SIC பூசப்பட்ட ஆழமான புற ஊதா எல்.ஈ.டி SUSSCECTOR

SIC பூசப்பட்ட ஆழமான புற ஊதா எல்.ஈ.டி Susscector என்பது முக்கிய தாங்கி கூறு ஆகும்MOCVD (உலோக கரிம வேதியியல் நீராவி படிவு) உபகரணங்கள். ஆழமான புற ஊதா எல்.ஈ.டி எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியின் சீரான தன்மை, தடிமன் கட்டுப்பாடு மற்றும் பொருள் தரத்தை சசெப்டர் நேரடியாக பாதிக்கிறது, குறிப்பாக அலுமினிய நைட்ரைடு (ஏ.எல்.என்) எபிடாக்சியல் லேயரின் வளர்ச்சியில் அதிக அலுமினிய உள்ளடக்கத்துடன், சசெப்டரின் வடிவமைப்பு மற்றும் செயல்திறன் மிக முக்கியமானவை.

SIC பூசப்பட்ட ஆழமான புற ஊதா எல்.ஈ.டி Susscector ஆழமான புற ஊதா எல்.ஈ.டி எபிடாக்ஸிக்கு சிறப்பாக உகந்ததாக உள்ளது, மேலும் கடுமையான செயல்முறை தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய வெப்ப, இயந்திர மற்றும் வேதியியல் சுற்றுச்சூழல் பண்புகளின் அடிப்படையில் துல்லியமாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது.

இயக்க வெப்பநிலை வரம்பிற்குள் சசெப்டரின் சீரான வெப்ப விநியோகத்தை உறுதிப்படுத்த வெடெக் குறைக்கடத்தி மேம்பட்ட செயலாக்க தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்துகிறது, வெப்பநிலை சாய்வு காரணமாக ஏற்படும் எபிடாக்சியல் அடுக்கின் ஒரே மாதிரியான வளர்ச்சியைத் தவிர்க்கிறது. துல்லிய செயலாக்கம் மேற்பரப்பு கடினத்தன்மையைக் கட்டுப்படுத்துகிறது, துகள் மாசுபாட்டைக் குறைக்கிறது, மேலும் செதில் மேற்பரப்பு தொடர்பின் வெப்ப கடத்துத்திறன் செயல்திறனை மேம்படுத்துகிறது.

வெடெக் செமிகண்டக்டர் எஸ்.ஜி.எல் கிராஃபைட்டை பொருளாக பயன்படுத்துகிறது, மேலும் மேற்பரப்பு சிகிச்சையளிக்கப்படுகிறதுசி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூச்சு, இது NH3, HCL மற்றும் உயர் வெப்பநிலை வளிமண்டலத்தை நீண்ட காலத்திற்கு தாங்கும். வெடெக் செமிகண்டக்டரின் எஸ்.ஐ.சி பூசப்பட்ட ஆழமான புற ஊதா எல்.ஈ.டி சசெப்டர் ALN/GAN EPITAXIAL SWAFERS இன் வெப்ப விரிவாக்க குணகத்துடன் பொருந்துகிறது, செயல்பாட்டின் போது வெப்ப அழுத்தத்தால் ஏற்படும் செதில் போர்பிங் அல்லது விரிசலைக் குறைக்கிறது.

மிக முக்கியமாக, வெடெக் செமிகண்டக்டரின் எஸ்.ஐ.சி பூசப்பட்ட ஆழமான புற ஊதா எல்.ஈ.டி சுசெப்டர் பிரதான MOCVD கருவிகளுக்கு (வீகோ K465I, EPIK 700, Aixtron Crius, முதலியன) சரியாக மாற்றியமைக்கிறது. செதில் அளவு (2 ~ 8 அங்குலங்கள்), செதில் ஸ்லாட் வடிவமைப்பு, செயல்முறை வெப்பநிலை மற்றும் பிற தேவைகளுக்கான தனிப்பயனாக்கப்பட்ட சேவைகளை ஆதரிக்கிறது.

பயன்பாட்டு காட்சிகள்:

● ஆழமான புற ஊதா எல்.ஈ.டி தயாரிப்பு: 260 என்.எம் (யு.வி-சி கிருமிநாசினி, கருத்தடை மற்றும் பிற துறைகளுக்கு கீழே உள்ள இசைக்குழுவில் உள்ள சாதனங்களின் எபிடாக்சியல் செயல்முறைக்கு பொருந்தும்.

● நைட்ரைடு குறைக்கடத்தி எபிடாக்ஸி: காலியம் நைட்ரைடு (GAN) மற்றும் அலுமினிய நைட்ரைடு (ALN) போன்ற குறைக்கடத்தி பொருட்களின் எபிடாக்சியல் தயாரிப்புக்கு பயன்படுத்தப்படுகிறது.

● ஆராய்ச்சி-நிலை எபிடாக்சியல் சோதனைகள்: பல்கலைக்கழகங்கள் மற்றும் ஆராய்ச்சி நிறுவனங்களில் ஆழமான புற ஊதா எபிடாக்ஸி மற்றும் புதிய பொருள் மேம்பாட்டு சோதனைகள்.

ஒரு வலுவான தொழில்நுட்பக் குழுவின் ஆதரவுடன், வெடெக் செமிகண்டக்டர் வாடிக்கையாளர் தேவைகளுக்கு ஏற்ப தனித்துவமான விவரக்குறிப்புகள் மற்றும் செயல்பாடுகளுடன் SUSSPECTORS ஐ உருவாக்கவும், குறிப்பிட்ட உற்பத்தி செயல்முறைகளை ஆதரிக்கவும், நீண்ட கால சேவைகளை வழங்கவும் முடியும்.

சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூச்சு படத்தின் SEM தரவு:

சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்:

இது குறைக்கடத்திSIC பூசப்பட்ட ஆழமான புற ஊதா எல்.ஈ.டி Sussceptor தயாரிப்பு கடைகள்: