சிலிக்கான் சார்ந்த GAN EPITAXIAL SUSSCECTOR

எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியின் போது GAN பொருளின் சிலிக்கான் அடி மூலக்கூறை ஆதரிப்பதற்கும் வெப்பமாக்குவதற்கும் வீகோவின் K465I GAN MOCVD அமைப்பில் வெக்சிகானின் சிலிக்கான் அடிப்படையிலான GAN EPITAXIAL SUSSCECTOR ஒரு முக்கிய அங்கமாகும். மேலும், சிலிக்கான் எபிடாக்சியல் அடி மூலக்கூறு அதிக தூய்மையைப் பயன்படுத்துகிறது,உயர்தர கிராஃபைட் பொருள்எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்பாட்டின் போது நல்ல நிலைத்தன்மை மற்றும் வெப்ப கடத்துத்திறனை வழங்கும் அடி மூலக்கூறாக. அடி மூலக்கூறு உயர் வெப்பநிலை சூழல்களைத் தாங்கி, எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்முறையின் ஸ்திரத்தன்மை மற்றும் நம்பகத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது.

.. முக்கிய பாத்திரங்கள்எபிடாக்சியல் செயல்முறை

(1) எபிடாக்சியல் வளர்ச்சிக்கு ஒரு நிலையான தளத்தை வழங்குதல்

MOCVD செயல்பாட்டில், கான் எபிடாக்சியல் அடுக்குகள் அதிக வெப்பநிலையில் (> 1000 ° C) சிலிக்கான் அடி மூலக்கூறுகளில் டெபாசிட் செய்யப்படுகின்றன, மேலும் சிலிக்கான் செதில்களைச் சுமப்பதற்கும் வளர்ச்சியின் போது வெப்பநிலை நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்வதற்கும் சசெப்டர் பொறுப்பேற்றார்.

சிலிக்கான் அடிப்படையிலான SUSSCECTOR SI அடி மூலக்கூறுடன் இணக்கமான ஒரு பொருளைப் பயன்படுத்துகிறது, இது வெப்ப விரிவாக்கத்தின் (CTE) பொருந்தாதவற்றின் குணகத்தால் ஏற்படும் அழுத்தங்களைக் குறைப்பதன் மூலம் கான்-ஆன்-சி எபிடாக்சியல் அடுக்கின் போர்க்கும் மற்றும் விரிசலின் அபாயத்தைக் குறைக்கிறது.

(2) எபிடாக்சியல் சீரான தன்மையை உறுதிப்படுத்த வெப்ப விநியோகத்தை மேம்படுத்தவும்

MOCVD எதிர்வினை அறையில் வெப்பநிலை விநியோகம் GAN படிகமயமாக்கலின் தரத்தை நேரடியாக பாதிக்கிறது என்பதால், SIC பூச்சு வெப்ப கடத்துத்திறனை மேம்படுத்தலாம், வெப்பநிலை சாய்வு மாற்றங்களைக் குறைக்கும் மற்றும் எபிடாக்சியல் அடுக்கு தடிமன் மற்றும் ஊக்கமருந்து சீரான தன்மையை மேம்படுத்தலாம்.

அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் SIC அல்லது உயர் தூய்மை சிலிக்கான் அடி மூலக்கூறின் பயன்பாடு வெப்ப நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்தவும், சூடான இட உருவாவதைத் தவிர்க்கவும் உதவுகிறது, இதனால் எபிடாக்சியல் செதில்களின் விளைச்சலை திறம்பட மேம்படுத்துகிறது.

(3) வாயு ஓட்டத்தை மேம்படுத்துதல் மற்றும் மாசுபாட்டைக் குறைத்தல்

லேமினார் ஓட்டக் கட்டுப்பாடு: வழக்கமாக சசெப்டரின் வடிவியல் வடிவமைப்பு (மேற்பரப்பு தட்டையானது போன்றவை) எதிர்வினை வாயுவின் ஓட்ட முறையை நேரடியாக பாதிக்கும். எடுத்துக்காட்டாக, முன்னோடி வாயு (டி.எம்.ஜி.ஏ, என்.எச்.இ போன்றவை) செதில் மேற்பரப்பை சமமாக உள்ளடக்கியது என்பதை உறுதிப்படுத்த வடிவமைப்பை மேம்படுத்துவதன் மூலம் செமிக்லாப்பின் சசெப்டர் கொந்தளிப்பைக் குறைக்கிறது, இதன் மூலம் எபிடாக்சியல் அடுக்கின் சீரான தன்மையை பெரிதும் மேம்படுத்துகிறது.

தூய்மையற்ற பரவலைத் தடுக்கும்: சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சின் சிறந்த வெப்ப மேலாண்மை மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்புடன் இணைந்து, எங்கள் உயர் அடர்த்தி கொண்ட சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறில் உள்ள அசுத்தங்கள் எபிடாக்சியல் லேயரில் பரவுவதைத் தடுக்கலாம், கார்பன் மாசுபாட்டால் ஏற்படும் சாதன செயல்திறன் சீரழிவைத் தவிர்க்கிறது.

.. இயற்பியல் பண்புகள்ஐசோஸ்டேடிக் கிராஃபைட்