எபிடாக்ஸிக்கு SIC பூசப்பட்ட சீல் மோதிரம்

.. SIC பூசப்பட்ட முத்திரை வளையம் என்றால் என்ன?

எஸ்.ஐ.சி பூசப்பட்ட முத்திரை வளையம் (சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட முத்திரை வளையம்) என்பது அதிக வெப்பநிலை, அதிக அரிக்கும் குறைக்கடத்தி செயல்முறை சூழல்களுக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு துல்லியமான சீல் கூறு ஆகும். வேதியியல் நீராவி படிவு (சி.வி.டி) அல்லது இயற்பியல் நீராவி படிவு (பி.வி.டி) செயல்முறை, கிராஃபைட் அல்லது கார்பன் கலப்பு பொருள் அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பு அதிக தூய்மை சிலிக்கான் கார்பைடு (எஸ்.ஐ.சி) பூச்சு, அடி மூலக்கூறின் இயந்திர வலிமை மற்றும் உயர் செயல்திறன் கொண்ட சீல் பண்புகளின் பூச்சு இரண்டையும் உருவாக்குதல் ஆகியவற்றின் மூலம் அதன் மையமாகும்.  

.. தயாரிப்பு அமைப்பு மற்றும் முக்கிய தொழில்நுட்பம்  

1. அடி மூலக்கூறு பொருள்:

கிராஃபைட் அல்லது கார்பன்-கார்பன் கலப்பு பொருள்: அடிப்படை பொருள் அதிக வெப்ப எதிர்ப்பின் நன்மையைக் கொண்டுள்ளது (2000 க்கும் அதிகமாக தாங்கும்) மற்றும் வெப்ப விரிவாக்கத்தின் குறைந்த குணகம், இதனால் அதிக வெப்பநிலை போன்ற தீவிர நிலைமைகளின் கீழ் பரிமாண நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது.  

துல்லியமான எந்திர அமைப்பு: துல்லியமான வளைய வடிவமைப்பை குறைக்கடத்தி கருவிகளின் குழிக்கு ஏற்றதாக மாற்றலாம், இதனால் சீல் மேற்பரப்பின் தட்டையான தன்மை மற்றும் நல்ல காற்று புகாதது ஆகியவற்றை உறுதி செய்கிறது.  

2. செயல்பாட்டு பூச்சு:  

உயர் தூய்மை SIC பூச்சு (தூய்மை ≥99.99%): கோயிங்கின் தடிமன் பொதுவாக 10-50μm ஆகும், சி.வி.டி செயல்முறையின் மூலம் அடர்த்தியான நுண்ணிய மேற்பரப்பு கட்டமைப்பின் ஒரு அடுக்கை உருவாக்குகிறது, இது சீல் வளைய மேற்பரப்புக்கு சிறந்த வேதியியல் செயலற்ற தன்மை மற்றும் இயந்திர பண்புகளை அளிக்கிறது.

.. எபிடாக்ஸிக்கான SIC பூசப்பட்ட சீல் வளையத்தின் முக்கிய இயற்பியல் பண்புகள் மற்றும் நன்மைகள்

வெட்க்செமிகானின் எஸ்.ஐ.சி-பூசப்பட்ட சீல் மோதிரங்கள் குறைக்கடத்தி எபிடாக்ஸி செயல்முறைகளுக்கு ஏற்றவை, ஏனெனில் அவற்றின் சிறந்த செயல்திறன் தீவிர நிலைமைகளின் கீழ். உற்பத்தியின் குறிப்பிட்ட இயற்பியல் பண்புகள் கீழே:

IV. குறைக்கடத்தி எபிடாக்ஸி செயலாக்கத்தில் முக்கிய பயன்பாடுகள்  

எபிடாக்ஸிக்கான SIC பூசப்பட்ட சீல் வளையம் முக்கியமாக MOCVD (உலோக கரிம வேதியியல் நீராவி படிவு) மற்றும் MBE (மூலக்கூறு பீம் எபிடாக்ஸி) மற்றும் பிற செயல்முறை உபகரணங்களில் பயன்படுத்தப்படுகிறது, குறிப்பிட்ட செயல்பாடுகள் பின்வருமாறு:  

1. குறைக்கடத்தி உபகரணங்கள் எதிர்வினை அறை காற்று இறுக்க பாதுகாப்பு

எங்கள் SIC- பூசப்பட்ட சீல் மோதிரங்கள், உபகரண அறையுடன் (எ.கா. ஃபிளாஞ்ச், பேஸ் தண்டு) இடைமுகத்தின் பரிமாண சகிப்புத்தன்மை (பொதுவாக ± 0.01 மிமீ) வளைய கட்டமைப்பைத் தனிப்பயனாக்குவதன் மூலம் முடிந்தவரை சிறியதாக இருப்பதை உறுதி செய்கிறது. 

அதே நேரத்தில், சீல் செய்யும் வளையம் சி.என்.சி இயந்திர கருவிகளைப் பயன்படுத்தி துல்லியமாக இயந்திரமயமாக்கப்படுகிறது, இது தொடர்பு மேற்பரப்பின் முழு சுற்றளவைச் சுற்றி ஒரு சீரான பொருத்தத்தை உறுதிசெய்து, நுண்ணிய இடைவெளிகளை நீக்குகிறது. இது செயல்முறை வாயுக்களின் கசிவை திறம்பட தடுக்கிறது (எ.கா. H₂, NH₃), எபிடாக்சியல் லேயர் வளர்ச்சி சூழலின் தூய்மையை உறுதி செய்கிறது, மேலும் செதில்களை மேம்படுத்துகிறது.  

மறுபுறம், நல்ல வாயு இறுக்கம் வெளிப்புற மாசுபடுத்திகளின் (O₂, H₂O) ஊடுருவலையும் தடுக்கலாம், இதனால் எபிடாக்சியல் அடுக்கில் உள்ள குறைபாடுகளை திறம்பட தவிர்க்கிறது (இடப்பெயர்வுகள், அசுத்தமான அசுத்தமான ஊக்கமருந்து).  

2. உயர் வெப்பநிலை டைனமிக் சீல் ஆதரவு  

அடி மூலக்கூறு-பூச்சு சினெர்ஜிஸ்டிக் எதிர்ப்பு சிதைவின் கொள்கையை ஏற்றுக்கொள்வது: கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறின் வெப்ப விரிவாக்கத்தின் குறைந்த குணகம் (சி.டி.இ ≈ 4.5 × 10-⁶/° C) காரணமாக மிகவும் சிறியது, மற்றும் தீவிரமான உயர் வெப்பநிலையில் (＞ 1000 ℃) விரிவாக்கமானது உலோகப் பிரிப்புகளின் அளவுகளில் 1/5 மட்டுமே ஆகும். எஸ்.ஐ.சி பூச்சுகளின் (எச்.வி 2500 அல்லது அதற்கு மேற்பட்ட) அதி-உயர் கடினத்தன்மையுடன் இணைந்து, இது இயந்திர அதிர்வு அல்லது துகள்களின் தாக்கத்தால் ஏற்படும் சீல் மேற்பரப்பில் கீறல்களை திறம்பட எதிர்க்க முடியும், மேலும் நுண்ணிய தட்டையான தன்மையை பராமரிக்கலாம்.

வி. பராமரிப்பு பரிந்துரைகள்

1. திடீர் தோல்வியைத் தவிர்க்க சீல் மேற்பரப்பு உடைகளை (காலாண்டு ஆப்டிகல் மைக்ரோஸ்கோப் ஆய்வு பரிந்துரைக்கப்படுகிறது) சீராக சரிபார்க்கவும்.  

2. வைப்புத்தொகையை அகற்ற சிறப்பு கிளீனர்களைப் பயன்படுத்தவும் (அன்ஹைட்ரஸ் எத்தனால் போன்றவை), SIC பூச்சு சேதத்தைத் தடுக்க இயந்திர அரைப்பதைத் தடைசெய்க.