தயாரிப்புகள்
தயாரிப்புகள்
SiC பூச்சு மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் எபிடாக்சியல் தட்டு
  • SiC பூச்சு மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் எபிடாக்சியல் தட்டுSiC பூச்சு மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் எபிடாக்சியல் தட்டு

SiC பூச்சு மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் எபிடாக்சியல் தட்டு

SiC பூச்சு மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் எபிடாக்சியல் தட்டு என்பது மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி உலைக்கான ஒரு முக்கிய துணைப் பொருளாகும், இது குறைந்தபட்ச மாசுபாடு மற்றும் நிலையான எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி சூழலை உறுதி செய்கிறது. VeTek செமிகண்டக்டரின் SiC பூச்சு மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் எபிடாக்சியல் தட்டு மிக நீண்ட சேவை வாழ்க்கையை கொண்டுள்ளது மற்றும் பல்வேறு தனிப்பயனாக்குதல் விருப்பங்களை வழங்குகிறது. VeTek செமிகண்டக்டர் சீனாவில் உங்கள் நீண்ட கால கூட்டாளியாக ஆவதற்கு எதிர்நோக்குகிறது.

VeTek செமிகண்டக்டரின் SiC பூச்சு மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் எபிடாக்சியல் தட்டு என்பது மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சிக்காக சிறப்பாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது மற்றும் மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் எபிடாக்ஸி மற்றும் தொடர்புடைய குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் தொழில்துறை பயன்பாட்டில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது.Sic பூச்சுதட்டில் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பை கணிசமாக மேம்படுத்துவது மட்டுமல்லாமல், தீவிர சூழல்களில் நீண்ட கால நிலைத்தன்மை மற்றும் சிறந்த செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது.


SIC பூச்சு நன்மைகள்


SiC coating Monocrystalline silicon epitaxial tray working diagram

●  அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன்: எஸ்.ஐ.சி பூச்சு தட்டின் வெப்ப மேலாண்மை திறனை பெரிதும் மேம்படுத்துகிறது மற்றும் உயர் சக்தி சாதனங்களால் உருவாக்கப்படும் வெப்பத்தை திறம்பட சிதறடிக்க முடியும்.


●  அரிப்பு எதிர்ப்பு: SiC பூச்சு அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் சூழல்களில் சிறப்பாக செயல்படுகிறது, நீண்ட கால சேவை வாழ்க்கை மற்றும் நம்பகத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது.


●  மேற்பரப்பு சீரான தன்மை: ஒரு தட்டையான மற்றும் மென்மையான மேற்பரப்பை வழங்குகிறது, மேற்பரப்பு சீரற்ற தன்மையால் ஏற்படும் உற்பத்திப் பிழைகளைத் திறம்படத் தவிர்க்கிறது மற்றும் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியின் நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது.


ஆராய்ச்சியின் படி, கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறின் துளை அளவு 100 மற்றும் 500 nm க்கு இடையில் இருக்கும்போது, ​​கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறில் SiC சாய்வு பூச்சு தயாரிக்கப்படலாம், மேலும் SiC பூச்சு வலுவான ஆக்ஸிஜனேற்ற திறனைக் கொண்டுள்ளது. இந்த கிராஃபைட்டில் (முக்கோண வளைவு) SiC பூச்சுகளின் ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பு கிராஃபைட்டின் மற்ற குறிப்புகளை விட மிகவும் வலிமையானது, ஒற்றை படிக சிலிக்கான் எபிடாக்ஸியின் வளர்ச்சிக்கு ஏற்றது. VeTek செமிகண்டக்டரின் SiC பூச்சு மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் எபிடாக்சியல் தட்டு SGL கிராஃபைட்டைப் பயன்படுத்துகிறதுகிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு, இது அத்தகைய செயல்திறனை அடைய முடியும்.


வெடெக் செமிகண்டக்டரின் எஸ்.ஐ.சி பூச்சு மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் எபிடாக்சியல் தட்டு சிறந்த கிராஃபைட் பொருட்களையும் மிகவும் மேம்பட்ட எஸ்.ஐ.சி பூச்சு செயலாக்க தொழில்நுட்பத்தையும் பயன்படுத்துகிறது. மிக முக்கியமாக, வாடிக்கையாளர்களுக்கு எந்த தயாரிப்பு தனிப்பயனாக்குதல் தேவைப்பட்டாலும், சந்திக்க எங்களால் முடிந்த அனைத்தையும் செய்ய முடியும்.


CVD SiC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்


CVD SiC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்
சொத்து
வழக்கமான மதிப்பு
படிக அமைப்பு
FCC β கட்ட பாலிகிரிஸ்டலின், முக்கியமாக (111) சார்ந்தது
அடர்த்தி
3.21 கிராம்/செ.மீ.
கடினத்தன்மை
2500 விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை (500 கிராம் சுமை
தானிய எஸ்ஐze
2 ~ 10 மி.மீ.
வேதியியல் தூய்மை
99.99995%
வெப்ப திறன்
640 ஜே·கிலோ-1· கே-1
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை 2700℃
நெகிழ்வு வலிமை
415 MPa RT 4-POINT
யங்கின் மாடுலஸ்
430 ஜிபிஏ 4 பி.டி பெண்ட், 1300
வெப்ப கடத்துத்திறன்
300W·m-1· கே-1
வெப்ப விரிவாக்கம் (CTE)
4.5×10-6K-1

வெடெக் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி கடைகள்


Graphite epitaxial substrateSemiconductor heating furnace equipmentGraphite ring assemblySemiconductor process equipment

விசாரணையை அனுப்பு
தொடர்பு தகவல்
  • முகவரி

    வாங்டா சாலை, ஜியாங் தெரு, வுயி கவுண்டி, ஜின்ஹுவா நகரம், ஜெஜியாங் மாகாணம், சீனா

  • டெல்

    +86-18069220752

  • மின்னஞ்சல்

    anny@veteksemi.com

For inquiries about Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Special Graphite or price list, please leave your email to us and we will be in touch within 24 hours.
X
உங்களுக்கு சிறந்த உலாவல் அனுபவத்தை வழங்கவும், தள போக்குவரத்தை பகுப்பாய்வு செய்யவும் மற்றும் உள்ளடக்கத்தைத் தனிப்பயனாக்கவும் நாங்கள் குக்கீகளைப் பயன்படுத்துகிறோம். இந்தத் தளத்தைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம், எங்கள் குக்கீகளைப் பயன்படுத்துவதை ஒப்புக்கொள்கிறீர்கள். தனியுரிமைக் கொள்கை
நிராகரிக்கவும்ஏற்றுக்கொள்