போரஸ் டான்டலம் கார்பைடு

வெடெக் செமிகண்டக்டர் போரஸ் டான்டலம் கார்பைடு (டிஏசி) என்பது உயர் செயல்திறன் கொண்ட பீங்கான் பொருளாகும், இது டான்டலம் மற்றும் கார்பனின் பண்புகளை ஒருங்கிணைக்கிறது. அதன் நுண்ணிய அமைப்பு அதிக வெப்பநிலை மற்றும் தீவிர சூழல்களில் குறிப்பிட்ட பயன்பாடுகளுக்கு மிகவும் பொருத்தமானது. TAC சிறந்த கடினத்தன்மை, வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் வேதியியல் எதிர்ப்பை ஒருங்கிணைக்கிறது, இது குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்தில் ஒரு சிறந்த பொருள் தேர்வாக அமைகிறது.

போரஸ் டான்டலம் கார்பைடு (டிஏசி) டான்டலம் (டிஏ) மற்றும் கார்பன் (சி) ஆகியவற்றால் ஆனது, இதில் டான்டலம் கார்பன் அணுக்களுடன் ஒரு வலுவான வேதியியல் பிணைப்பை உருவாக்குகிறது, இது பொருளுக்கு மிக அதிக ஆயுள் மற்றும் உடைகளை உடைக்கிறது. நுண்ணிய TAC இன் நுண்ணிய அமைப்பு பொருளின் உற்பத்தி செயல்பாட்டின் போது உருவாக்கப்படுகிறது, மேலும் குறிப்பிட்ட பயன்பாட்டுத் தேவைகளுக்கு ஏற்ப போரோசிட்டியைக் கட்டுப்படுத்தலாம். இந்த தயாரிப்பு பொதுவாக தயாரிக்கப்படுகிறதுவேதியியல் நீராவி படிவு (சி.வி.டி)முறை, அதன் துளை அளவு மற்றும் விநியோகத்தின் துல்லியமான கட்டுப்பாட்டை உறுதி செய்கிறது.

டான்டலம் கார்பைட்டின் மூலக்கூறு அமைப்பு

வெடெக் செமிகண்டக்டர் போரஸ் டான்டலம் கார்பைடு (டிஏசி) பின்வரும் தயாரிப்பு அம்சங்களைக் கொண்டுள்ளது

போரோசிட்டி: நுண்ணிய அமைப்பு வாயு பரவல், வடிகட்டுதல் அல்லது கட்டுப்படுத்தப்பட்ட வெப்பச் சிதறல் உள்ளிட்ட குறிப்பிட்ட பயன்பாட்டு காட்சிகளில் வெவ்வேறு செயல்பாடுகளை வழங்குகிறது.

● உயர் உருகும் புள்ளி: டான்டலம் கார்பைடு சுமார் 3,880 ° C மிக உயர்ந்த உருகும் புள்ளியைக் கொண்டுள்ளது, இது மிக அதிக வெப்பநிலை சூழல்களுக்கு ஏற்றது.

Host சிறந்த கடினத்தன்மை: போரஸ் டாக் வைரத்தைப் போலவே MOHS கடினத்தன்மை அளவில் சுமார் 9-10 என்ற மிக உயர்ந்த கடினத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளது. , மற்றும் தீவிர நிலைமைகளின் கீழ் இயந்திர உடைகளை எதிர்க்க முடியும்.

● வெப்ப நிலைத்தன்மை: டான்டலம் கார்பைடு (டிஏசி) பொருள் அதிக வெப்பநிலை சூழல்களில் நிலையானதாக இருக்கக்கூடும் மற்றும் வலுவான வெப்ப நிலைத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளது, இது உயர் வெப்பநிலை சூழல்களில் அதன் நிலையான செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது.

வெப்ப வெப்பக் கடத்துத்திறன்: அதன் போரோசிட்டி இருந்தபோதிலும், நுண்ணிய டான்டலம் கார்பைடு இன்னும் நல்ல வெப்ப கடத்துத்திறனைத் தக்க வைத்துக் கொள்கிறது, இது திறமையான வெப்ப பரிமாற்றத்தை உறுதி செய்கிறது.

வெப்ப விரிவாக்க குணகம்: டான்டலம் கார்பைடு (டிஏசி) இன் குறைந்த வெப்ப விரிவாக்க குணகம் குறிப்பிடத்தக்க வெப்பநிலை ஏற்ற இறக்கங்களின் கீழ் பொருள் பரிமாணமாக நிலையானதாக இருக்க உதவுகிறது மற்றும் வெப்ப அழுத்தத்தின் தாக்கத்தை குறைக்கிறது.

TAC பூச்சு இயற்பியல் பண்புகள்

குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில், போரஸ் டான்டலம் கார்பைடு (டிஏசி) பின்வரும் குறிப்பிட்ட முக்கிய பாத்திரத்தை வகிக்கிறதுs

போன்ற உயர் வெப்பநிலை செயல்முறைகளில்பிளாஸ்மா பொறித்தல்மற்றும் சி.வி.டி, வெடெக் செமிகண்டக்டர் போரஸ் டான்டலம் கார்பைடு பெரும்பாலும் செயலாக்க உபகரணங்களுக்கான பாதுகாப்பு பூச்சாக பயன்படுத்தப்படுகிறது. இது வலுவான அரிப்பு எதிர்ப்பின் காரணமாகும்டாக் பூச்சுமற்றும் அதன் உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை. இந்த பண்புகள் எதிர்வினை வாயுக்கள் அல்லது தீவிர வெப்பநிலைகளுக்கு வெளிப்படும் மேற்பரப்புகளை திறம்பட பாதுகாப்பதை உறுதிசெய்கின்றன, இதன் மூலம் உயர் வெப்பநிலை செயல்முறைகளின் இயல்பான எதிர்வினை உறுதி செய்கிறது.

பரவல் செயல்முறைகளில், நுண்ணிய டான்டலம் கார்பைடு உயர் வெப்பநிலை செயல்முறைகளில் பொருட்களை கலப்பதைத் தடுக்க ஒரு பயனுள்ள பரவல் தடையாக செயல்படும். அயன் உள்வைப்பு மற்றும் குறைக்கடத்தி செதில்களின் தூய்மை கட்டுப்பாடு போன்ற செயல்முறைகளில் டோபண்டுகளின் பரவலைக் கட்டுப்படுத்த இந்த அம்சம் பெரும்பாலும் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

வெடெக் செமிகண்டக்டர் நுண்ணிய டான்டலம் கார்பைட்டின் நுண்ணிய அமைப்பு துல்லியமான வாயு ஓட்டக் கட்டுப்பாடு அல்லது வடிகட்டுதல் தேவைப்படும் குறைக்கடத்தி செயலாக்க சூழல்களுக்கு மிகவும் பொருத்தமானது. இந்த செயல்பாட்டில், நுண்ணிய TAC முக்கியமாக எரிவாயு வடிகட்டுதல் மற்றும் விநியோகத்தின் பங்கை வகிக்கிறது. வடிகட்டுதல் செயல்பாட்டின் போது அசுத்தங்கள் எதுவும் அறிமுகப்படுத்தப்படுவதில்லை என்பதை அதன் வேதியியல் செயலற்ற தன்மை உறுதி செய்கிறது. இது பதப்படுத்தப்பட்ட உற்பத்தியின் தூய்மையை திறம்பட உறுதி செய்கிறது.

ஒரு நுண்ணிய குறுக்குவெட்டில் டான்டலம் கார்பைடு (டிஏசி) பூச்சு