எபிடாக்ஸி மற்றும் ALD க்கு என்ன வித்தியாசம்?

இடையிலான முக்கிய வேறுபாடுஎபிடாக்ஸிமற்றும்அணு அடுக்கு படிவு (ALD)அவற்றின் திரைப்பட வளர்ச்சி வழிமுறைகள் மற்றும் இயக்க நிலைமைகளில் உள்ளன. எபிடாக்ஸி என்பது ஒரு குறிப்பிட்ட நோக்குநிலை உறவைக் கொண்ட படிக அடி மூலக்கூறில் ஒரு படிக மெல்லிய திரைப்படத்தை வளர்க்கும் செயல்முறையை குறிக்கிறது, அதே அல்லது ஒத்த படிக கட்டமைப்பைப் பராமரிக்கிறது. இதற்கு நேர்மாறாக, ALD என்பது ஒரு படிவு நுட்பமாகும், இது வெவ்வேறு வேதியியல் முன்னோடிகளுக்கு ஒரு அடி மூலக்கூறை வெளிப்படுத்துவதை உள்ளடக்கியது, இது ஒரு நேரத்தில் ஒரு மெல்லிய திரைப்படத்தை உருவாக்கும்.

வேறுபாடுகள்:

எபிடாக்ஸி: ஒரு அடி மூலக்கூறில் ஒற்றை படிக மெல்லிய படத்தின் வளர்ச்சி, ஒரு குறிப்பிட்ட படிக நோக்குநிலையை பராமரிக்கிறது. துல்லியமாக கட்டுப்படுத்தப்பட்ட படிக கட்டமைப்புகளுடன் குறைக்கடத்தி அடுக்குகளை உருவாக்க எபிடாக்ஸி பெரும்பாலும் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

ALD: வாயு முன்னோடிகளுக்கு இடையில் கட்டளையிடப்பட்ட, சுய-கட்டுப்படுத்தும் வேதியியல் எதிர்வினை மூலம் மெல்லிய படங்களை டெபாசிட் செய்யும் முறை. அடி மூலக்கூறின் படிக கட்டமைப்பைப் பொருட்படுத்தாமல், துல்லியமான தடிமன் கட்டுப்பாடு மற்றும் சிறந்த நிலைத்தன்மையை அடைவதில் இது கவனம் செலுத்துகிறது.

விரிவான விளக்கம்

1. ஃபில்ம் வளர்ச்சி வழிமுறை

எபிடாக்ஸி: எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியின் போது, ​​படம் அதன் படிக லட்டு அடி மூலக்கூறுடன் சீரமைக்கப்படும் வகையில் வளர்கிறது. இந்த சீரமைப்பு மின்னணு பண்புகளுக்கு முக்கியமானது மற்றும் பொதுவாக மூலக்கூறு பீம் எபிடாக்ஸி (MBE) அல்லது வேதியியல் நீராவி படிவு (சி.வி.டி) போன்ற செயல்முறைகள் மூலம் ஒழுங்கான திரைப்பட வளர்ச்சியை ஊக்குவிக்கும் குறிப்பிட்ட நிலைமைகளின் கீழ் அடையப்படுகிறது.

ALD: தொடர்ச்சியான சுய-கட்டுப்படுத்தும் மேற்பரப்பு எதிர்வினைகள் மூலம் மெல்லிய படங்களை வளர்க்க ALD வேறுபட்ட கொள்கையைப் பயன்படுத்துகிறது. ஒவ்வொரு சுழற்சிக்கும் ஒரு முன்னோடி வாயுவுக்கு அடி மூலக்கூறை அம்பலப்படுத்த வேண்டும், இது அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பில் உறிஞ்சி ஒரு மோனோலேயரை உருவாக்க வினைபுரிந்து. பின்னர் அறை சுத்திகரிக்கப்பட்டு, முதல் மோனோலேயருடன் வினைபுரிந்து ஒரு முழுமையான அடுக்கை உருவாக்க இரண்டாவது முன்னோடி அறிமுகப்படுத்தப்படுகிறது. விரும்பிய பட தடிமன் அடையும் வரை இந்த சுழற்சி மீண்டும் நிகழ்கிறது.

2. கட்டுப்பாடு மற்றும் துல்லியம்

எபிடாக்ஸி: எபிடாக்ஸி படிக கட்டமைப்பின் மீது நல்ல கட்டுப்பாட்டை வழங்கும்போது, ​​இது ALD இன் அதே அளவிலான தடிமன் கட்டுப்பாட்டை வழங்காது, குறிப்பாக அணு அளவில். எபிடாக்ஸி படிகத்தின் ஒருமைப்பாடு மற்றும் நோக்குநிலையை பராமரிப்பதில் கவனம் செலுத்துகிறது.

ALD: ALD திரைப்பட தடிமன் துல்லியமாக கட்டுப்படுத்துவதில், அணு மட்டத்திற்கு கீழே சிறந்து விளங்குகிறது. குறைக்கடத்தி உற்பத்தி மற்றும் நானோ தொழில்நுட்பம் போன்ற பயன்பாடுகளில் இந்த துல்லியம் மிகவும் மெல்லிய, சீரான படங்கள் தேவைப்படுகிறது.

3. பயன்பாடுகள் மற்றும் நெகிழ்வுத்தன்மை

எபிடாக்ஸி: எபிடாக்ஸி பொதுவாக குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் பயன்படுத்தப்படுகிறது, ஏனெனில் ஒரு படத்தின் மின்னணு பண்புகள் பெரும்பாலும் அதன் படிக கட்டமைப்பைப் பொறுத்தது. டெபாசிட் செய்யக்கூடிய பொருட்களின் அடிப்படையில் எபிடாக்ஸி குறைவான நெகிழ்வானது மற்றும் பயன்படுத்தக்கூடிய அடி மூலக்கூறுகளின் வகைகள்.

ALD: ALD மிகவும் பல்துறை, பரந்த அளவிலான பொருட்களை டெபாசிட் செய்யும் திறன் கொண்டது மற்றும் சிக்கலான, உயர்-அம்ச விகித கட்டமைப்புகளுக்கு இணங்குகிறது. எலக்ட்ரானிக்ஸ், ஒளியியல் மற்றும் ஆற்றல் பயன்பாடுகள் உள்ளிட்ட பல்வேறு துறைகளில் இதைப் பயன்படுத்தலாம், அங்கு இணக்கமான பூச்சுகள் மற்றும் துல்லியமான தடிமன் கட்டுப்பாடு முக்கியமானவை.

சுருக்கமாக, எபிடாக்ஸி மற்றும் ஆல்ட் இரண்டும் மெல்லிய படங்களை டெபாசிட் செய்யப் பயன்படுகின்றன, அவை வெவ்வேறு நோக்கங்களுக்காக சேவை செய்கின்றன மற்றும் வெவ்வேறு கொள்கைகளில் செயல்படுகின்றன. எபிடாக்ஸி படிக அமைப்பு மற்றும் நோக்குநிலையை பராமரிப்பதில் அதிக கவனம் செலுத்துகிறது, அதே நேரத்தில் ALD துல்லியமான அணு-நிலை தடிமன் கட்டுப்பாடு மற்றும் சிறந்த இணக்கத்தில் கவனம் செலுத்துகிறது.