SiC பூசப்பட்ட எபிடாக்சியல் ரியாக்டர் அறை

பொதுவான தயாரிப்பு தகவல்

தயாரிப்பு வணிக விதிமுறைகள்

விண்ணப்பம்: Veteksemicon SiC பூசப்பட்ட எபிடாக்சியல் ரியாக்டர் அறையானது குறைக்கடத்தி எபிடாக்சியல் செயல்முறைகளை கோருவதற்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. மிகவும் தூய்மையான மற்றும் நிலையான உயர்-வெப்பச் சூழலை வழங்குவதன் மூலம், இது SiC மற்றும் GaN எபிடாக்சியல் செதில்களின் தரத்தை கணிசமாக மேம்படுத்துகிறது, இது உயர் செயல்திறன் கொண்ட பவர் சில்லுகள் மற்றும் RF சாதனங்களை உற்பத்தி செய்வதற்கான முக்கிய அடித்தளமாக அமைகிறது.

வழங்கக்கூடிய சேவைகள்: வாடிக்கையாளர் பயன்பாட்டு சூழ்நிலை பகுப்பாய்வு, பொருந்தும் பொருட்கள், தொழில்நுட்ப சிக்கல் தீர்க்கும்.

நிறுவனத்தின் சுயவிவரம்என் போட்டியாளர் 2 ஆய்வகங்களைக் கொண்டுள்ளது, R&D மற்றும் உற்பத்தி, சோதனை மற்றும் சரிபார்ப்பு திறன்களுடன் 20 வருட பொருள் அனுபவமுள்ள நிபுணர்களின் குழு.

என் போட்டியாளர் SiC பூசப்பட்ட எபிடாக்சியல் ரியாக்டர் சேம்பர் கோர் நன்மைகள்

1. சூப்பர் அரிப்பு எதிர்ப்பு

என் போட்டியாளர் இன் எதிர்வினை அறையானது அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பில் மிகவும் அடர்த்தியான, உயர்-தூய்மை சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு வைப்பதற்கு தனியுரிம CVD செயல்முறையைப் பயன்படுத்துகிறது. இந்த பூச்சு HCl மற்றும் H2 போன்ற உயர்-வெப்பநிலை அரிக்கும் வாயுக்களின் அரிப்பை திறம்பட எதிர்க்கிறது, இது பொதுவாக SiC எபிடாக்சியல் செயல்முறைகளில் காணப்படுகிறது, நீண்ட கால பயன்பாட்டிற்குப் பிறகு பாரம்பரிய கிராஃபைட் கூறுகளில் ஏற்படக்கூடிய மேற்பரப்பு போரோசிட்டி மற்றும் துகள் உதிர்தல் பிரச்சினைகளை அடிப்படையில் தீர்க்கிறது. இந்த குணாதிசயம், நூற்றுக்கணக்கான மணிநேர தொடர்ச்சியான செயல்பாட்டிற்குப் பிறகும் எதிர்வினை அறையின் உள் சுவர் சீராக இருப்பதை உறுதி செய்கிறது, இது அறை மாசுபாட்டால் ஏற்படும் செதில் குறைபாடுகளைக் கணிசமாகக் குறைக்கிறது.

2. உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை

சிலிக்கான் கார்பைட்டின் சிறந்த வெப்ப பண்புகளுக்கு நன்றி, இந்த எதிர்வினை அறை 1600 ° C வரை தொடர்ச்சியான இயக்க வெப்பநிலையை எளிதில் தாங்கும். வெப்ப விரிவாக்கத்தின் மிகக் குறைந்த குணகம், மீண்டும் மீண்டும் விரைவான வெப்பமாக்கல் மற்றும் குளிரூட்டலின் போது வெப்ப அழுத்தத்தின் திரட்சியைக் குறைக்கிறது, மைக்ரோகிராக்குகள் அல்லது வெப்ப சோர்வினால் ஏற்படும் கட்டமைப்பு சேதத்தைத் தடுக்கிறது. இந்த சிறந்த வெப்ப நிலைத்தன்மையானது எபிடாக்சியல் செயல்முறைகளுக்கு ஒரு முக்கியமான செயல்முறை சாளரம் மற்றும் நம்பகத்தன்மை உத்தரவாதத்தை வழங்குகிறது, குறிப்பாக அதிக வெப்பநிலை சூழல்கள் தேவைப்படும் SiC homoepitaxy.

3. அதிக தூய்மை மற்றும் குறைந்த மாசுபாடு

இறுதி சாதன செயல்திறனில் எபிடாக்சியல் லேயர் தரத்தின் தீர்க்கமான தாக்கத்தை நாங்கள் நன்கு அறிவோம். எனவே, Veteksemicon மிக உயர்ந்த பூச்சு தூய்மையைப் பின்தொடர்கிறது, இது 99.9995% அளவை அடைவதை உறுதி செய்கிறது. இத்தகைய உயர் தூய்மையானது, உயர் வெப்பநிலையில் செயல்முறை வளிமண்டலத்தில் உலோக அசுத்தங்கள் (Fe, Cr, Ni, முதலியன) இடம்பெயர்வதைத் திறம்பட அடக்குகிறது, இதனால் எபிடாக்சியல் அடுக்கு படிகத்தின் தரத்தில் இந்த அசுத்தங்களின் அபாயகரமான தாக்கத்தைத் தவிர்க்கிறது. இது உயர் செயல்திறன், அதிக நம்பகத்தன்மை கொண்ட செமிகண்டக்டர்கள் மற்றும் ரேடியோ அலைவரிசை சாதனங்களை உற்பத்தி செய்வதற்கான உறுதியான பொருள் அடித்தளத்தை அமைக்கிறது.

4. நீண்ட ஆயுள் வடிவமைப்பு

பூசப்படாத அல்லது வழக்கமான கிராஃபைட் கூறுகளுடன் ஒப்பிடும்போது, ​​SiC பூச்சுகளால் பாதுகாக்கப்பட்ட எதிர்வினை அறைகள் பல மடங்கு நீண்ட சேவை வாழ்க்கையை வழங்குகின்றன. இது முதன்மையாக அடி மூலக்கூறின் பூச்சுகளின் விரிவான பாதுகாப்பின் காரணமாகும், அரிக்கும் செயல்முறை வாயுக்களுடன் நேரடி தொடர்பைத் தடுக்கிறது. இந்த நீட்டிக்கப்பட்ட ஆயுட்காலம் நேரடியாக கணிசமான செலவுப் பலன்களாக மொழிபெயர்க்கிறது - வாடிக்கையாளர்கள் உபகரண வேலையில்லா நேரம், உதிரி பாகங்கள் கொள்முதல் மற்றும் சேம்பர் கூறுகளை அவ்வப்போது மாற்றுவதுடன் தொடர்புடைய தொழிலாளர் செலவுகளை கணிசமாகக் குறைக்கலாம், இதன் மூலம் ஒட்டுமொத்த உற்பத்தி இயக்கச் செலவுகளைக் குறைக்கலாம்.

5. சூழலியல் சங்கிலி சரிபார்ப்பு ஒப்புதல்

என் போட்டியாளர் SiC பூசப்பட்ட எபிடாக்சியல் ரியாக்டர் சேம்பர்' சூழலியல் சங்கிலி சரிபார்ப்பு உற்பத்திக்கான மூலப்பொருட்களை உள்ளடக்கியது, சர்வதேச தர சான்றிதழில் தேர்ச்சி பெற்றுள்ளது, மேலும் குறைக்கடத்தி மற்றும் புதிய ஆற்றல் துறைகளில் அதன் நம்பகத்தன்மை மற்றும் நிலைத்தன்மையை உறுதிப்படுத்த பல காப்புரிமை பெற்ற தொழில்நுட்பங்கள் உள்ளன.

விரிவான தொழில்நுட்ப விவரக்குறிப்புகள், வெள்ளைத் தாள்கள் அல்லது மாதிரி சோதனை ஏற்பாடுகளுக்கு, Veteksemicon உங்கள் செயல்முறை செயல்திறனை எவ்வாறு மேம்படுத்தலாம் என்பதை ஆராய எங்கள் தொழில்நுட்ப ஆதரவுக் குழுவைத் தொடர்பு கொள்ளவும்.