EPI க்கான SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் பேரல் சஸ்செப்டர்

✔ குறைக்கப்பட்ட மாசுபாடு: SiC இன் செயலற்ற தன்மையானது, அசுத்தங்கள் சஸ்பெப்டர் மேற்பரப்பில் ஒட்டிக்கொள்வதைத் தடுக்கிறது, டெபாசிட் செய்யப்பட்ட படங்களின் மாசுபாட்டின் அபாயத்தைக் குறைக்கிறது.

✔ அதிகரித்த அரிப்பு எதிர்ப்பு: SiC வழக்கமான கிராஃபைட்டைக் காட்டிலும் அரிப்பைக் கணிசமாக எதிர்க்கிறது, இது சஸ்செப்டருக்கு நீண்ட ஆயுளுக்கு வழிவகுக்கிறது.

✔ மேம்படுத்தப்பட்ட வெப்ப நிலைத்தன்மை: SiC சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் கொண்டது மற்றும் குறிப்பிடத்தக்க சிதைவு இல்லாமல் அதிக வெப்பநிலையை தாங்கும்.

✔ மேம்படுத்தப்பட்ட திரைப்படத் தரம்: மேம்பட்ட வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் குறைக்கப்பட்ட மாசு ஆகியவை மேம்பட்ட சீரான தன்மை மற்றும் தடிமன் கட்டுப்பாட்டுடன் உயர் தரமான டெபாசிட் படங்களை விளைவிக்கின்றன.

✔ கான் அடிப்படையிலான எல்.ஈ.டிக்கள்

✔ பவர் எலக்ட்ரானிக்ஸ்

✔ ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக் சாதனங்கள்

✔ உயர் அதிர்வெண் டிரான்சிஸ்டர்கள்

✔ சென்சார்கள்

SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் பேரல் சஸ்செப்டரின் தயாரிப்பு அளவுரு

        குறிப்பு: பூச்சுக்கு முன், முதல் சுத்திகரிப்பு செய்வோம், பூச்சுக்குப் பிறகு, இரண்டாவது சுத்திகரிப்பு செய்வோம்.

சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்