கிராஃபைட் சுழலும் ஆதரவு

எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்முறைக்கு வேஃபர் சசெப்டர் அவசியம். எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியின் போது, ​​செதில்கள் Sussector இல் வைக்கப்படுகின்றன. வெடெக் செமிகண்டக்டரின் உயர் தூய்மை கிராஃபைட் சுழலும் SUSSEPTORS அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அதிக வெற்றிட சூழல்களின் கீழ் பொருள் செயலாக்க சாதனங்களில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. காலியம் நைட்ரைடு (MOCVD செயல்முறை) இன் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியில், அவை அடி மூலக்கூறின் சுழற்சியில் ஒரு துணைப் பாத்திரத்தை வகிக்கின்றன. வெடெக் செமிகண்டக்டரின் சுழலும் கிராஃபைட் சுசெப்டருக்கு பின்வரும் நன்மைகள் உள்ளன:

● உயர் தூய்மை: உயர் தூய்மை கிராஃபைட் சுழலும் செயலற்றவர்களில் தூய்மையற்ற உள்ளடக்கம் 5ppm க்கு கீழே உள்ளது. இந்த நிலை தூய்மை கிராஃபைட் படிவு செயல்முறையின் தூய்மையை உறுதி செய்வதற்காக அதிக வெப்பநிலையில் அசுத்தங்களை வெளியிடுவதைத் தவிர்க்கலாம். எனவே, உழைக்கும் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய பூச்சு எதுவும் தேவையில்லை.

உயர் தூய்மை கிராஃபைட்

Hal சிறந்த வெப்ப பண்புகள்: உயர் தூய்மை கிராஃபைட் சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறனைக் கொண்டுள்ளது, மேலும் அதன் வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்ற பொருட்களை விட அதிகமாக உள்ளது. வெப்ப விரிவாக்க குணகம் சிறியது மற்றும் வெப்பநிலை மாற்றங்களை அனுபவிக்கும் போது நிலையான செயல்திறனை பராமரிக்க முடியும்.

Mochine நல்ல இயந்திர பண்புகள்: உயர் தூய்மை கிராஃபைட் நல்ல உடைகள் எதிர்ப்பு மற்றும் கடினத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளது, இது சி.வி.டி செயல்முறையின் சிக்கலான தேவைகளை பூர்த்தி செய்ய முடியும்.

கடத்துத்திறன்: கடத்துத்திறன் பொது உலோகமற்ற தாதுக்களை விட நூறு மடங்கு அதிகம்.

● வேதியியல் ஸ்திரத்தன்மை: இது அமிலங்கள், காரங்கள் மற்றும் கரிம கரைப்பான்களிலிருந்து அரிப்பை எதிர்க்கும்

மேலும், சீனாவில் உயர் தூய்மை கிராஃபைட் சுழலும் சுசெப்டரின் ஒரு முன்னணி உற்பத்தியாளராகவும் சப்ளையராகவும், வெடெக் குறைக்கடத்தி உயர்தரத்தை வழங்குகிறதுMOCVD க்கான SIC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் Susscector, Sic பூசப்பட்ட பீப்பாய் சசெப்டர், TAC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் ஆதரவுமற்றும்MOCVD SIC பூச்சு SUSSCECTOR.வெடெக் குறைக்கடத்தி குறைக்கடத்தி தொழிலுக்கு மேம்பட்ட தொழில்நுட்பம் மற்றும் தயாரிப்பு தீர்வுகளை வழங்க உறுதிபூண்டுள்ளது, மேலும் தனிப்பயனாக்கப்பட்ட சேவைகளையும் ஆதரிக்கிறது. சீனாவில் உங்கள் நீண்டகால கூட்டாளராக மாறுவதற்கு நாங்கள் மனதார எதிர்பார்க்கிறோம்.

இது குறைக்கடத்திகிராஃபைட் சுழலும் சசெப்டர் தயாரிப்பு கடைகள்: