சிலிக்கான் அடிப்படையிலான GaN எபிடாக்சியல் சஸ்பெப்டர்

Vetekseicon இன் சிலிக்கான் அடிப்படையிலான GaN எபிடாக்சியல் சஸ்செப்டர் என்பது VEECO இன் K465i GaN MOCVD அமைப்பில் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியின் போது GaN பொருளின் சிலிக்கான் அடி மூலக்கூறை ஆதரிக்கவும் சூடாக்கவும் ஒரு முக்கிய அங்கமாகும். மேலும், சிலிக்கான் எபிடாக்சியல் அடி மூலக்கூறில் உள்ள எங்கள் GaN உயர் தூய்மையைப் பயன்படுத்துகிறது,உயர்தர கிராஃபைட் பொருள்அடி மூலக்கூறாக, இது எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியின் போது நல்ல நிலைப்புத்தன்மை மற்றும் வெப்ப கடத்துத்திறனை வழங்குகிறது. அடி மூலக்கூறு உயர்-வெப்பச் சூழல்களைத் தாங்கக்கூடியது, எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்முறையின் நிலைத்தன்மை மற்றும் நம்பகத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது.

Ⅰ முக்கிய வேடங்களில்எபிடாக்சியல் செயல்முறை

(1) எபிடாக்சியல் வளர்ச்சிக்கு ஒரு நிலையான தளத்தை வழங்கவும்

MOCVD செயல்பாட்டில், GaN எபிடாக்சியல் அடுக்குகள் அதிக வெப்பநிலையில் (> 1000°C) சிலிக்கான் அடி மூலக்கூறுகளில் டெபாசிட் செய்யப்படுகின்றன, மேலும் சிலிக்கான் செதில்களைச் சுமந்து செல்வதற்கும் வளர்ச்சியின் போது வெப்பநிலை நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்வதற்கும் Susceptor பொறுப்பாகும்.

சிலிக்கான்-அடிப்படையிலான சஸ்செப்டர் Si அடி மூலக்கூறுடன் இணக்கமான ஒரு பொருளைப் பயன்படுத்துகிறது, இது வெப்ப விரிவாக்கத்தின் குணகம் (CTE) பொருத்தமின்மையால் ஏற்படும் அழுத்தங்களைக் குறைப்பதன் மூலம் GaN-on-Si எபிடாக்சியல் லேயரின் போர்பேஜ் மற்றும் விரிசல் அபாயத்தைக் குறைக்கிறது.

(2) எபிடாக்சியல் சீரான தன்மையை உறுதிப்படுத்த வெப்ப விநியோகத்தை மேம்படுத்தவும்

MOCVD எதிர்வினை அறையில் வெப்பநிலை விநியோகம் நேரடியாக GaN படிகமயமாக்கலின் தரத்தை பாதிக்கிறது என்பதால், SiC பூச்சு வெப்ப கடத்துத்திறனை மேம்படுத்தலாம், வெப்பநிலை சாய்வு மாற்றங்களைக் குறைக்கலாம் மற்றும் எபிடாக்சியல் அடுக்கு தடிமன் மற்றும் ஊக்கமருந்து சீரான தன்மையை மேம்படுத்தலாம்.

உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன் SiC அல்லது உயர் தூய்மை சிலிக்கான் அடி மூலக்கூறின் பயன்பாடு வெப்ப நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்தவும், சூடான இடங்களை உருவாக்குவதைத் தவிர்க்கவும் உதவுகிறது, இதனால் எபிடாக்சியல் செதில்களின் விளைச்சலை திறம்பட மேம்படுத்துகிறது.

(3) வாயு ஓட்டத்தை மேம்படுத்துதல் மற்றும் மாசுபாட்டைக் குறைத்தல்

லேமினார் ஓட்டக் கட்டுப்பாடு: பொதுவாக சஸ்செப்டரின் வடிவியல் வடிவமைப்பு (மேற்பரப்புத் தட்டையானது போன்றவை) எதிர்வினை வாயுவின் ஓட்ட வடிவத்தை நேரடியாகப் பாதிக்கலாம். எடுத்துக்காட்டாக, Semixlab's Susceptor, முன்னோடி வாயு (TMGa, NH₃ போன்றவை) செதில் மேற்பரப்பை சமமாக உள்ளடக்கியிருப்பதை உறுதிசெய்ய வடிவமைப்பை மேம்படுத்துவதன் மூலம் கொந்தளிப்பைக் குறைக்கிறது, இதன் மூலம் எபிடாக்சியல் அடுக்கின் சீரான தன்மையை பெரிதும் மேம்படுத்துகிறது.

தூய்மையற்ற பரவலைத் தடுத்தல்: சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுகளின் சிறந்த வெப்ப மேலாண்மை மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்புடன் இணைந்து, எங்களின் உயர் அடர்த்தி சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு, கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறில் உள்ள அசுத்தங்கள் எபிடாக்சியல் அடுக்கில் பரவுவதைத் தடுக்கிறது, கார்பன் மாசுபாட்டால் ஏற்படும் சாதன செயல்திறன் சிதைவைத் தவிர்க்கிறது.

Ⅱ. இயற்பியல் பண்புகள்ஐசோஸ்டேடிக் கிராஃபைட்