திட சிலிக்கான் கார்பைட்டின் பயன்பாடுகள்

திட சிலிக்கான் கார்பைடு எஸ்.ஐ.சி என்பது சிலிக்கான் (எஸ்ஐ) மற்றும் கார்பன் (சி) ஆகியவற்றைக் கொண்ட ஒரு மேம்பட்ட பீங்கான் பொருள் ஆகும். இது இயற்கையில் பரவலாகக் காணப்படும் ஒரு பொருள் அல்ல, பொதுவாக அதிக வெப்பநிலை தொகுப்பு தேவைப்படுகிறது. உடல் மற்றும் வேதியியல் பண்புகளின் தனித்துவமான கலவையானது தீவிர சூழல்களில், குறிப்பாக குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் சிறப்பாக செயல்படும் ஒரு முக்கிய பொருளாக அமைகிறது.

Ⅰ. திடமான சிலிக்கான் கார்பைட்டின் முக்கிய இயற்பியல் பண்புகள் (திட sic)

Hurs அதிக கடினத்தன்மை மற்றும் உடைகள் எதிர்ப்பு:

SIC க்கு MOHS கடினத்தன்மை சுமார் 9-9.5, வைரத்திற்கு அடுத்தபடியாக உள்ளது. இது சிறந்த கீறல் மற்றும் உடைகளை அணியாது, மேலும் இது இயந்திர மன அழுத்தம் அல்லது துகள் அரிப்பைத் தாங்க வேண்டிய சூழல்களில் சிறப்பாக செயல்படுகிறது.

High சிறந்த உயர் வெப்பநிலை வலிமை மற்றும் ஸ்திரத்தன்மை

1. எஸ்.ஐ.சி அதன் இயந்திர வலிமை மற்றும் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாட்டை மிக அதிக வெப்பநிலையில் பராமரிக்க முடியும் (வகை மற்றும் தூய்மையைப் பொறுத்து 1600 ° C வரை அல்லது அதற்கு மேற்பட்ட வெப்பநிலையில் இயங்குகிறது).

2. வெப்ப விரிவாக்கத்தின் அதன் குறைந்த குணகம் என்பது நல்ல பரிமாண நிலைத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் வெப்பநிலை வெகுவாக மாறும்போது சிதைவு அல்லது விரிசலுக்கு ஆளாகாது.

வெப்பமான கடத்துத்திறன்:

பல பீங்கான் பொருட்களைப் போலல்லாமல், SIC ஒப்பீட்டளவில் அதிக வெப்ப கடத்துத்திறனைக் கொண்டுள்ளது. இது வெப்பத்தை திறமையாக நடத்தவும் சிதறவும் அனுமதிக்கிறது, இது துல்லியமான வெப்பநிலை கட்டுப்பாடு மற்றும் சீரான தன்மை தேவைப்படும் பயன்பாடுகளுக்கு முக்கியமானது.

உயர்ந்த வேதியியல் செயலற்ற தன்மை மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு:

குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளில் பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் பெரும்பாலான வலுவான அமிலங்கள், வலுவான தளங்கள் மற்றும் அரிக்கும் வாயுக்கள் (பிளாஸ்மா சூழல்களில் ஃவுளூரின் அடிப்படையிலான மற்றும் குளோரின் அடிப்படையிலான வாயுக்கள் போன்றவை), அதிக வெப்பநிலையில் கூட எஸ்.ஐ.சி மிகவும் வலுவான எதிர்ப்பை வெளிப்படுத்துகிறது. செயல்முறை அறை கூறுகள் சிதைந்து அல்லது மாசுபடுவதைத் தடுப்பதற்கு இது மிகவும் முக்கியமானது.

Pait அதிக தூய்மைக்கான சாத்தியம்:

குறிப்பிட்ட உற்பத்தி செயல்முறைகள் (வேதியியல் நீராவி படிவு - சி.வி.டி போன்றவை) மூலம் மிக உயர்ந்த தூய்மை எஸ்.ஐ.சி பூச்சுகள் அல்லது திட எஸ்.ஐ.சி பாகங்கள் தயாரிக்கப்படலாம். குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில், பொருள் தூய்மை நேரடியாக செதிலின் மாசு நிலை மற்றும் இறுதி உற்பத்தியின் விளைச்சலை பாதிக்கிறது.

▶ உயர் விறைப்பு (யங்கின் மாடுலஸ்):

எஸ்.ஐ.சி ஒரு உயர் யங்கின் மாடுலஸைக் கொண்டுள்ளது, அதாவது இது மிகவும் கடினமானது மற்றும் சுமைகளின் கீழ் சிதைப்பது எளிதல்ல. துல்லியமான வடிவத்தையும் அளவையும் (செதில் கேரியர்கள் போன்றவை) பராமரிக்க வேண்டிய கூறுகளுக்கு இது மிகவும் முக்கியமானது.

▶ சரிசெய்யக்கூடிய மின் பண்புகள்:

இது பெரும்பாலும் ஒரு இன்சுலேட்டர் அல்லது செமிகண்டக்டராகப் பயன்படுத்தப்பட்டாலும் (அதன் படிக வடிவம் மற்றும் ஊக்கமருந்து பொறுத்து), அதன் உயர் எதிர்ப்பு பிளாஸ்மா நடத்தையை நிர்வகிக்க உதவுகிறது அல்லது சில கூறு பயன்பாடுகளில் தேவையற்ற வில் வெளியேற்றத்தைத் தடுக்க உதவுகிறது.

Ⅱ. குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் திடமான சிலிக்கான் கார்பைடு (திட எஸ்.ஐ.சி) முடிக்கப்பட்ட தயாரிப்புகளின் குறிப்பிட்ட பயன்பாடுகள் மற்றும் நன்மைகள்

மேலே உள்ள இயற்பியல் பண்புகளின் அடிப்படையில், சாலிட் எஸ்.ஐ.சி பல்வேறு துல்லியமான கூறுகளாக தயாரிக்கப்படுகிறது மற்றும் குறைக்கடத்தி முன்-இறுதி செயல்முறைகளின் பல முக்கிய இணைப்புகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

1) திட SIC WAFER கேரியர் (திட Sic Wafer கேரியர் / படகு):

பயன்பாடு:

உயர் வெப்பநிலை செயல்முறைகளில் (பரவல், ஆக்சிஜனேற்றம், எல்பிசிவிடி-குறைந்த அழுத்த வேதியியல் நீராவி படிவு போன்றவை) சிலிக்கான் செதில்களை எடுத்துச் செல்லவும் மாற்றவும் பயன்படுகிறது.

நன்மைகள் பகுப்பாய்வு:

1. அதிக வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை: 1000 ° C ஐ தாண்டிய செயல்முறை வெப்பநிலையில், SIC கேரியர்கள் குவார்ட்ஸைப் போல மென்மையாக்கவோ, சிதைக்கவோ அல்லது தொய்க்கவோ செய்யாது, மேலும் செயல்முறை சீரான தன்மையை உறுதிப்படுத்த செதில் இடைவெளியை துல்லியமாக பராமரிக்க முடியும்.

2. நீண்ட ஆயுள் மற்றும் குறைந்த துகள் உருவாக்கம்: SIC இன் கடினத்தன்மை மற்றும் உடைகள் எதிர்ப்பு ஆகியவை குவார்ட்ஸை விட அதிகமாக உள்ளன, மேலும் செதில்களை மாசுபடுத்துவதற்கு சிறிய துகள்களை உருவாக்குவது எளிதல்ல. அதன் சேவை வாழ்க்கை வழக்கமாக பல மடங்கு அல்லது டஜன் கணக்கான மடங்கு குவார்ட்ஸ் கேரியர்களைக் காட்டிலும், மாற்று அதிர்வெண் மற்றும் பராமரிப்பு செலவுகளைக் குறைக்கிறது.

3. வேதியியல் செயலற்ற தன்மை: இது செயல்முறை வளிமண்டலத்தில் வேதியியல் அரிப்பை எதிர்க்கும் மற்றும் அதன் சொந்த பொருட்களின் மழைப்பொழிவால் ஏற்படும் செதிலின் மாசுபாட்டைக் குறைக்கலாம்.

4. வெப்ப கடத்துத்திறன்: நல்ல வெப்ப கடத்துத்திறன் கேரியர்கள் மற்றும் செதில்களின் விரைவான மற்றும் சீரான வெப்பமாக்கல் மற்றும் குளிரூட்டலை அடைய உதவுகிறது, செயல்முறை செயல்திறன் மற்றும் வெப்பநிலை சீரான தன்மையை மேம்படுத்துகிறது.

5. அதிக தூய்மை: தூய்மையற்ற கட்டுப்பாட்டுக்கு மேம்பட்ட முனைகளின் கடுமையான தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய உயர் தூய்மை SIC கேரியர்கள் தயாரிக்கப்படலாம்.

பயனர் மதிப்பு:

செயல்முறை நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்துதல், தயாரிப்பு விளைச்சலை அதிகரிக்கவும், கூறு தோல்வி அல்லது மாசுபாட்டால் ஏற்படும் வேலையில்லா நேரத்தைக் குறைத்தல் மற்றும் நீண்ட காலத்திற்கு உரிமையின் ஒட்டுமொத்த செலவைக் குறைத்தல்.

2) திடமான SIC வட்டு வடிவ / எரிவாயு மழை தலை:

பயன்பாடு:

பிளாஸ்மா பொறித்தல், வேதியியல் நீராவி படிவு (சி.வி.டி), அணு அடுக்கு படிவு (ALD) போன்ற கருவிகளின் எதிர்வினை அறையின் மேற்புறத்தில் நிறுவப்பட்டுள்ளது, கீழே உள்ள செதில் மேற்பரப்பில் செயல்முறை வாயுக்களை சமமாக விநியோகிப்பதற்கு பொறுப்பாகும்.

நன்மை பகுப்பாய்வு:

1. பிளாஸ்மா சகிப்புத்தன்மை: உயர் ஆற்றல், வேதியியல் ரீதியாக செயலில் உள்ள பிளாஸ்மா சூழலில், SIC ஷவர் தலை பிளாஸ்மா குண்டுவெடிப்பு மற்றும் வேதியியல் அரிப்புக்கு மிகவும் வலுவான எதிர்ப்பை வெளிப்படுத்துகிறது, இது குவார்ட்ஸ் அல்லது அலுமினாவை விட மிக உயர்ந்தது.

2. சீரான தன்மை மற்றும் நிலைத்தன்மை: துல்லியமான-இயந்திர எஸ்.ஐ.சி ஷவர் தலை முழு செதில் மேற்பரப்பிலும் வாயு ஓட்டம் சமமாக விநியோகிக்கப்படுவதை உறுதி செய்ய முடியும், இது திரைப்பட தடிமன், கலவை சீரான தன்மை அல்லது பொறித்தல் வீதத்தின் சீரான தன்மைக்கு முக்கியமானது. இது நல்ல நீண்ட கால ஸ்திரத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் சிதைக்க அல்லது அடைக்க எளிதானது அல்ல.

3. வெப்ப மேலாண்மை: நல்ல வெப்ப கடத்துத்திறன் ஷவர்ஹெட் மேற்பரப்பில் வெப்பநிலை சீரான தன்மையை பராமரிக்க உதவுகிறது, இது பல வெப்ப-உணர்திறன் படிவு அல்லது பொறித்தல் செயல்முறைகளுக்கு முக்கியமானது.

4. குறைந்த மாசுபாடு: அதிக தூய்மை மற்றும் வேதியியல் செயலற்ற தன்மை ஆகியவை ஷவர்ஹெட்டின் சொந்த பொருட்களின் மாசுபாட்டைக் குறைக்கின்றன.

பயனர் மதிப்பு:

செயல்முறை முடிவுகளின் சீரான தன்மை மற்றும் மீண்டும் நிகழ்தகவை கணிசமாக மேம்படுத்துதல், ஷவர்ஹெட்டின் சேவை ஆயுளை நீட்டித்தல், பராமரிப்பு நேரங்கள் மற்றும் துகள் சிக்கல்களைக் குறைத்தல், மேலும் மேம்பட்ட மற்றும் கடுமையான செயல்முறை நிலைமைகளை ஆதரிக்கிறது.

3) திடமான SIC பொறித்தல் கவனம் செலுத்தும் வளையம் (திடமான SIC பொறித்தல் கவனம் மோதிரம் / விளிம்பு வளையம்):

பயன்பாடு:

முக்கியமாக பிளாஸ்மா பொறித்தல் உபகரணங்களின் அறையில் பயன்படுத்தப்படுகிறது (கொள்ளளவு இணைக்கப்பட்ட பிளாஸ்மா சி.சி.பி அல்லது தூண்டலாக இணைந்த பிளாஸ்மா ஐ.சி.பி எட்சர் போன்றவை), வழக்கமாக வேஃபர் கேரியரின் (சக்) விளிம்பில் வைக்கப்படுகின்றன. அதன் செயல்பாடு பிளாஸ்மாவைக் கட்டுப்படுத்துவதும் வழிகாட்டுவதும் ஆகும், இதனால் அறையின் பிற கூறுகளைப் பாதுகாக்கும் போது அது செதில் மேற்பரப்பில் மிகவும் சமமாக செயல்படுகிறது.

நன்மை பகுப்பாய்வு:

1. பிளாஸ்மா அரிப்புக்கு வலுவான எதிர்ப்பு: இது SIC கவனம் செலுத்தும் வளையத்தின் மிக முக்கியமான நன்மை. மிகவும் ஆக்ரோஷமான பொறித்தல் பிளாஸ்மாக்களில் (ஃவுளூரின்- அல்லது குளோரின் கொண்ட ரசாயனங்கள் போன்றவை), SIC குவார்ட்ஸ், அலுமினா அல்லது யெட்ரியா (Yttrium ஆக்சைடு) ஐ விட மிக மெதுவாக அணிந்துள்ளது, மேலும் மிக நீண்ட ஆயுளைக் கொண்டுள்ளது.

2. முக்கியமான பரிமாணங்களை பராமரித்தல்: அதிக கடினத்தன்மை மற்றும் அதிக விறைப்பு ஆகியவை நீண்ட கால பயன்பாட்டில் அவற்றின் துல்லியமான வடிவத்தையும் அளவையும் சிறப்பாக பராமரிக்க SIC கவனம் செலுத்தும் மோதிரங்களை அனுமதிக்கின்றன, இது பிளாஸ்மா உருவ அமைப்பை உறுதிப்படுத்துவதற்கும் பொறிப்பதை சீரான தன்மையை உறுதி செய்வதற்கும் முக்கியமானது.

3. குறைந்த துகள் உருவாக்கம்: அதன் உடைகள் எதிர்ப்பின் காரணமாக, இது கூறு வயதானதன் மூலம் உருவாகும் துகள்களை வெகுவாகக் குறைக்கிறது, இதனால் மகசூல் மேம்படுத்துகிறது.

4. அதிக தூய்மை: உலோகம் அல்லது பிற அசுத்தங்களை அறிமுகப்படுத்துவதைத் தவிர்க்கவும்.

பயனர் மதிப்பு:

கூறு மாற்று சுழற்சிகளை பெரிதும் நீட்டிக்கிறது, பராமரிப்பு செலவுகள் மற்றும் உபகரணங்கள் வேலையில்லா நேரத்தை கணிசமாகக் குறைக்கிறது; பொறித்தல் செயல்முறைகளின் ஸ்திரத்தன்மை மற்றும் மீண்டும் மீண்டும் தன்மையை மேம்படுத்துதல்; குறைபாடுகளைக் குறைத்து, உயர்நிலை சிப் உற்பத்தியின் விளைச்சலை மேம்படுத்தவும்.

..சுருக்கம்

திடமான சிலிக்கான் கார்பைடு நவீன குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் இன்றியமையாத முக்கிய பொருட்களில் ஒன்றாக மாறியுள்ளது, ஏனெனில் அதன் தனித்துவமான இயற்பியல் பண்புகள் - அதிக கடினத்தன்மை, அதிக உருகும் இடம், அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன், சிறந்த வேதியியல் நிலைத்தன்மை மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு. இது செதில்களைச் சுமப்பதற்கான ஒரு கேரியராக இருந்தாலும், எரிவாயு விநியோகத்தைக் கட்டுப்படுத்துவதற்கான ஒரு மழை தலை, அல்லது பிளாஸ்மாவை வழிநடத்துவதற்கான கவனம் செலுத்தும் வளையம், திடமான SIC தயாரிப்புகள் சிப் உற்பத்தியாளர்கள் அவற்றின் சிறந்த செயல்திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மையுடன் பெருகிய முறையில் கடுமையான செயல்முறை சவால்களைச் சமாளிக்க உதவுகின்றன, உற்பத்தி திறன் மற்றும் தயாரிப்பு விளைச்சலின் நிலையான வளர்ச்சியை ஊக்குவிக்கின்றன.

சீனாவில் திடமான சிலிக்கான் கார்பைடு தயாரிப்புகளின் முன்னணி உற்பத்தியாளராகவும் சப்ளையராகவும்,செமிகான்போன்ற தயாரிப்புகள்திடமான SIC WAFER கேரியர் / படகு, திடமான SIC வட்டு வடிவ / எரிவாயு மழை தலை, திடமான SIC பொறித்தல் கவனம் செலுத்தும் வளையம் / விளிம்பு வளையம்ஐரோப்பாவிலும் அமெரிக்காவிலும் பரவலாக விற்கப்படுகின்றன, மேலும் இந்த வாடிக்கையாளர்களிடமிருந்து அதிக பாராட்டையும் அங்கீகாரத்தையும் வென்றுள்ளன. சீனாவில் உங்கள் நீண்டகால கூட்டாளராக மாறுவதற்கு நாங்கள் மனதார எதிர்பார்க்கிறோம். ஆலோசிக்க வருக.

கும்பல்/வாட்ஸ்அப்: +86-180 6922 0752

மின்னஞ்சல்: anny@veteksemi.com