ஆல்ட் பிளானட்டரி சசெப்டர்

தொழில்முறை உற்பத்தியாளராக, வெடெக் செமிகண்டக்டர் உங்களுக்கு எஸ்.ஐ.சி பூசப்பட்ட அணு அடுக்கு படிவு கிரக சசெப்டரை அறிமுகப்படுத்த விரும்புகிறது.

ALD செயல்முறை அணு அடுக்கு எபிடாக்ஸி என்றும் அழைக்கப்படுகிறது. வெட்செமெமிகான் முன்னணி ALD அமைப்பு உற்பத்தியாளர்களுடன் அதிநவீன SIC- பூசப்பட்ட ALD பிளானட்டரி சசெப்டர்களின் வளர்ச்சியையும் உற்பத்தியையும் முன்னோடியாகக் கொண்டுவருகிறது. இந்த புதுமையான சுசெப்டர்கள் ALD செயல்முறையின் கடுமையான தேவைகளை முழுமையாக பூர்த்தி செய்வதற்கும், அடி மூலக்கூறு முழுவதும் சீரான வாயு ஓட்ட விநியோகத்தை உறுதி செய்வதற்கும் கவனமாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன.

கூடுதலாக, அதிக தூய்மை சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூச்சு பயன்படுத்துவதன் மூலம் படிவு சுழற்சியின் போது வெட்செமெமிகான் அதிக தூய்மைக்கு உத்தரவாதம் அளிக்கிறது (தூய்மை 99.99995%ஐ அடைகிறது). இந்த உயர் தூய்மை SIC பூச்சு செயல்முறை நம்பகத்தன்மையை மேம்படுத்துவதோடு மட்டுமல்லாமல், வெவ்வேறு பயன்பாடுகளில் ALD செயல்முறையின் ஒட்டுமொத்த செயல்திறன் மற்றும் மீண்டும் நிகழ்தகவையும் மேம்படுத்துகிறது.

சுய-வளர்ந்த சி.வி.டி சிலிக்கான் கார்பைடு படிவு உலை (காப்புரிமை பெற்ற தொழில்நுட்பம்) மற்றும் பல பூச்சு செயல்முறை காப்புரிமைகள் (சாய்வு பூச்சு வடிவமைப்பு, இடைமுக சேர்க்கை வலுப்படுத்தும் தொழில்நுட்பம் போன்றவை) ஆகியவற்றை நம்பி, எங்கள் தொழிற்சாலை பின்வரும் முன்னேற்றங்களை அடைந்தது:

தனிப்பயனாக்கப்பட்ட சேவைகள்: டொயோ கார்பன் மற்றும் எஸ்ஜிஎல் கார்பன் போன்ற இறக்குமதி செய்யப்பட்ட கிராஃபைட் பொருட்களைக் குறிப்பிட வாடிக்கையாளர்களுக்கு ஆதரவளிக்கவும்.

தர சான்றிதழ்: தயாரிப்பு அரை நிலையான சோதனையை நிறைவேற்றியுள்ளது, மேலும் துகள் உதிர்தல் வீதம் <0.01%, 7nm க்குக் கீழே மேம்பட்ட செயல்முறை தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்கிறது.

ALD தொழில்நுட்ப கண்ணோட்டத்தின் நன்மைகள்:

The துல்லியமான தடிமன் கட்டுப்பாடு: எக்செல்லுடன் துணை நானோமீட்டர் பட தடிமன் அடையவும்படிவு சுழற்சிகளைக் கட்டுப்படுத்துவதன் மூலம் மீண்டும் மீண்டும் செய்யக்கூடிய தன்மை.

● உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு: இது 1200 than க்கு மேல் உயர் வெப்பநிலை சூழலில் நீண்ட காலமாக வேலை செய்ய முடியும், சிறந்த வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு மற்றும் விரிசல் அல்லது உரிக்கப்படுவதற்கான ஆபத்து இல்லை. 

   பூச்சுகளின் வெப்ப விரிவாக்க குணகம் கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறுடன் நன்கு பொருந்துகிறது, சீரான வெப்ப புலம் விநியோகத்தை உறுதி செய்கிறது மற்றும் சிலிக்கான் செதில் சிதைவைக் குறைக்கிறது.

● மேற்பரப்பு மென்மையானது: சரியான 3D இணக்கம் மற்றும் 100% படி கவரேஜ் ஆகியவை அடி மூலக்கூறு வளைவைப் பின்பற்றும் மென்மையான பூச்சுகளை உறுதி செய்கின்றன.

● அரிப்பு மற்றும் பிளாஸ்மா அரிப்புக்கு எதிர்ப்பு: SIC பூச்சுகள் ஆலசன் வாயுக்கள் (CL₂, F₂ போன்ற) மற்றும் பிளாஸ்மா ஆகியவற்றின் அரிப்பை திறம்பட எதிர்க்கின்றன, அவை பொறித்தல், சி.வி.டி மற்றும் பிற கடுமையான செயல்முறை சூழல்களுக்கு ஏற்றவை.

Application பரந்த பொருந்தக்கூடிய தன்மை: செதில்களிலிருந்து பொடிகள் வரை பல்வேறு பொருள்களில் பூசக்கூடியது, உணர்திறன் அடி மூலக்கூறுகளுக்கு ஏற்றது.

Custor தனிப்பயனாக்கக்கூடிய பொருள் பண்புகள்: ஆக்சைடுகள், நைட்ரைடுகள், உலோகங்கள் போன்றவற்றிற்கான பொருள் பண்புகளை எளிதாக தனிப்பயனாக்குதல்.

Process பரந்த செயல்முறை சாளரம்: வெப்பநிலை அல்லது முன்னோடி மாறுபாடுகளுக்கு உணர்வற்ற தன்மை, சரியான பூச்சு தடிமன் சீரான தன்மையைக் கொண்ட தொகுதி உற்பத்திக்கு உகந்தது.

பயன்பாட்டு காட்சி:

1. குறைக்கடத்தி உற்பத்தி உபகரணங்கள்

எபிடாக்ஸி: MOCVD எதிர்வினை குழியின் முக்கிய கேரியராக, இது செதிலின் சீரான வெப்பத்தை உறுதி செய்கிறது மற்றும் எபிடாக்ஸி அடுக்கின் தரத்தை மேம்படுத்துகிறது.

பொறித்தல் மற்றும் படிவு செயல்முறை: உலர் பொறித்தல் மற்றும் அணு அடுக்கு படிவு (ALD) கருவிகளில் பயன்படுத்தப்படும் எலக்ட்ரோடு கூறுகள், அவை உயர் அதிர்வெண் பிளாஸ்மா குண்டுவெடிப்பைத் தாங்கும் 1016.

2. ஒளிமின்னழுத்த தொழில்

பாலிசிலிகான் இங்காட் உலை: ஒரு வெப்ப புல ஆதரவு கூறுகளாக, அசுத்தங்களின் அறிமுகத்தைக் குறைத்தல், சிலிக்கான் இங்காட்டின் தூய்மையை மேம்படுத்துதல் மற்றும் திறமையான சூரிய மின்கல உற்பத்திக்கு உதவுகிறது.

ஒரு முன்னணி சீன ஆல்ட் கிரக செசெப்டர் உற்பத்தியாளர் மற்றும் சப்ளையர் என்ற முறையில், வெட்க்செமிகான் உங்களுக்கு மேம்பட்ட மெல்லிய திரைப்பட படிவு தொழில்நுட்ப தீர்வுகளை வழங்க உறுதிபூண்டுள்ளது. உங்கள் மேலதிக விசாரணைகள் வரவேற்கப்படுகின்றன.

சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்: