அலுமினிய நைட்ரைடு பீங்கான் வட்டு

வெடெக் செமிகண்டக்டர் அலுமினிய நைட்ரைடு பீங்கான் தட்டு என்பது அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன், குறைந்த விரிவாக்க குணகம், அதிக வலிமை, அதிக வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, வேதியியல் அரிப்பு எதிர்ப்பு, அதிக எதிர்ப்பு மற்றும் குறைந்த மின்கடத்தா இழப்பு ஆகியவற்றைக் கொண்ட ஒரு சிறந்த இன்சுலேடிங் பீங்கான் உற்பத்தியாகும். அலுமினிய நைட்ரைடு மட்பாண்டங்கள் நச்சு பெரிலியம் ஆக்சைடு மட்பாண்டங்களை மாற்றலாம் மற்றும் அவை மின்னணு துறையில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

செயல்திறன் நன்மை:

அலுமினா மட்பாண்டங்களுடன் ஒப்பிடும்போது, ​​அலுமினிய நைட்ரைடு அதிக வெப்ப கடத்துத்திறனைக் கொண்டுள்ளது, 100 டிகிரி செல்சியஸில், வெப்ப கடத்துத்திறன் 170W/ M.K க்கு மேல் உள்ளது, மற்றும் அலுமினிய ஆக்சைட்டின் வெப்ப கடத்துத்திறன் சுமார் 15-35 W/ (M · K), மற்றும் அலுமினிய நைட்ரைடு அலுமினிய ஆக்சைடு விட 5 மடங்கு அதிகமாகும்.

அலுமினிய நைட்ரைடு பீங்கான் பொருளின் கடினத்தன்மை பொதுவாக 9 MOHS கடினத்தன்மை ஆகும், அதாவது அலுமினிய நைட்ரைடு மட்பாண்டங்களின் கடினத்தன்மை மிக அதிகமாக உள்ளது, இது வைரத்திற்கு அடுத்தபடியாக உள்ளது, குறைக்கடத்தி பேக்கேஜிங் செயல்பாட்டில், பொதுவாக அலுமினிய நைட்ரைடு பீங்கான் கோப்பைகள் மூலக்கூறு, வெப்ப கடத்துத்திறன் தட்டு மற்றும் பிற முக்கிய ஸ்திரமின்மைக்கு நல்ல வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் இயந்திர வலிமைக்கு பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

இந்த வகையான பீங்கான் நேரியல் விரிவாக்க குணகம் பொதுவாக 4 முதல் 5 × 10^ வரம்பில் இருக்கும்^-6/℃, இது உலோகப் பொருட்களின் விரிவாக்க குணகத்துடன் மேலும் பொருந்துகிறது, மன அழுத்தத்தின் தலைமுறையை குறைக்க உதவுகிறதுவெப்பநிலை மாற்றங்களால் ஏற்படும் எர்மல் மன அழுத்தம்.

அதே நேரத்தில், அலுமினிய நைட்ரைடு மட்பாண்டங்களின் வளைக்கும் வலிமை பொதுவாக 300 முதல் 700 MPa வரை இருக்கும், இது சிர்கோனியா மற்றும் அலுமினா போன்ற பல பீங்கான் பொருட்களை விட அதிகமாக இருக்கும்.

வெப்பநிலையைப் பொறுத்தவரை, அலுமினிய நைட்ரைடு மட்பாண்டங்கள் அதிக வெப்பநிலை சூழலில் நிலையானதாக வேலை செய்ய முடியும், மேலும் அதன் பயன்பாட்டு வெப்பநிலை 1500 than க்கு மேல் அடையலாம், இது அதிக வெப்பநிலை செயல்முறைகள் மற்றும் பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றது.

மந்த வாயுக்களுக்கு அதன் எதிர்ப்பைத் தவிர, அலுமினிய நைட்ரைடு பீங்கான் வட்டு சிறந்த வேதியியல் நிலைத்தன்மையையும் அமிலங்கள் மற்றும் காரங்கள் போன்ற அரிக்கும் ஊடகங்களுக்கு அதிக எதிர்ப்பையும் வெளிப்படுத்துகிறது, இதனால் அவை வேதியியல் துறையில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

அலுமினிய நைட்ரைடு பீங்கான் வட்டு அதிக எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது, பொதுவாக 10^ க்கு இடையில்¹⁴மற்றும் 10^¹⁵Ω · செ.மீ, இது மின் காப்பு பண்புகள் தேவைப்படும் சந்தர்ப்பங்களுக்கு ஏற்றது. அலுமினிய நைட்ரைடு மட்பாண்டங்கள் மிகக் குறைந்த மின்கடத்தா இழப்பைக் கொண்டுள்ளன, அதாவது மின்கடத்தா பயன்பாடுகளில் ஆற்றல் இழப்பு குறைக்கப்படலாம்.

பயன்பாட்டு பகுதி:

செமிகண்டக்டர் பேக்கேஜிங்: திறமையான வெப்ப நிர்வாகத்தை வழங்க, சக்தி தொகுதிகள் (ஐ.ஜி.பி.டி.எஸ் போன்றவை), உயர்-சக்தி சிப் கேரியர்கள், திட-நிலை ரிலேக்கள் போன்றவை 3410.

மின்னணு அடி மூலக்கூறு: ஒரு மெல்லிய படம்/தடிமனான பட சர்க்யூட் போர்டாக, உயர் துல்லியமான எந்திரத்தை ஆதரிக்கிறது (எ.கா. RA 0.3μm மேற்பரப்பு கடினத்தன்மைக்கு மெருகூட்டல்) 410.

RF/மைக்ரோவேவ் சாதனங்கள்: குறைந்த மின்கடத்தா இழப்பு (TANδ ≤3 × 10⁻⁴, 1MHz) உயர் அதிர்வெண் சர்க்யூட் போர்டு 1018 க்கு ஏற்ற பண்புகள்.

பிற தொழில்துறை காட்சிகள்: வெற்றிட பூச்சு உபகரணங்கள் பாகங்கள், ஹிக் போன்றவை

செயலாக்கம் மற்றும் தனிப்பயனாக்குதல் சேவைகள்

துல்லிய எந்திரம்: ஆதரவு வெட்டுதல், துளையிடுதல், அரைத்தல், மெருகூட்டல் (0.3μm வரை மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை RA) மற்றும் தனிப்பயனாக்கப்பட்ட சிறப்பு வடிவ அமைப்பு 410.

மேற்பரப்பு சிகிச்சை: மேற்பரப்பு மென்மையை மேம்படுத்த சின்டர் செய்யப்பட்ட அடி மூலக்கூறு மீண்டும் செயலாக்கப்படலாம் (எ.கா., 30 மைக்ரோஞ்ச் ஆர்.ஏ முதல் 1 மைக்ரோஞ்ச் ஆர்.ஏ வரை) 4.

இது குறைக்கடத்திஅலுமினிய நைட்ரைடு பீங்கான் வட்டு தயாரிப்புகள் கடைகள்: