தயாரிப்புகள்
தயாரிப்புகள்
SIC ICP பொறித்தல் தட்டு
  • SIC ICP பொறித்தல் தட்டுSIC ICP பொறித்தல் தட்டு
  • SIC ICP பொறித்தல் தட்டுSIC ICP பொறித்தல் தட்டு

SIC ICP பொறித்தல் தட்டு

வெட்கெமெமிகான் உயர் செயல்திறன் கொண்ட SIC ICP பொறித்தல் தகடுகளை வழங்குகிறது, இது குறைக்கடத்தி துறையில் ஐ.சி.பி பொறித்தல் பயன்பாடுகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. அதன் தனித்துவமான பொருள் பண்புகள் அதிக வெப்பநிலை, உயர் அழுத்தம் மற்றும் வேதியியல் அரிப்பு சூழல்களில் சிறப்பாக செயல்பட உதவுகின்றன, மேலும் பல்வேறு பொறித்தல் செயல்முறைகளில் சிறந்த செயல்திறன் மற்றும் நீண்டகால நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கின்றன.

ஐ.சி.பி பொறித்தல் (தூண்டக்கூடிய இணைந்த பிளாஸ்மா பொறித்தல்) தொழில்நுட்பம் என்பது குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் ஒரு துல்லியமான பொறித்தல் செயல்முறையாகும், இது பொதுவாக அதிக துல்லியமான மற்றும் உயர்தர முறை பரிமாற்றத்திற்கு பயன்படுத்தப்படுகிறது, குறிப்பாக ஆழமான துளை பொறித்தல், மைக்ரோ-பேட்டர்ன் செயலாக்கம் போன்றவற்றுக்கு ஏற்றது.


செமிகான்உயர் தரமான எஸ்.ஐ.சி பொருட்களைப் பயன்படுத்தி ஐ.சி.பி செயல்முறைக்காக சிறப்பாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, மேலும் அதிக வெப்பநிலை, வலுவான அரிக்கும் மற்றும் உயர் ஆற்றல் சூழல்களில் சிறந்த செயல்திறனை வழங்க முடியும். தாங்கி ஆதரிப்பதற்கான முக்கிய அங்கமாக,ஐ.சி.பி எட்ச்பொறித்தல் செயல்பாட்டின் போது தட்டு ஸ்திரத்தன்மை மற்றும் செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது.


SIC ICP பொறித்தல் தட்டுதயாரிப்பு அம்சங்கள்


ICP Etching process

. அதிக வெப்பநிலை சகிப்புத்தன்மை

எஸ்.ஐ.சி ஐ.சி.பி பொறித்தல் தட்டு வெப்பநிலை மாற்றங்களை 1600 ° C வரை தாங்கும், மேலும் அதிக வெப்பநிலை ஐ.சி.பி பொறித்தல் சூழலில் நிலையான பயன்பாட்டை உறுதி செய்கிறது மற்றும் வெப்பநிலை ஏற்ற இறக்கங்களால் ஏற்படும் சிதைவு அல்லது செயல்திறன் சீரழிவைத் தவிர்க்கிறது.


.  சிறந்த அரிப்பு எதிர்ப்பு

சிலிக்கான் கார்பைடு பொருள்ஹைட்ரஜன் ஃவுளூரைடு, ஹைட்ரஜன் குளோரைடு, சல்பூரிக் அமிலம் போன்ற அதிக அரிக்கும் இரசாயனங்களை திறம்பட எதிர்க்க முடியும்.


.  குறைந்த வெப்ப விரிவாக்க குணகம்

எஸ்.ஐ.சி ஐ.சி.பி பொறித்தல் தட்டு குறைந்த வெப்ப விரிவாக்க குணகத்தைக் கொண்டுள்ளது, இது அதிக வெப்பநிலை சூழலில் நல்ல பரிமாண நிலைத்தன்மையை பராமரிக்கலாம், வெப்பநிலை மாற்றங்களால் ஏற்படும் மன அழுத்தத்தையும் சிதைவையும் குறைக்கலாம் மற்றும் துல்லியமான பொறித்தல் செயல்முறையை உறுதி செய்யலாம்.


.  அதிக கடினத்தன்மை மற்றும் உடைகள் எதிர்ப்பு

SIC க்கு 9 MOHS கடினத்தன்மை உள்ளது, இது பொறித்தல் செயல்பாட்டின் போது ஏற்படக்கூடிய இயந்திர உடைகளை திறம்பட தடுக்கலாம், சேவை ஆயுளை நீட்டிக்கலாம் மற்றும் மாற்று அதிர்வெண்ணைக் குறைக்கலாம்.


. இxcellent வெப்ப கடத்துத்திறன்

சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் அதை உறுதி செய்கிறதுSic தட்டுபொறித்தல் செயல்பாட்டின் போது வெப்பத்தை விரைவாகக் சிதறடிக்கும், வெப்பக் குவிப்பால் ஏற்படும் உள்ளூர் வெப்பநிலை அதிகரிப்பைத் தவிர்ப்பது, இதன் மூலம் பொறித்தல் செயல்முறையின் நிலைத்தன்மை மற்றும் சீரான தன்மையை உறுதி செய்கிறது.


ஒரு வலுவான தொழில்நுட்பக் குழுவின் ஆதரவுடன், வெட்கெமிகான் எஸ்.ஐ.சி ஐ.சி.பி பொறித்தல் தட்டு பல்வேறு கடினமான திட்டங்களை முடித்து, உங்கள் தேவைகளுக்கு ஏற்ப தனிப்பயனாக்கப்பட்ட தயாரிப்புகளை வழங்குகிறது. உங்கள் விசாரணையை நாங்கள் எதிர்பார்க்கிறோம்.


சி.வி.டி sic இன் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்:

Bசி.வி.டி sic இன் ASIC இயற்பியல் பண்புகள்
சொத்து
வழக்கமான மதிப்பு
படிக அமைப்பு
FCC β கட்ட பாலிகிரிஸ்டலின், முக்கியமாக (111) நோக்கு
அடர்த்தி
3.21 கிராம்/செ.மீ
கடினத்தன்மை
2500 விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை (500 கிராம் சுமை
தானிய அளவு
2 ~ 10 மி.மீ.
வேதியியல் தூய்மை
99.99995%
வெப்ப திறன்
640 ஜே · கிலோ-1· கே-1
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை
2700
நெகிழ்வு வலிமை
415 MPa RT 4-POINT
யங்கின் மாடுலஸ்
430 ஜி.பி.ஏ 4 பி.டி பெண்ட், 1300℃
வெப்ப கடத்துத்திறன்
300W · மீ-1· கே-1
வெப்ப விரிவாக்கம் (சி.டி.இ)
4.5 × 10-6K-1


சூடான குறிச்சொற்கள்: SIC ICP பொறித்தல் தட்டு
விசாரணையை அனுப்பு
தொடர்பு தகவல்
  • முகவரி

    வாங்டா சாலை, ஜியாங் தெரு, வுயி கவுண்டி, ஜின்ஹுவா நகரம், ஜெஜியாங் மாகாணம், சீனா

  • டெல்

    +86-18069220752

  • மின்னஞ்சல்

    anny@veteksemi.com

For inquiries about Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Special Graphite or price list, please leave your email to us and we will be in touch within 24 hours.
X
உங்களுக்கு சிறந்த உலாவல் அனுபவத்தை வழங்கவும், தள போக்குவரத்தை பகுப்பாய்வு செய்யவும் மற்றும் உள்ளடக்கத்தைத் தனிப்பயனாக்கவும் நாங்கள் குக்கீகளைப் பயன்படுத்துகிறோம். இந்தத் தளத்தைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம், எங்கள் குக்கீகளைப் பயன்படுத்துவதை ஒப்புக்கொள்கிறீர்கள். தனியுரிமைக் கொள்கை
நிராகரிக்கவும்ஏற்றுக்கொள்