தயாரிப்புகள்
தயாரிப்புகள்
MOCVD ஆதரவு
  • MOCVD ஆதரவுMOCVD ஆதரவு
  • MOCVD ஆதரவுMOCVD ஆதரவு

MOCVD ஆதரவு

MOCVD Susscector கிரக வட்டு மற்றும் எபிடாக்ஸியில் அதன் நிலையான செயல்திறனுக்காக லாபம் ஆகியவற்றால் வகைப்படுத்தப்படுகிறது. வெடெக் குறைக்கடத்திக்கு இந்த தயாரிப்பின் எந்திரம் மற்றும் சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூச்சு ஆகியவற்றில் வளமான அனுபவம் உள்ளது, உண்மையான நிகழ்வுகளைப் பற்றி எங்களுடன் தொடர்பு கொள்ள வரவேற்கிறோம்.

எனசி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூச்சுஉற்பத்தியாளர், வெடெக் செமிகண்டக்டருக்கு அதிக தூய்மை கிராஃபைட் மற்றும் சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூச்சு (5 பிபிஎம் கீழே) ஆகியவற்றால் ஆன ஐக்ஸ்ட்ரான் ஜி 5 மோக்விடி சசெப்டர்களை உங்களுக்கு வழங்கும் திறன் உள்ளது. 


மைக்ரோ எல்.ஈ. சிலிக்கான் அடிப்படையிலான GAN எபிடாக்ஸி வளர்ச்சிக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட மிக சக்திவாய்ந்த MOCVD உலைகளில் Aixtron G5 ஒன்றாகும்.


உற்பத்தி செய்யப்படும் அனைத்து எபிடாக்சியல் செதில்களும் மிகவும் இறுக்கமான அலைநீள விநியோகம் மற்றும் மிகக் குறைந்த மேற்பரப்பு குறைபாடு நிலைகளைக் கொண்டிருப்பது அவசியம், இதற்கு புதுமையானது தேவைப்படுகிறதுMOCVD தொழில்நுட்பம்.

Aixtron G5 என்பது ஒரு கிடைமட்ட கிரக வட்டு எபிடாக்ஸி அமைப்பு, முக்கியமாக கிரக வட்டு, MOCVD SUSSCEPTOR, கவர் வளையம், உச்சவரம்பு, துணை வளையம், கவர் வட்டு, எக்ஸாஸ்ட் கலெக்டர், முள் வாஷர், கலெக்டர் இன்லெட் ரிங் போன்றவை, முக்கிய தயாரிப்பு பொருட்கள் சி.வி.டி சிக் பூச்சு+உயர் தூய்மை கிராஃபைட் கிராஃபைட், ரீமண்டர் குவார்ட்ஸ்,சி.வி.டி டிஏசி பூச்சு+உயர் தூய்மை கிராஃபைட்,கடினமான உணர்ந்தேன்மற்றும் பிற பொருட்கள்.


MOCVD SUSSCECTOR அம்சங்கள் பின்வருமாறு


Mablemation அடிப்படை பொருள் பாதுகாப்பு: சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூச்சு எபிடாக்சியல் செயல்பாட்டில் ஒரு பாதுகாப்பு அடுக்காக செயல்படுகிறது, இது வெளிப்புற சூழலின் அடிப்படை பொருளுக்கு அரிப்பு மற்றும் சேதத்தை திறம்பட தடுக்கலாம், நம்பகமான பாதுகாப்பு நடவடிக்கைகளை வழங்குதல் மற்றும் சாதனங்களின் சேவை ஆயுளை நீட்டிக்க முடியும்.

வெப்பமான கடத்துத்திறன்: சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூச்சு சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறனைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் அடிப்படை பொருளிலிருந்து பூச்சு மேற்பரப்புக்கு விரைவாக மாற்றத்தை மாற்றலாம், எபிடாக்ஸியின் போது வெப்ப மேலாண்மை செயல்திறனை மேம்படுத்துகிறது மற்றும் உபகரணங்கள் பொருத்தமான வெப்பநிலை வரம்பிற்குள் செயல்படுவதை உறுதிசெய்கின்றன.

✔ திரைப்பட தரத்தை மேம்படுத்தவும்: சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூச்சு ஒரு தட்டையான, சீரான மேற்பரப்பை வழங்க முடியும், இது திரைப்பட வளர்ச்சிக்கு ஒரு நல்ல அடித்தளத்தை வழங்குகிறது. இது லட்டு பொருந்தாத தன்மையால் ஏற்படும் குறைபாடுகளைக் குறைக்கலாம், படத்தின் படிகத்தன்மையையும் தரத்தையும் மேம்படுத்தலாம், இதனால் எபிடாக்சியல் படத்தின் செயல்திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மையை மேம்படுத்தலாம்.

சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்:

SEM DATA OF CVD SIC FILM


சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்
சொத்து வழக்கமான மதிப்பு
படிக அமைப்பு FCC β கட்ட பாலிகிரிஸ்டலின், முக்கியமாக (111) சார்ந்த
Sic பூச்சு அடர்த்தி 3.21 கிராம்/செ.மீ
Sic பூச்சு கடினத்தன்மை 2500 விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை (500 கிராம் சுமை
தானிய அளவு 2 ~ 10 மி.மீ.
வேதியியல் தூய்மை 99.99995%
வெப்ப திறன் 640 ஜே · கிலோ-1· கே-1
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை 2700
நெகிழ்வு வலிமை 415 MPa RT 4-POINT
யங்கின் மாடுலஸ் 430 ஜிபிஏ 4 பி.டி பெண்ட், 1300
வெப்ப கடத்துத்திறன் 300W · மீ-1· கே-1
வெப்ப விரிவாக்கம் (சி.டி.இ) 4.5 × 10-6K-1


குறைக்கடத்தி சிப் எபிடாக்ஸி தொழில் சங்கிலியின் கண்ணோட்டம்:

SiC Epitaxy Si Epitaxy GaN Epitaxy

சூடான குறிச்சொற்கள்: MOCVD ஆதரவு
விசாரணையை அனுப்பு
தொடர்பு தகவல்
  • முகவரி

    வாங்டா சாலை, ஜியாங் தெரு, வுயி கவுண்டி, ஜின்ஹுவா நகரம், ஜெஜியாங் மாகாணம், சீனா

  • டெல்

    +86-18069220752

  • மின்னஞ்சல்

    anny@veteksemi.com

சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு, டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு, சிறப்பு கிராஃபைட் அல்லது விலைப்பட்டியல் பற்றிய விசாரணைகளுக்கு, தயவுசெய்து உங்கள் மின்னஞ்சலை எங்களுக்கு அனுப்பவும், நாங்கள் 24 மணி நேரத்திற்குள் தொடர்பில் இருப்போம்.
செய்தி பரிந்துரைகள்
X
உங்களுக்கு சிறந்த உலாவல் அனுபவத்தை வழங்கவும், தள போக்குவரத்தை பகுப்பாய்வு செய்யவும் மற்றும் உள்ளடக்கத்தைத் தனிப்பயனாக்கவும் நாங்கள் குக்கீகளைப் பயன்படுத்துகிறோம். இந்தத் தளத்தைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம், எங்கள் குக்கீகளைப் பயன்படுத்துவதை ஒப்புக்கொள்கிறீர்கள். தனியுரிமைக் கொள்கை
நிராகரிக்கவும் ஏற்றுக்கொள்