சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூச்சு பீப்பாய் சசெப்டர்

எபிடாக்ஸி வளர்ச்சி என்பது ஒற்றை படிக அடி மூலக்கூறில் (அடி மூலக்கூறு) ஒற்றை படிக திரைப்படத்தை (ஒற்றை படிக அடுக்கு) வளர்க்கும் செயல்முறையாகும். இந்த ஒற்றை படிக படம் ஒரு எபிலேயர் என்று அழைக்கப்படுகிறது. எபிலேயர் மற்றும் அடி மூலக்கூறு ஒரே பொருளால் ஆனபோது, ​​அது ஹோமோய்பிடாக்சியல் வளர்ச்சி என்று அழைக்கப்படுகிறது; அவை வெவ்வேறு பொருட்களால் ஆனபோது, ​​அது ஹீட்டோரோபிடாக்சியல் வளர்ச்சி என்று அழைக்கப்படுகிறது.

எபிடாக்சியல் எதிர்வினை அறையின் கட்டமைப்பின் படி, இரண்டு வகைகள் உள்ளன: கிடைமட்ட மற்றும் செங்குத்து. செங்குத்து எபிடாக்சியல் உலையின் பாதிப்பு செயல்பாட்டின் போது தொடர்ச்சியாக சுழல்கிறது, எனவே இது நல்ல சீரான மற்றும் பெரிய உற்பத்தி அளவைக் கொண்டுள்ளது, மேலும் பிரதான எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி தீர்வாக மாறியுள்ளது. சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூச்சு பீப்பாய் சசெப்டர் என்பது பீப்பாய் வகை எபிடாக்சியல் உலையின் முக்கிய அங்கமாகும். மற்றும் வெடெக் குறைக்கடத்தி EPI க்கான SIC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் பீப்பாய் SUSSCECTOR இன் தயாரிப்பு நிபுணர் ஆவார்.

MOCVD மற்றும் HVPE போன்ற எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி உபகரணங்களில், SIC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் பீப்பாய் SUSSCEPTORS வளர்ச்சியின் போது அது நிலையானதாக இருப்பதை உறுதிசெய்ய செதில்களை சரிசெய்ய பயன்படுத்தப்படுகிறது. பீப்பாய் வகை சசெப்டரில் செதில் வைக்கப்படுகிறது. உற்பத்தி செயல்முறை தொடரும்போது, ​​சசெப்டர் தொடர்ந்து செதில்களை சமமாக வெப்பப்படுத்த சுழல்கிறது, அதே நேரத்தில் செதில் மேற்பரப்பு எதிர்வினை வாயு ஓட்டத்திற்கு வெளிப்படும், இறுதியில் சீரான எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியை அடைகிறது.

சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூச்சு பீப்பாய் வகை சேசெப்டர் திட்டவட்டமானது

எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி உலை என்பது அரிக்கும் வாயுக்களால் நிரப்பப்பட்ட உயர் வெப்பநிலை சூழலாகும். அத்தகைய கடுமையான சூழலை சமாளிக்க, வெடெக் செமிகண்டக்டர் சி.வி.டி முறை மூலம் கிராஃபைட் பீப்பாய் சசெப்டருக்கு எஸ்.ஐ.சி பூச்சுகளின் ஒரு அடுக்கைச் சேர்த்தது, இதனால் ஒரு எஸ்.ஐ.சி பூசப்பட்ட கிராஃபைட் பீப்பாய் சசெப்டரைப் பெற்றது

கட்டமைப்பு அம்சங்கள்:

.  சீரான வெப்பநிலை விநியோகம்: பீப்பாய் வடிவ அமைப்பு வெப்பத்தை இன்னும் சமமாக விநியோகிக்கலாம் மற்றும் உள்ளூர் அதிக வெப்பம் அல்லது குளிரூட்டல் காரணமாக செதிலின் மன அழுத்தம் அல்லது சிதைவைத் தவிர்க்கலாம்.

.  காற்றோட்ட இடையூறுகளை குறைக்கவும்: பீப்பாய் வடிவ சுசெப்டரின் வடிவமைப்பு எதிர்வினை அறையில் காற்றோட்டத்தின் விநியோகத்தை மேம்படுத்தலாம், இதனால் வாயு செதிலின் மேற்பரப்பில் சீராக பாய அனுமதிக்கிறது, இது ஒரு தட்டையான மற்றும் சீரான எபிடாக்சியல் அடுக்கை உருவாக்க உதவுகிறது.

.  சுழற்சி வழிமுறை: பீப்பாய் வடிவ SUSSCECTOR இன் சுழற்சி பொறிமுறையானது எபிடாக்சியல் அடுக்கின் தடிமன் நிலைத்தன்மையையும் பொருள் பண்புகளையும் மேம்படுத்துகிறது.

.  பெரிய அளவிலான உற்பத்தி: பீப்பாய் வடிவ சசெப்டர் அதன் கட்டமைப்பு ஸ்திரத்தன்மையை பராமரிக்க முடியும், அதே நேரத்தில் 200 மிமீ அல்லது 300 மிமீ செதில்கள் போன்ற பெரிய செதில்களை எடுத்துச் செல்ல முடியும், இது பெரிய அளவிலான வெகுஜன உற்பத்திக்கு ஏற்றது.

வெடெக் செமிகண்டக்டர் சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூச்சு பீப்பாய் வகை சசெப்டர் உயர் தூய்மை கிராஃபைட் மற்றும் சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூச்சு ஆகியவற்றால் ஆனது, இது சசெப்டர் ஒரு அரிக்கும் வாயு சூழலில் நீண்ட நேரம் வேலை செய்ய உதவுகிறது மற்றும் நல்ல வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் நிலையான இயந்திர ஆதரவைக் கொண்டுள்ளது. செதில் சமமாக வெப்பமடைவதை உறுதிசெய்து துல்லியமான எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியை அடைகிறது.

சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்

சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்
சொத்து	வழக்கமான மதிப்பு
படிக அமைப்பு	FCC β கட்ட பாலிகிரிஸ்டலின், முக்கியமாக (111) நோக்கு
அடர்த்தி	3.21 கிராம்/செ.மீ
கடினத்தன்மை	2500 விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை （500 கிராம் சுமை
தானிய அளவு	2 ~ 10 மி.மீ.
வேதியியல் தூய்மை	99.99995%
வெப்ப திறன்	640 ஜே · கிலோ-1· கே-1
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை	2700
நெகிழ்வு வலிமை	415 MPa RT 4-POINT
யங்கின் மாடுலஸ்	430 ஜிபிஏ 4 பி.டி பெண்ட், 1300
வெப்ப கடத்துத்திறன்	300W · மீ-1· கே-1
வெப்ப விரிவாக்கம் (சி.டி.இ)	4.5 × 10-6K-1

வெடெக் செமிகண்டக்டர் சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூச்சு பீப்பாய் வகை சசெப்டர்