LPE PE2061S க்கான SIC பூசப்பட்ட ஆதரவு

சிலிக்கான் எபிடாக்ஸி கருவிகளில் எல்.பி.

கீழ் தட்டு முக்கியமாக பீப்பாய் எபிடாக்சியல் உலை மூலம் பயன்படுத்தப்படுகிறது, பீப்பாய் எபிடாக்சியல் உலை ஒரு பெரிய எதிர்வினை அறை மற்றும் தட்டையான எபிடாக்சியல் சசெப்டரை விட அதிக உற்பத்தி திறன் கொண்டது. ஆதரவு ஒரு வட்ட துளை வடிவமைப்பைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் முதன்மையாக உலைக்குள் வெளியேற்றும் கடைக்கு பயன்படுத்தப்படுகிறது.

எல்பிஇ பிஇ 2061 எஸ் என்பது ஒரு சிலிக்கான் கார்பைடு (எஸ்ஐசி) பூசப்பட்ட கிராஃபைட் ஆதரவு தளமாகும், இது குறைக்கடத்தி உற்பத்தி மற்றும் மேம்பட்ட பொருள் செயலாக்கத்திற்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, இது அதிக வெப்பநிலை, உயர் துல்லியமான செயல்முறை சூழல்களுக்கு ஏற்றது (திரவ கட்ட அகற்றும் தொழில்நுட்ப எல்பிஇ, உலோக-ஆர்கானிக் வேதியியல் நீராவி படிவு MOCVD போன்றவை). அதன் முக்கிய வடிவமைப்பு உயர் தூய்மை கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறின் இரட்டை நன்மைகளை அடர்த்தியான எஸ்.ஐ.சி பூச்சுடன் ஒருங்கிணைத்து தீவிர நிலைமைகளின் கீழ் நிலைத்தன்மை, அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் வெப்ப சீரான தன்மையை உறுதி செய்கிறது.

முக்கிய பண்பு

. அதிக வெப்பநிலை எதிர்ப்பு:

எஸ்.ஐ.சி பூச்சு 1200 ° C க்கு மேல் அதிக வெப்பநிலையைத் தாங்கும், மேலும் வெப்ப விரிவாக்க குணகம் வெப்பநிலை ஏற்ற இறக்கங்களால் ஏற்படும் அழுத்த விரிசலைத் தவிர்ப்பதற்காக கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறுடன் மிகவும் பொருந்துகிறது.

.  சிறந்த வெப்ப சீரான தன்மை:

வேதியியல் நீராவி படிவு (சி.வி.டி) தொழில்நுட்பத்தால் உருவாக்கப்பட்ட அடர்த்தியான எஸ்.ஐ.சி பூச்சு, அடித்தளத்தின் மேற்பரப்பில் சீரான வெப்ப விநியோகத்தை உறுதி செய்கிறது மற்றும் எபிடாக்சியல் படத்தின் சீரான தன்மையையும் தூய்மையையும் மேம்படுத்துகிறது.

.  ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு:

எஸ்.ஐ.சி பூச்சு கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறை முழுவதுமாக உள்ளடக்கியது, ஆக்ஸிஜன் மற்றும் அரிக்கும் வாயுக்களைத் தடுக்கிறது (NH₃, H₂, போன்றவை), அடித்தளத்தின் ஆயுளை கணிசமாக விரிவுபடுத்துகிறது.

.  உயர் இயந்திர வலிமை:

பூச்சு கிராஃபைட் மேட்ரிக்ஸுடன் அதிக பிணைப்பு வலிமையைக் கொண்டுள்ளது, மேலும் பல உயர் வெப்பநிலை மற்றும் குறைந்த வெப்பநிலை சுழற்சிகளைத் தாங்கும், வெப்ப அதிர்ச்சியால் ஏற்படும் சேதத்தின் அபாயத்தைக் குறைக்கிறது.

.  அல்ட்ரா-உயர் தூய்மை:

மாசுபடுத்தும் செதில்கள் அல்லது எபிடாக்சியல் பொருட்களைத் தவிர்க்க குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளின் (உலோக தூய்மையற்ற உள்ளடக்கம் ≤1ppm) கடுமையான தூய்மையற்ற உள்ளடக்கத் தேவைகளை பூர்த்தி செய்யுங்கள்.

தொழில்நுட்ப செயல்முறை

.  பூச்சு தயாரிப்பு.

.  துல்லிய எந்திரம்: அடிப்படை சி.என்.சி இயந்திர கருவிகளால் இறுதியாக இயந்திரமயமாக்கப்படுகிறது, மேலும் மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை 0.4μm க்கும் குறைவாக உள்ளது, இது அதிக துல்லியமான செதில் தாங்கி தேவைகளுக்கு ஏற்றது.

பயன்பாட்டு புலம்

●  MOCVD உபகரணங்கள்: GAN, SIC மற்றும் பிற கலவை குறைக்கடத்தி எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி, ஆதரவு மற்றும் சீரான வெப்பமூட்டும் அடி மூலக்கூறு.

.  சிலிக்கான்/எஸ்.ஐ.சி எபிடாக்ஸி: சிலிக்கான் அல்லது எஸ்.ஐ.சி செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில் எபிடாக்ஸி அடுக்குகளின் உயர் தரமான படிவுகளை உறுதி செய்கிறது.

.  திரவ கட்ட அகற்றுதல் (எல்பிஇ) செயல்முறை: கிராபெனின் மற்றும் டிரான்சிஷன் மெட்டல் சால்கோஜனைடுகள் போன்ற இரு பரிமாண பொருட்களுக்கு நிலையான ஆதரவு தளத்தை வழங்க மீயொலி துணைப் பொருள் அகற்றும் தொழில்நுட்பத்தை மாற்றியமைக்கிறது.

போட்டி நன்மை

.  சர்வதேச தர தரம்: செயல்திறன் தரப்படுத்தல் டொயோட்டான்சோ, எஸ்.ஜி.எல்.கார்பன் மற்றும் பிற சர்வதேச முன்னணி உற்பத்தியாளர்கள், பிரதான குறைக்கடத்தி கருவிகளுக்கு ஏற்றது.

.  தனிப்பயனாக்கப்பட்ட சேவை: வெவ்வேறு துவாரங்களின் வடிவமைப்பு தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய, வட்டு வடிவம், பீப்பாய் வடிவம் மற்றும் பிற அடிப்படை வடிவ தனிப்பயனாக்கலை ஆதரிக்கவும்.

.  உள்ளூர்மயமாக்கல் நன்மை: விநியோக சுழற்சியைக் குறைக்கவும், விரைவான தொழில்நுட்ப பதிலை வழங்கவும், விநியோக சங்கிலி அபாயங்களைக் குறைக்கவும்.

தர உத்தரவாதம்

.  கடுமையான சோதனை: அடர்த்தி, தடிமன் (வழக்கமான மதிப்பு 100 ± 20μm) மற்றும் பூச்சு கலவை தூய்மை ஆகியவை SEM, XRD மற்றும் பிற பகுப்பாய்வு வழிமுறைகளால் சரிபார்க்கப்பட்டன.

●  நம்பகத்தன்மை சோதனை: அதிக வெப்பநிலை சுழற்சி (1000 ° C → அறை வெப்பநிலை, ≥100 மடங்கு) மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு சோதனை ஆகியவற்றிற்கான உண்மையான செயல்முறை சூழலை உருவகப்படுத்துங்கள்.

●  பொருந்தக்கூடிய தொழில்கள்: குறைக்கடத்தி உற்பத்தி, எல்.ஈ.டி எபிடாக்ஸி, ஆர்எஃப் சாதன உற்பத்தி போன்றவை.

சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி படங்களின் எஸ்.இ.எம் தரவு மற்றும் அமைப்பு