் சுழற்சியால் இயக்கப்படுகிறது. நல்ல இன்-வாஃபர் குறிகாட்டிகளை அடைவது எளிது. பிரதிநிதி மாதிரி இத்தாலியில் எல்பிஇ நிறுவனத்தின் PE1O6 ஆகும். இந்த இயந்திரம் 900 at இல் தானியங்கி ஏற்றுதல் மற்றும் செதில்களை இறக்குதல் ஆகியவற்றை உணர முடியும். முக்கிய அம்சங்கள் அதிக வளர்ச்சி விகிதம், குறுகிய எபிடாக்சியல் சுழற்சி, செதிலுக்குள் மற்றும் உலைகளுக்கு இடையில் நல்ல நிலைத்தன்மை போன்றவை. இது சீனாவில் மிக உயர்ந்த சந்தைப் பங்கைக் கொண்டுள்ளது.

எல்.பி.இ உத்தியோகபூர்வ அறிக்கைகளின்படி, முக்கிய பயனர்களின் பயன்பாட்டுடன் இணைந்து, 100-150 மிமீ (4-6 அங்குலங்கள்) 4H-SIC EPITAXIAL WAFER தயாரிப்புகள் 30μm க்கும் குறைவான தடிமன் கொண்ட PE1O6 எபிடாக்சியல் உலை பின்வரும் குறிகாட்டிகளை நிலையானதாக அடைய முடியும்: இன்ட்ரா-டோஃப்சியல் தடிமன், intra- 2%-2%அல்லாத-யூனி-யூனரிஃபைர்மிட்டி அல்ல, குறைபாடு அடர்த்தி ≤1cm-2, மேற்பரப்பு குறைபாடு இல்லாத பகுதி (2 மிமீ × 2 மிமீ யூனிட் செல்) ≥90%.

ஜே.எஸ்.ஜி, சி.இ.டி.சி 48, ந ura ரா மற்றும் நாசோ போன்ற உள்நாட்டு நிறுவனங்கள் ஒரே மாதிரியான சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்சியல் கருவிகளை உருவாக்கியுள்ளன, மேலும் அவை பெரிய அளவிலான ஏற்றுமதிகளை அடைந்துள்ளன. எடுத்துக்காட்டாக, பிப்ரவரி 2023 இல், ஜே.எஸ்.ஜி 6 அங்குல இரட்டை-வாஃபர் எஸ்.ஐ.சி எபிடாக்சியல் கருவிகளை வெளியிட்டது. உபகரணங்கள் எதிர்வினை அறையின் கிராஃபைட் பகுதிகளின் மேல் மற்றும் கீழ் அடுக்குகளை ஒரு உலையில் இரண்டு எபிடாக்சியல் செதில்களை வளர்ப்பதற்கு பயன்படுத்துகின்றன, மேலும் மேல் மற்றும் கீழ் செயல்முறை வாயுக்களை தனித்தனியாக கட்டுப்படுத்தலாம், ≤5 ° C வெப்பநிலை வேறுபாட்டைக் கொண்டு, இது கொந்தளிப்பான மூலப்பொருள் எபிடெர் எபிடெர் எபிடெண்டின் அவமதிப்பின் திறனை திறம்பட உருவாக்குகிறது.Sic பூச்சு அரைமூன் பாகங்கள்நாங்கள் பயனர்களுக்கு 6 அங்குல மற்றும் 8 அங்குல அரைமூன் பாகங்களை வழங்குகிறோம்.

சூடான சுவர் கிரக சி.வி.டி அமைப்பு, தளத்தின் கிரக ஏற்பாட்டைக் கொண்டது, ஒரு உலையில் பல செதில்களின் வளர்ச்சியால் மற்றும் அதிக வெளியீட்டு திறன் ஆகியவற்றால் வகைப்படுத்தப்படுகிறது. பிரதிநிதி மாதிரிகள் AIXG5WWC (8x150 மிமீ) மற்றும் ஜி 10-எஸ்ஐசி (9 × 150 மிமீ அல்லது 6 × 200 மிமீ) தொடர் எபிடாக்சியல் உபகரணங்கள் ஜெர்மனியின் ஐக்ஸ்ட்ரானின் எபிடாக்சியல் உபகரணங்கள்.

அக்ஸ்ட்ரானின் உத்தியோகபூர்வ அறிக்கையின்படி, ஜி 10 எபிடாக்சியல் உலை மூலம் உற்பத்தி செய்யப்படும் 10μm தடிமன் கொண்ட 6 அங்குல 4 எச்-சிக் எபிடாக்சியல் செதில் தயாரிப்புகள் பின்வரும் குறிகாட்டிகளை சீராக அடைய முடியும்: இன்டர்-வாஃபர் எபிடாக்சியல் தடிமன் ± 2.5%, இன்ட்ரா-வோஃபர் டோபர் டோபர் டோபர் டோபர் டோபர் டோபர் டோபர் டோபர் டோபர் டோபர் டோபர் டோபர் டோபர் டோபர் டோஸ்ட்-வாஃபர் அல்லாத கண்ணுக்குழுமை செறிவு சீரான தன்மை <2%.

இப்போது வரை, இந்த வகை மாதிரி உள்நாட்டு பயனர்களால் அரிதாகவே பயன்படுத்தப்படுகிறது, மேலும் தொகுதி உற்பத்தித் தரவு போதுமானதாக இல்லை, இது ஒரு குறிப்பிட்ட அளவிற்கு அதன் பொறியியல் பயன்பாட்டை கட்டுப்படுத்துகிறது. கூடுதலாக.

அரை-சூடான-சுவர் செங்குத்து சி.வி.டி அமைப்பு முக்கியமாக வெளிப்புற இயந்திர உதவி மூலம் அதிவேகத்தில் சுழல்கிறது. அதன் சிறப்பியல்பு என்னவென்றால், பிசுபிசுப்பு அடுக்கின் தடிமன் குறைந்த எதிர்வினை அறை அழுத்தத்தால் திறம்பட குறைக்கப்படுகிறது, இதனால் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி விகிதத்தை அதிகரிக்கும். அதே நேரத்தில், அதன் எதிர்வினை அறைக்கு ஒரு மேல் சுவர் இல்லை, அதில் SIC துகள்கள் டெபாசிட் செய்யப்படலாம், மேலும் விழும் பொருள்களை உற்பத்தி செய்வது எளிதல்ல. குறைபாடு கட்டுப்பாட்டில் இது ஒரு உள்ளார்ந்த நன்மையைக் கொண்டுள்ளது. பிரதிநிதி மாதிரிகள் ஜப்பானின் நுஃப்லேரின் ஒற்றை-வாஃபர் எபிடாக்சியல் உலைகள் எபிரெவோஸ் 6 மற்றும் எபிரெவோஸ் 8 ஆகும்.

நுஃப்லேரின் கூற்றுப்படி, EPIREVOS6 சாதனத்தின் வளர்ச்சி விகிதம் 50μm/h க்கு மேல் அடையலாம், மேலும் எபிடாக்சியல் செதில் மேற்பரப்பு குறைபாடு அடர்த்தியை 0.1cm -² க்கு கீழே கட்டுப்படுத்தலாம்; சீரான கட்டுப்பாட்டைப் பொறுத்தவரை, நுஃப்லேர் பொறியாளர் யோஷியாகி டைகோ 10μm தடிமனான 6-அங்குல எபிடாக்சியல் வேஃபர் எபிரெவோஸ் 6 ஐப் பயன்படுத்தி வளர்ந்த இன்ட்ரா-வாஃபர் சீரான முடிவுகளை அறிவித்தார், மேலும் இன்ட்ரா-வாஃபர் தடிமன் மற்றும் ஊக்கமருந்து செறிவு அல்லாத ஒரே மாதிரியானது 1% மற்றும் 2.6% ஐ எட்டியது.மேல் கிராஃபைட் சிலிண்டர்.

தற்போது, ​​கோர் மூன்றாம் தலைமுறை மற்றும் ஜே.எஸ்.ஜி போன்ற உள்நாட்டு உபகரண உற்பத்தியாளர்கள் ஒத்த செயல்பாடுகளுடன் எபிடாக்சியல் கருவிகளை வடிவமைத்து அறிமுகப்படுத்தியுள்ளனர், ஆனால் அவை பெரிய அளவில் பயன்படுத்தப்படவில்லை.

பொதுவாக, மூன்று வகையான உபகரணங்கள் அவற்றின் சொந்த குணாதிசயங்களைக் கொண்டுள்ளன மற்றும் வெவ்வேறு பயன்பாட்டுத் தேவைகளில் ஒரு குறிப்பிட்ட சந்தை பங்கை ஆக்கிரமித்துள்ளன:

சூடான சுவர் கிடைமட்ட சி.வி.டி கட்டமைப்பில் அல்ட்ரா-ஃபாஸ்ட் வளர்ச்சி விகிதம், தரம் மற்றும் சீரான தன்மை, எளிய உபகரணங்கள் செயல்பாடு மற்றும் பராமரிப்பு மற்றும் முதிர்ச்சியடைந்த பெரிய அளவிலான உற்பத்தி பயன்பாடுகள் உள்ளன. இருப்பினும், ஒற்றை-வாஃபர் வகை மற்றும் அடிக்கடி பராமரிப்பு காரணமாக, உற்பத்தி திறன் குறைவாக உள்ளது; சூடான சுவர் கிரக சி.வி.டி பொதுவாக 6 (துண்டு) × 100 மிமீ (4 அங்குலங்கள்) அல்லது 8 (துண்டு) × 150 மிமீ (6 அங்குல) தட்டு கட்டமைப்பை ஏற்றுக்கொள்கிறது, இது உற்பத்தித் திறனின் அடிப்படையில் சாதனங்களின் உற்பத்தி செயல்திறனை பெரிதும் மேம்படுத்துகிறது, ஆனால் பல துண்டுகளின் நிலைத்தன்மையைக் கட்டுப்படுத்துவது கடினம், மற்றும் உற்பத்தி மகசூல் இன்னும் மிகப்பெரிய பிரச்சினை; அரை-சூடான சுவர் செங்குத்து சி.வி.டி ஒரு சிக்கலான கட்டமைப்பைக் கொண்டுள்ளது, மேலும் எபிடாக்சியல் செதில் உற்பத்தியின் தரக் குறைபாடு கட்டுப்பாடு சிறந்தது, இதற்கு மிகவும் பணக்கார உபகரணங்கள் பராமரிப்பு மற்றும் பயன்பாட்டு அனுபவம் தேவைப்படுகிறது.

தொழில்துறையின் தொடர்ச்சியான வளர்ச்சியுடன், இந்த மூன்று வகையான உபகரணங்கள் மீண்டும் உகந்ததாகி, கட்டமைப்பின் அடிப்படையில் மேம்படுத்தப்படும், மேலும் உபகரணங்கள் உள்ளமைவு மேலும் மேலும் சரியானதாக மாறும், வெவ்வேறு தடிமன் மற்றும் குறைபாடுள்ள தேவைகளுடன் எபிடாக்சியல் செதில்களின் விவரக்குறிப்புகளை பொருத்துவதில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது.