LPE PE2061Sக்கான SiC பூசப்பட்ட மேல் தட்டு

வெடெக் செமிகண்டக்டர் என்பது எல்பிஇ PE2061 களின் உற்பத்தியாளர் மற்றும் சப்ளையருக்கான தொழில்முறை சீனா SIC பூசப்பட்ட மேல் தட்டு ஆகும்.

சிலிக்கான் எபிடாக்சியல் உபகரணங்களில் LPE PE2061Sக்கான VeTeK செமிகண்டக்டர் SiC கோடட் டாப் பிளேட், எபிடாக்சியல் வளர்ச்சிச் செயல்பாட்டின் போது எபிடாக்சியல் செதில்களை (அல்லது அடி மூலக்கூறுகளை) ஆதரிக்கவும் வைத்திருக்கவும் ஒரு பீப்பாய் வகை உடல் சஸ்செப்டருடன் இணைந்து பயன்படுத்தப்படுகிறது.

LPE PE2061Sக்கான SiC கோடட் டாப் பிளேட் பொதுவாக உயர்-வெப்பநிலை நிலையான கிராஃபைட் பொருட்களால் ஆனது. VeTek செமிகண்டக்டர் மிகவும் பொருத்தமான கிராஃபைட் பொருளைத் தேர்ந்தெடுக்கும்போது வெப்ப விரிவாக்கக் குணகம் போன்ற காரணிகளை கவனமாகக் கருதுகிறது, சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுடன் வலுவான பிணைப்பை உறுதி செய்கிறது.

LPE PE2061Sக்கான SiC கோடட் டாப் பிளேட், எபிடாக்சி வளர்ச்சியின் போது அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் சூழலைத் தாங்கும் சிறந்த வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் இரசாயன எதிர்ப்பை வெளிப்படுத்துகிறது. இது நீண்ட கால நிலைத்தன்மை, நம்பகத்தன்மை மற்றும் செதில்களின் பாதுகாப்பை உறுதி செய்கிறது.

சிலிக்கான் எபிடாக்சியல் கருவிகளில், முழு சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூசப்பட்ட உலையின் முதன்மை செயல்பாடு செதில்களை ஆதரிப்பதும், எபிடாக்சியல் அடுக்குகளின் வளர்ச்சிக்கு ஒரு சீரான அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பை வழங்குவதும் ஆகும். கூடுதலாக, இது செதில்களின் நிலை மற்றும் நோக்குநிலையில் மாற்றங்களை அனுமதிக்கிறது, வளர்ச்சி செயல்பாட்டின் போது வெப்பநிலை மற்றும் திரவ இயக்கவியல் மீது கட்டுப்பாட்டை எளிதாக்குகிறது, விரும்பிய வளர்ச்சி நிலைமைகள் மற்றும் எபிடாக்சியல் அடுக்கு பண்புகளை அடைய.

VeTek செமிகண்டக்டரின் தயாரிப்புகள் அதிக துல்லியம் மற்றும் சீரான பூச்சு தடிமன் வழங்குகின்றன. ஒரு இடையக அடுக்கின் ஒருங்கிணைப்பு தயாரிப்பின் ஆயுளை நீட்டிக்கிறது. சிலிக்கான் எபிடாக்சியல் உபகரணங்களில், எபிடாக்சியல் வளர்ச்சிச் செயல்பாட்டின் போது எபிடாக்சியல் செதில்களை (அல்லது அடி மூலக்கூறுகளை) ஆதரிக்கவும் வைத்திருக்கவும் ஒரு பீப்பாய் வகை உடல் சஸ்செப்டருடன் இணைந்து பயன்படுத்தப்படுகிறது.

CVD SiC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்:

வியாபாரி குறைக்கடத்தி

குறைக்கடத்தி சிப் எபிடாக்ஸி தொழில் சங்கிலியின் கண்ணோட்டம்: