தயாரிப்புகள்
தயாரிப்புகள்
முன் வெப்ப வளையம்
  • முன் வெப்ப வளையம்முன் வெப்ப வளையம்

முன் வெப்ப வளையம்

செமிகண்டக்டர் எபிடாக்ஸி செயல்பாட்டில், செமிகண்டக்டர் எபிடாக்ஸி செயல்பாட்டில் முன்-வெப்ப வளையம் பயன்படுத்தப்படுகிறது, இது செதில்களை முன்கூட்டியே சூடாக்கவும் மற்றும் செதில்களின் வெப்பநிலையை மிகவும் நிலையானதாகவும் சீரானதாகவும் மாற்றுகிறது, இது எபிடாக்ஸி அடுக்குகளின் உயர்தர வளர்ச்சிக்கு மிகவும் முக்கியத்துவம் வாய்ந்தது. Vetek செமிகண்டக்டர் அதிக வெப்பநிலையில் அசுத்தங்கள் ஆவியாகாமல் தடுக்க இந்த தயாரிப்பின் தூய்மையை கண்டிப்பாக கட்டுப்படுத்துகிறது. மேலும் எங்களுடன் கலந்துரையாடுவதற்கு வரவேற்கிறோம்.

ப்ரீ-ஹீட் ரிங் என்பது செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில் எபிடாக்சியல் (EPI) செயல்முறைக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு முக்கிய கருவியாகும். இது EPI செயல்முறைக்கு முன் செதில்களை முன்கூட்டியே சூடாக்கப் பயன்படுகிறது, எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி முழுவதும் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை மற்றும் சீரான தன்மையை உறுதி செய்கிறது.


வெடெக் செமிகண்டக்டரால் தயாரிக்கப்பட்ட, எங்கள் ஈபிஐ ப்ரீ ஹீட் ரிங் பல குறிப்பிடத்தக்க அம்சங்களையும் நன்மைகளையும் வழங்குகிறது. முதலாவதாக, இது அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் பொருட்களைப் பயன்படுத்தி கட்டப்பட்டுள்ளது, இது விரைவான மற்றும் சீரான வெப்ப பரிமாற்றத்தை செதில் மேற்பரப்புக்கு அனுமதிக்கிறது. இது ஹாட்ஸ்பாட்கள் மற்றும் வெப்பநிலை சாய்வு உருவாவதைத் தடுக்கிறது, நிலையான படிவு மற்றும் எபிடாக்சியல் அடுக்கின் தரம் மற்றும் சீரான தன்மையை மேம்படுத்துகிறது. கூடுதலாக, எங்கள் EPI Pre Heat Ring ஆனது மேம்பட்ட வெப்பநிலை கட்டுப்பாட்டு அமைப்புடன் பொருத்தப்பட்டுள்ளது, இது வெப்பத்திற்கு முந்தைய வெப்பநிலையின் துல்லியமான மற்றும் நிலையான கட்டுப்பாட்டை செயல்படுத்துகிறது. இந்த அளவிலான கட்டுப்பாடு, EPI செயல்பாட்டின் போது படிக வளர்ச்சி, பொருள் படிவு மற்றும் இடைமுக எதிர்வினைகள் போன்ற முக்கியமான படிகளின் துல்லியம் மற்றும் மீண்டும் மீண்டும் செய்யக்கூடிய தன்மையை மேம்படுத்துகிறது.


ஆயுள் மற்றும் நம்பகத்தன்மை எங்கள் தயாரிப்பு வடிவமைப்பின் அத்தியாவசிய அம்சங்கள். ஈபிஐ முன் வெப்ப வளையம் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் இயக்க அழுத்தங்களைத் தாங்கும் வகையில் கட்டப்பட்டுள்ளது, நீண்ட காலங்களில் ஸ்திரத்தன்மை மற்றும் செயல்திறனை பராமரிக்கிறது. இந்த வடிவமைப்பு அணுகுமுறை பராமரிப்பு மற்றும் மாற்று செலவுகளை குறைக்கிறது, நீண்டகால நம்பகத்தன்மை மற்றும் செயல்பாட்டு செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது. EPI ப்ரீ ஹீட் ரிங் இன் நிறுவல் மற்றும் செயல்பாடு நேரடியானது, ஏனெனில் இது பொதுவான EPI உபகரணங்களுடன் இணக்கமாக உள்ளது. இது பயனர்-நட்பு செதில் வேலை வாய்ப்பு மற்றும் மீட்டெடுக்கும் பொறிமுறையைக் கொண்டுள்ளது, இது வசதி மற்றும் செயல்பாட்டுத் திறனை மேம்படுத்துகிறது.


வெடெக் செமிகண்டக்டரில், குறிப்பிட்ட வாடிக்கையாளர் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய தனிப்பயனாக்குதல் சேவைகளையும் நாங்கள் வழங்குகிறோம். தனித்துவமான உற்பத்தித் தேவைகளுடன் சீரமைக்க EPI முன் வெப்ப வளையத்தின் அளவு, வடிவம் மற்றும் வெப்பநிலை வரம்பை தையல் செய்வது இதில் அடங்கும். எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி மற்றும் குறைக்கடத்தி சாதன உற்பத்தியில் ஈடுபட்டுள்ள ஆராய்ச்சியாளர்கள் மற்றும் உற்பத்தியாளர்களுக்கு, VeTek செமிகண்டக்டரின் EPI Pre Heat Ring விதிவிலக்கான செயல்திறன் மற்றும் நம்பகமான ஆதரவை வழங்குகிறது. உயர்தர எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியை அடைவதிலும் திறமையான குறைக்கடத்தி சாதன உற்பத்தி செயல்முறைகளை எளிதாக்குவதிலும் இது ஒரு முக்கியமான கருவியாக செயல்படுகிறது.


சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி படத்தின் SEM தரவு

SEM DATA OF CVD SIC FILM

சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்:

சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்
சொத்து வழக்கமான மதிப்பு
படிக அமைப்பு FCC β கட்ட பாலிகிரிஸ்டலின், முக்கியமாக (111) சார்ந்தது
Sic பூச்சு அடர்த்தி 3.21 கிராம்/செ.மீ.
SiC பூச்சு கடினத்தன்மை 2500 விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை (500 கிராம் சுமை)
தானிய அளவு 2 ~ 10 மி.மீ.
வேதியியல் தூய்மை 99.99995%
வெப்ப திறன் 640 ஜே·கிலோ-1·கே-1
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை 2700
நெகிழ்வு வலிமை 415 MPa RT 4-POINT
யங்ஸ் மாடுலஸ் 430 ஜிபிஏ 4 பி.டி பெண்ட், 1300
வெப்ப கடத்துத்திறன் 300W·m-1·கே-1
வெப்ப விரிவாக்கம் (சி.டி.இ) 4.5×10-6K-1


VeTek செமிகண்டக்டர்வெப்பத்திற்கு முந்தைய வளையம்தயாரிப்பு கடை

SiC Graphite substratePre-Heat Ring testSilicon carbide ceramic processingEPI process equipment


சூடான குறிச்சொற்கள்: வெப்பத்திற்கு முந்தைய வளையம்
விசாரணையை அனுப்பு
தொடர்பு தகவல்
  • முகவரி

    வாங்டா சாலை, ஜியாங் தெரு, வுய் கவுண்டி, ஜின்ஹுவா சிட்டி, ஜெஜியாங் மாகாணம், சீனா

  • டெல்

    +86-18069220752

  • மின்னஞ்சல்

    anny@veteksemi.com

சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு, டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு, சிறப்பு கிராஃபைட் அல்லது விலைப்பட்டியல் பற்றிய விசாரணைகளுக்கு, தயவுசெய்து உங்கள் மின்னஞ்சலை எங்களுக்கு அனுப்பவும், நாங்கள் 24 மணி நேரத்திற்குள் தொடர்பில் இருப்போம்.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept