SiN அடி மூலக்கூறு

வெடெக் குறைக்கடத்தி பாவ அடி மூலக்கூறு ஒரு மேம்பட்டதுபீங்கான் பொருள்இது அதன் சிறந்த இயந்திர, மின் மற்றும் வெப்ப பண்புகளுக்கு பரவலான கவனத்தை ஈர்த்துள்ளது. இந்த பீங்கான்அடி மூலக்கூறுஒரு குறிப்பிட்ட படிக அமைப்பு மூலம் பிணைக்கப்பட்ட சிலிக்கான் மற்றும் நைட்ரஜன் அணுக்களால் ஆனது, தனித்துவமான வலிமை, ஆயுள் மற்றும் வெப்ப எதிர்ப்பை வெளிப்படுத்துகிறது. SiN அடி மூலக்கூறுகள் குறைக்கடத்தி சாதனங்கள் போன்ற உயர்-செயல்திறன் பயன்பாடுகளில் இன்றியமையாதவை, மேலும் அவற்றின் பண்புகள் ஒருங்கிணைந்த மின்சுற்றுகள் (ICகள்), உணரிகள் மற்றும் நம்பகத்தன்மையை கணிசமாக மேம்படுத்துகின்றன.மைக்ரோ எலக்ட்ரோ மெக்கானிக்கல் சிஸ்டம்ஸ் (எம்இஎம்எஸ்).

தயாரிப்பு அம்சங்களை SiN அடி மூலக்கூறுகள்：

சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன்: குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் செயல்திறனில் வெப்ப மேலாண்மை முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது. SiN பீங்கான் தட்டின் வெப்ப கடத்துத்திறன் 130 W/m·K வரை அதிகமாக உள்ளது, இது எலக்ட்ரானிக் கூறுகளிலிருந்து வெப்பத்தை திறம்பட சிதறடித்து, அதிக வெப்பத்தைத் தடுக்கும், இதனால் உபகரணங்களின் சேவை ஆயுளை நீட்டிக்கும்.

இரசாயன நிலைத்தன்மை மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு: சிலிக்கான் நைட்ரைடு வேதியியல் அரிப்புக்கு மிகவும் வலுவான எதிர்ப்பை வெளிப்படுத்துகிறது மற்றும் ரசாயனங்கள் அல்லது தீவிர வெப்பநிலைகளுக்கு வெளிப்படும் சூழல்களில் பயன்படுத்த மிகவும் பொருத்தமானது. அரிக்கும் வாயுக்கள், அமிலங்கள் மற்றும் காரங்களைக் கொண்ட சூழல்களில் கூட, பாவ அடி மூலக்கூறுகள் அவற்றின் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாட்டை பராமரிக்கின்றன, தொழில்துறை பயன்பாடுகளில் நீண்டகால நம்பகத்தன்மையை உறுதி செய்கின்றன.

உயர் வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு: பாவ அடி மூலக்கூறுகள் வெப்ப அதிர்ச்சி அல்லது விரிசல் இல்லாமல் 1200 ° C வரை விரைவான வெப்பநிலை மாற்றங்களைத் தாங்கும். பவர் எலக்ட்ரானிக்ஸ் மற்றும் உயர் வெப்பநிலை சென்சார்கள் போன்ற பகுதிகளில் இந்த சொத்து முக்கியமானது, அவை பெரும்பாலும் திடீர் வெப்பநிலை மாற்றங்களால் சவால் செய்யப்படுகின்றன.

அதிக வலிமை மற்றும் கடினத்தன்மை: மற்ற பீங்கான் பொருட்களுடன் ஒப்பிடுகையில், சுருக்க வலிமைபாவம் பீங்கான் அடி மூலக்கூறுசிறந்த கடினத்தன்மையைக் காட்டும் 600 MPa ஐ அடையலாம். இது அதிக மன அழுத்தத்தையும் துல்லியமான-பதப்படுத்தப்பட்ட குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளிலும் விரிசலை திறம்பட எதிர்க்கவும், கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாட்டை பராமரிக்கவும் உதவுகிறது, இது இயந்திர நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது.

சிலிக்கான்/சிலிக்கான்-நைட்ரைடு (Si/SiN) TEM தயாரிப்பின் மேலோட்டம்

VeTek செமிகண்டக்டர் சிலிக்கான் நைட்ரைடு (SiN) அடி மூலக்கூறு அதன் சிறந்த தயாரிப்பு பண்புகள் காரணமாக குறைக்கடத்தி தொழில் மற்றும் பிற துறைகளில் ஒரு முக்கிய பொருளாக மாறியுள்ளது. குறிப்பாக செமிகண்டக்டர் சாதனங்கள், MEMS, ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக்ஸ் மற்றும் பவர் எலக்ட்ரானிக்ஸ் ஆகிய துறைகளில், SiN அடி மூலக்கூறுகள் எதிர்கால மின்னணு தொழில்நுட்பத்தின் வளர்ச்சிக்கு முக்கிய அடித்தளமாக உள்ளன.

VeTekSemi SiN அடி மூலக்கூறு தயாரிப்பு கடைகள்: