பிளாஸ்மா பொறித்தல் கவனம் வளையம்

செதில் உற்பத்தி துறையில், வெடெக் செமிகண்டக்டரின் ஃபோகஸ் ரிங் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது. இது ஒரு எளிய கூறு மட்டுமல்ல, பிளாஸ்மா பொறித்தல் செயல்பாட்டில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது. முதலாவதாக, பிளாஸ்மா எட்சிக் ஃபோகஸ் வளையம் செதில் விரும்பிய நிலையில் உறுதியாக இருப்பதை உறுதி செய்வதற்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, இதனால் பொறித்தல் செயல்முறையின் துல்லியம் மற்றும் நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது. செதில் இடத்தில் வைத்திருப்பதன் மூலம், கவனம் செலுத்தும் வளையம் பிளாஸ்மா அடர்த்தியின் சீரான தன்மையை திறம்பட பராமரிக்கிறது, இது வெற்றிக்கு அவசியம்பொறித்தல் செயல்முறை.

கூடுதலாக, செதிலின் பக்க மாசுபடுவதைத் தடுப்பதில் ஃபோகஸ் மோதிரம் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது. சிப் உற்பத்திக்கு செதில்களின் தரம் மற்றும் தூய்மை முக்கியமானது, எனவே பொறித்தல் செயல்முறை முழுவதும் செதில்கள் சுத்தமாக இருப்பதை உறுதிப்படுத்த தேவையான அனைத்து நடவடிக்கைகளும் எடுக்கப்பட வேண்டும். ஃபோகஸ் வளையம் வெளிப்புற அசுத்தங்கள் மற்றும் அசுத்தங்கள் செதில் மேற்பரப்பின் பக்கங்களில் நுழைவதை திறம்பட தடுக்கிறது, இதனால் இறுதி உற்பத்தியின் தரம் மற்றும் செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது.

கடந்த காலத்தில்,கவனம் செலுத்தும் மோதிரங்கள்முக்கியமாக குவார்ட்ஸ் மற்றும் சிலிக்கான் ஆகியவற்றால் ஆனது. இருப்பினும், மேம்பட்ட செதில் உற்பத்தியில் உலர்ந்த பொறிப்பு அதிகரிப்புடன், சிலிக்கான் கார்பைடு (SIC) செய்யப்பட்ட மோதிரங்களை மையமாகக் கொண்ட தேவையும் அதிகரித்து வருகிறது. தூய சிலிக்கான் மோதிரங்களுடன் ஒப்பிடும்போது, ​​SIC மோதிரங்கள் அதிக நீடித்தவை மற்றும் நீண்ட சேவை ஆயுளைக் கொண்டுள்ளன, இதனால் உற்பத்தி செலவுகளைக் குறைக்கிறது. ஒவ்வொரு 10 முதல் 12 நாட்களுக்கு சிலிக்கான் மோதிரங்கள் மாற்றப்பட வேண்டும், அதே நேரத்தில் ஒவ்வொரு 15 முதல் 20 நாட்களுக்கு SIC மோதிரங்கள் மாற்றப்படுகின்றன. தற்போது, ​​சாம்சங் போன்ற சில பெரிய நிறுவனங்கள் SIC க்கு பதிலாக போரான் கார்பைடு மட்பாண்டங்களின் (பி 4 சி) பயன்பாட்டை ஆய்வு செய்கின்றன. பி 4 சி அதிக கடினத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளது, எனவே அலகு நீண்ட காலம் நீடிக்கும்.

ஒரு பிளாஸ்மா பொறித்தல் கருவியில், ஒரு சிகிச்சை கப்பலில் ஒரு தளத்தில் அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பை பிளாஸ்மா பொறிக்க ஒரு கவனம் வளையத்தை நிறுவுவது அவசியம். கவனம் செலுத்தும் வளையம் அதன் மேற்பரப்பின் உள் பக்கத்தில் முதல் பிராந்தியத்துடன் அடி மூலக்கூறைச் சுற்றி வருகிறது, இது பொறிப்பின் போது உருவாகும் எதிர்வினை தயாரிப்புகள் கைப்பற்றப்பட்டு டெபாசிட் செய்யப்படுவதைத் தடுக்க ஒரு சிறிய சராசரி மேற்பரப்பு கடினத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளது. 

அதே நேரத்தில், முதல் பிராந்தியத்திற்கு வெளியே இரண்டாவது பிராந்தியத்தில் பொறித்தல் செயல்பாட்டின் போது உருவாக்கப்படும் எதிர்வினை தயாரிப்புகளை கைப்பற்றி டெபாசிட் செய்ய ஊக்குவிக்க ஒரு பெரிய சராசரி மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை உள்ளது. முதல் பிராந்தியத்திற்கும் இரண்டாவது பிராந்தியத்திற்கும் இடையிலான எல்லை என்பது செதுக்கலின் அளவு ஒப்பீட்டளவில் குறிப்பிடத்தக்கதாக இருக்கும், பிளாஸ்மா பொறித்தல் சாதனத்தில் கவனம் செலுத்தும் வளையத்துடன் பொருத்தப்பட்டிருக்கும், மற்றும் பிளாஸ்மா பொறித்தல் அடி மூலக்கூறில் செய்யப்படுகிறது.

வெட்கெமிகான் தயாரிப்புகள் கடைகள்: