Sic பூச்சு சேகரிப்பாளர் கீழே

வெடெக் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியாளர் என்பது உயர் தரத்தை வழங்க உறுதிபூண்டுள்ளதுசி.வி.டி டிஏசி பூச்சுமற்றும் சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூச்சு கலெக்டர் பாட்டம் மற்றும் எங்கள் வாடிக்கையாளர்களின் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய ஐக்ஸ்ட்ரான் கருவிகளுடன் நெருக்கமாக பணியாற்றுங்கள். செயல்முறை தேர்வுமுறை அல்லது புதிய தயாரிப்பு மேம்பாட்டில் இருந்தாலும், தொழில்நுட்ப ஆதரவை உங்களுக்கு வழங்கவும், உங்களிடம் ஏதேனும் கேள்விகளுக்கு பதிலளிக்கவும் நாங்கள் தயாராக உள்ளோம்.

தயாரிப்பு மைய செயல்பாடு

செயல்முறை நிலைத்தன்மை உத்தரவாதம்

வெப்பநிலை சாய்வு கட்டுப்பாடு: ±1.5℃/cm@1200℃

ஓட்ட புல உகப்பாக்கம்: சிறப்பு சேனல் வடிவமைப்பு எதிர்வினை வாயு விநியோக சீரான தன்மையை 92.6% வரை ஆக்குகிறது

உபகரணங்கள் பாதுகாப்பு வழிமுறை

இரட்டை பாதுகாப்பு:

வெப்ப அதிர்ச்சி இடையக: 10 ℃/s விரைவான வெப்பநிலை மாற்றத்தைத் தாங்குங்கள்

துகள் இடைமறிப்பு: பொறி> ​​0.3μm வண்டல் துகள்கள்

அதிநவீன தொழில்நுட்ப துறையில்

முழு செயல்முறை தரக் கட்டுப்பாடு

உற்பத்தி கண்டுபிடிப்பு அமைப்பு

மூலப்பொருட்களின் ஆதாரம்: ஜப்பானில் இருந்து டோக்காய்/டோயோ கிராஃபைட், ஜெர்மனியில் இருந்து எஸ்ஜிஎல் கிராஃபைட்

டிஜிட்டல் இரட்டை கண்காணிப்பு: ஒவ்வொரு கூறுகளும் ஒரு சுயாதீன செயல்முறை அளவுரு தரவுத்தளத்துடன் பொருந்துகின்றன

பயன்பாட்டு காட்சி:

மூன்றாம் தலைமுறை குறைக்கடத்தி உற்பத்தி

காட்சி: 6 அங்குல எஸ்.ஐ.சி எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி (100-150μm தடிமன் கட்டுப்பாடு)

இணக்கமான மாதிரி: Aixtron G5 WW/CRIUS II

Aixtron SIC பூசப்பட்ட கலெக்டர் டாப், கலெக்டர் சென்டர் மற்றும் எஸ்.ஐ.சி பூசப்பட்ட சேகரிப்பாளர் ஆகியவற்றைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம், குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகளில் வெப்ப மேலாண்மை மற்றும் வேதியியல் பாதுகாப்பு ஆகியவை அடையப்படலாம், திரைப்பட வளர்ச்சி சூழலை உகந்ததாக்கலாம், மேலும் படத்தின் தரம் மற்றும் நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்தலாம். ஐக்ஸ்ட்ரான் கருவிகளில் இந்த கூறுகளின் கலவையானது நிலையான செயல்முறை நிலைமைகள் மற்றும் திறமையான குறைக்கடத்தி உற்பத்தியை உறுதி செய்கிறது.

சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி படத்தின் SEM தரவு