தயாரிப்புகள்
தயாரிப்புகள்

சிலிக்கான் எபிடாக்ஸி

சிலிக்கான் எபிடாக்ஸி, ஈபிஐ, எபிடாக்ஸி, எபிடாக்சியல் என்பது ஒரே படிக திசை மற்றும் ஒற்றை படிக சிலிக்கான் அடி மூலக்கூறில் வெவ்வேறு படிக தடிமன் கொண்ட படிகத்தின் அடுக்கின் வளர்ச்சியைக் குறிக்கிறது. குறைக்கடத்தி தனித்துவமான கூறுகள் மற்றும் ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகள் உற்பத்திக்கு எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி தொழில்நுட்பம் தேவைப்படுகிறது, ஏனெனில் குறைக்கடத்திகளில் உள்ள அசுத்தங்களில் என்-வகை மற்றும் பி-வகை ஆகியவை அடங்கும். வெவ்வேறு வகைகளின் கலவையின் மூலம், குறைக்கடத்தி சாதனங்கள் பல்வேறு செயல்பாடுகளை வெளிப்படுத்துகின்றன.


சிலிக்கான் எபிடாக்ஸி வளர்ச்சி முறையை வாயு கட்ட எபிடாக்ஸி, திரவ கட்ட எபிடாக்ஸி (எல்பிஇ), திட கட்ட எபிடாக்ஸி, வேதியியல் நீராவி படிவு வளர்ச்சி முறை ஆகியவை லட்டு ஒருமைப்பாட்டை பூர்த்தி செய்ய உலகில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.


வழக்கமான சிலிக்கான் எபிடாக்சியல் உபகரணங்கள் இத்தாலிய நிறுவனமான எல்.பி. பீப்பாய் வடிவ எபிடாக்சியல் ஹை பெலெக்டர் எதிர்வினை அறையின் திட்ட வரைபடம் பின்வருமாறு. வெடெக் குறைக்கடத்தி பீப்பாய் வடிவ வேஃபர் எபிடாக்சியல் ஹை பெலெக்டரை வழங்க முடியும். SIC பூசப்பட்ட ஹை பெலெக்டரின் தரம் மிகவும் முதிர்ச்சியடைந்தது. எஸ்.ஜி.எல் க்கு சமமான தரம்; அதே நேரத்தில், வெடெக் குறைக்கடத்தி சிலிக்கான் எபிடாக்சியல் எதிர்வினை குழி குவார்ட்ஸ் முனை, குவார்ட்ஸ் தடுப்பு, பெல் ஜாடி மற்றும் பிற முழுமையான தயாரிப்புகளையும் வழங்க முடியும்.


சிலிக்கான் எபிடாக்ஸிக்கான வெர்டியல் எபிடாக்சியல் சுசெப்டர்:


Schematic diagram of Vertical Epitaxial Susceptor for Silicon Epitaxy


வெடெக் குறைக்கடத்தியின் முக்கிய செங்குத்து எபிடாக்சியல் சசெப்டர் தயாரிப்புகள்


SiC Coated Graphite Barrel Susceptor for EPI EPI க்கான SIC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் பீப்பாய் சசெப்டர் SiC Coated Barrel Susceptor SIC பூசப்பட்ட பீப்பாய் சசெப்டர் CVD SiC Coated Barrel Susceptor சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூசப்பட்ட பீப்பாய் சசெப்டர் LPE SI EPI Susceptor Set எல்பிஇ என்றால் ஈபிஐ ஆதரவாளர் செட்



சிலிக்கான் எபிடாக்ஸிக்கான அடிவான எபிடாக்சியல் சுசெப்டர்:


Schematic diagram of Horizontal Epitaxial Susceptor for Silicon Epitaxy


வெடெக் குறைக்கடத்தியின் முக்கிய கிடைமட்ட எபிடாக்சியல் சசெப்டர் தயாரிப்புகள்


SiC coating Monocrystalline silicon epitaxial tray SIC பூச்சு மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் எபிடாக்சியல் தட்டு SiC Coated Support for LPE PE2061S LPE PE2061S க்கான SIC பூசப்பட்ட ஆதரவு Graphite Rotating Susceptor கிராஃபைட் சுழலும் ஆதரவு



View as  
 
சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூச்சு தடுப்பு

சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூச்சு தடுப்பு

வெக்கின் சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூச்சு தடுப்பு முக்கியமாக எஸ்ஐ எபிடாக்ஸியில் பயன்படுத்தப்படுகிறது. இது பொதுவாக சிலிக்கான் நீட்டிப்பு பீப்பாய்களுடன் பயன்படுத்தப்படுகிறது. இது சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூச்சு தடையின் தனித்துவமான உயர் வெப்பநிலை மற்றும் நிலைத்தன்மையை ஒருங்கிணைக்கிறது, இது குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் காற்றோட்டத்தின் சீரான விநியோகத்தை பெரிதும் மேம்படுத்துகிறது. எங்கள் தயாரிப்புகள் மேம்பட்ட தொழில்நுட்பத்தையும் உயர்தர தயாரிப்பு தீர்வுகளையும் உங்களுக்குக் கொண்டு வர முடியும் என்று நாங்கள் நம்புகிறோம்.
Sic பூசப்பட்ட பீப்பாய் சசெப்டர்

Sic பூசப்பட்ட பீப்பாய் சசெப்டர்

எபிடாக்ஸி என்பது ஒரு புதிய குறைக்கடத்தி அடுக்கை உருவாக்க ஏற்கனவே இருக்கும் சிப்பில் புதிய படிகங்களை வளர்ப்பதற்கு குறைக்கடத்தி சாதன உற்பத்தியில் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு நுட்பமாகும். வெடெக் செமிகண்டக்டர் எல்பிஇ சிலிக்கான் எபிடாக்ஸி எதிர்வினை அறைகளுக்கு விரிவான கூறு தீர்வுகளை வழங்குகிறது, நீண்ட ஆயுட்காலம், நிலையான தரம் மற்றும் மேம்பட்ட எபிடாக்சியல் ஆகியவற்றை வழங்குகிறது அடுக்கு மகசூல். எஸ்.ஐ.சி பூசப்பட்ட பீப்பாய் சசெப்டர் போன்ற எங்கள் தயாரிப்பு வாடிக்கையாளர்களிடமிருந்து நிலை கருத்துகளைப் பெற்றது. SI EPI, SIC EPI, MOCVD, UV தலைமையிலான எபிடாக்ஸி மற்றும் பலவற்றிற்கான தொழில்நுட்ப ஆதரவையும் நாங்கள் வழங்குகிறோம். விலை தகவல்களை விசாரிக்க தயங்க.
EPI ரிசீவர் என்றால்

EPI ரிசீவர் என்றால்

சீனா சிறந்த தொழிற்சாலை-வெ.டெக் குறைக்கடத்தி துல்லியமான எந்திரம் மற்றும் குறைக்கடத்தி எஸ்.ஐ.சி மற்றும் டிஏசி பூச்சு திறன்களை ஒருங்கிணைக்கிறது. பீப்பாய் வகை எஸ்ஐ எபிஐ சசெப்டர் வெப்பநிலை மற்றும் வளிமண்டலக் கட்டுப்பாட்டு திறன்களை வழங்குகிறது, குறைக்கடத்தி எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்முறைகளில் உற்பத்தி செயல்திறனை மேம்படுத்துகிறது. உங்களுடன் ஒத்துழைப்பு உறவை அமைப்பதற்கு முன்னேறுகிறது.
SiC பூசப்பட்ட எபி ரிசெப்டர்

SiC பூசப்பட்ட எபி ரிசெப்டர்

சிலிக்கான் கார்பைடு மற்றும் டான்டலம் கார்பைடு பூச்சுகளின் சிறந்த உள்நாட்டு உற்பத்தியாளராக, வெடெக் செமிகண்டக்டர் எஸ்ஐசி பூசப்பட்ட ஈபிஐ சுசெப்டரின் துல்லியமான எந்திரத்தையும் சீரான பூச்சுவும் வழங்க முடியும், இது 5 பிபிஎம் கீழே பூச்சு மற்றும் உற்பத்தியின் தூய்மையை திறம்பட கட்டுப்படுத்துகிறது. தயாரிப்பு வாழ்க்கை எஸ்.ஜி.எல் உடன் ஒப்பிடத்தக்கது. எங்களை விசாரிக்க வரவேற்கிறோம்.
LPE SI EPI ஏற்பி தொகுப்பு

LPE SI EPI ஏற்பி தொகுப்பு

பிளாட் சஸ்செப்டர் மற்றும் பீப்பாய் சஸ்செப்டர் ஆகியவை எபி சஸ்செப்டர்களின் முக்கிய வடிவம்.VeTek செமிகண்டக்டர் என்பது சீனாவில் முன்னணி LPE Si Epi Susceptor Set உற்பத்தியாளர் மற்றும் கண்டுபிடிப்பாளர் ஆகும். நாங்கள் பல ஆண்டுகளாக SiC பூச்சு மற்றும் TaC பூச்சுகளில் நிபுணத்துவம் பெற்றுள்ளோம். நாங்கள் LPE Si Epi Susceptor ஐ வழங்குகிறோம். LPE PE2061S 4" செதில்களுக்காக பிரத்யேகமாக வடிவமைக்கப்பட்ட தொகுப்பு. பொருந்தக்கூடிய அளவு கிராஃபைட் பொருள் மற்றும் SiC பூச்சு நன்றாக உள்ளது, சீரான தன்மை சிறப்பாக உள்ளது, மற்றும் ஆயுள் நீண்டது, இது LPE (Liquid Phase Epitaxy) செயல்முறையின் போது எபிடாக்சியல் அடுக்கு வளர்ச்சியின் விளைச்சலை மேம்படுத்தலாம். சீனாவில் உள்ள எங்கள் தொழிற்சாலைக்கு வருகை தர உங்களை வரவேற்கிறோம்.
EPI க்கான SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் பேரல் சஸ்செப்டர்

EPI க்கான SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் பேரல் சஸ்செப்டர்

பீப்பாய் வகை எபிடாக்சியல் வேஃபர் ஹீட்டிங் பேஸ் என்பது சிக்கலான செயலாக்க தொழில்நுட்பம் கொண்ட ஒரு தயாரிப்பு ஆகும், இது எந்திர கருவிகள் மற்றும் திறனுக்கு மிகவும் சவாலானது. Vetek செமிகண்டக்டர் மேம்பட்ட உபகரணங்கள் மற்றும் EPI க்கான SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் பீப்பாய் சஸ்செப்டரை செயலாக்குவதில் சிறந்த அனுபவத்தைக் கொண்டுள்ளது, அசல் தொழிற்சாலை வாழ்க்கையைப் போலவே, அதிக செலவு குறைந்த எபிடாக்சியல் பீப்பாய்களையும் வழங்க முடியும். நீங்கள் எங்கள் தரவுகளில் ஆர்வமாக இருந்தால், எங்களை தொடர்பு கொள்ள தயங்க வேண்டாம்.

Veteksemicon silicon epitaxy solutions are your strategic procurement choice for advanced semiconductor wafer processing, particularly in CMOS, power devices, and MEMS applications. As a key process in wafer engineering, silicon epitaxy (Si Epi) involves the precise deposition of a crystalline silicon layer on top of a polished silicon wafer, offering superior control of doping profiles, defect density, and layer thickness.


Veteksemicon provides epitaxy-ready susceptor parts and reactor components used in Epi CVD systems, supporting both atmospheric and reduced pressure processes. Our product lineup includes silicon epitaxy susceptors, carrier rings, and coated wafer holders, optimized for compatibility with tools from Applied Materials, ASM, and Tokyo Electron (TEL).


Silicon epitaxy plays a critical role in producing ultra-thin junctions, strained silicon layers, and high-voltage isolation structures. Our materials and parts are engineered for high-purity, uniform thermal distribution, and anti-contamination performance during n-type and p-type epitaxial growth.


Closely associated terms include epitaxial wafer, in-situ doping, epitaxy-ready SiC coatings, and epi reactor parts, which support the entire upstream and downstream process of silicon-based IC fabrication.


Discover more about Veteksemicon’s silicon epitaxy support solutions by visiting our product detail page or contacting us for technical consultation and part customization.


சீனாவில் ஒரு தொழில்முறை சிலிக்கான் எபிடாக்ஸி உற்பத்தியாளர் மற்றும் சப்ளையராக, எங்கள் சொந்த தொழிற்சாலை உள்ளது. உங்கள் பிராந்தியத்தின் குறிப்பிட்ட தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய உங்களுக்கு தனிப்பயனாக்கப்பட்ட சேவைகள் தேவைப்பட்டாலும் அல்லது சீனாவில் தயாரிக்கப்பட்ட மேம்பட்ட மற்றும் நீடித்த {77 bep வாங்க விரும்பினாலும், நீங்கள் எங்களுக்கு ஒரு செய்தியை அனுப்பலாம்.
செய்தி பரிந்துரைகள்
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept