CVD SiC பூச்சு கிராஃபைட் பாகங்கள் சுத்தம் செய்யும் சேவை

1. நீங்கள் எதிர்கொள்ளக்கூடிய சவால்கள்

• AlN லேயரை அகற்றுவது கடினம்:1300°C தெர்மல் கிளீன் இன்னும் எஞ்சிய AlN லேயரை திறம்பட பொறிக்க முடியாது.

• தொடர் நினைவக விளைவு:மேற்பரப்பு நினைவக விளைவு அணு உலையில் நிலையற்ற வாயு ஓட்டத்தை ஏற்படுத்துகிறது, செயல்முறை நிலைத்தன்மையை பாதிக்கிறது.

• சைக்கிள் இம்பாக் சுத்தம்ts செயல்திறன்:பொதுவாக ஒவ்வொரு 16 செயல்முறை சுழற்சிகளுக்கும் (4-5 susceptors) வெளிப்புற சுத்தம் தேவைப்படுகிறது.

• விலையுயர்ந்த பூச்சு சேதமடைவதைப் பற்றிய கவலை:வீட்டில் இரசாயன துப்புரவு அனுபவம் இல்லாததால், ஆக்கிரமிப்பு சுத்தம் செய்ய ஆபரேட்டர்கள் தயங்குகின்றனர்.

2. எங்கள் தீர்வு - GaN / AlN / AlGaN செயல்முறைகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது

• தொழில்முறை சுத்தம்:CVD SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் பாகங்களுக்கு தனிப்பயன் செயல்முறை குறிப்பாக உருவாக்கப்பட்டது. வாடிக்கையாளரிடமிருந்து இரசாயன சூத்திரம் தேவையில்லை.

• பூச்சு பாதுகாப்பு:100 µm CVD SiC பூச்சுகளை கண்டிப்பாகப் பாதுகாக்கிறது. சுத்தம் செய்த பிறகு முழுமையான பூஜ்ஜிய தடிமன் இழப்பு.

• சரிபார்க்கக்கூடிய முடிவுகள்:ஐந்து முக்கிய பரிமாணங்களை உள்ளடக்கிய முழு பகுப்பாய்வு சான்றிதழ் (COA). காப்பகம் மற்றும் தர தணிக்கைக்கு தரவு தயாராக உள்ளது.

3. ஐந்து முக்கிய ஏற்றுக்கொள்ளும் அளவுகோல்கள்

குறைக்கடத்தி எபிடாக்ஸி பயனர்களின் முக்கியமான தேவைகளுடன் கண்டிப்பாக சீரமைக்கப்பட்டது:

1. பூஜ்ஜிய பூச்சு இழப்பு- சுத்தம் செய்த பிறகு SiC பூச்சு தடிமன் குறைக்கப்படாது (முன்/பின் தடிமன் ஒப்பீடு சரிபார்ப்பு).

2. மேற்பரப்பு சிதைவு இல்லை- தட்டையான தன்மை மற்றும் வடிவியல் துல்லியம் ஆகியவை உடல் சிதைவு ஏற்படாமல் இருப்பதை உறுதி செய்ய கண்டிப்பாக பரிசோதிக்கப்படுகின்றன.

3. நினைவக விளைவை நீக்கவும்– Al/Ga எச்சத்திற்கான XPS பகுப்பாய்வு நினைவக விளைவு மூலங்களை முழுமையாக அகற்றுவதை உறுதிப்படுத்துகிறது.

4. ஜீரோ மெட்டல் எச்சம்– Fe, Cu, Ni மற்றும் பிற உலோகங்களுக்கான ICP-MS சோதனை பூஜ்ஜிய எஞ்சிய உலோக அசுத்தங்களைச் சரிபார்க்கிறது.

5. அதிகப்படியான துகள்கள் இல்லை– QIII துகள் சோதனை மற்றும் தூய்மை சரிபார்ப்பு எஞ்சிய துகள்களால் ஏற்படும் வாயு ஓட்ட உறுதியற்ற தன்மையைத் தடுக்கிறது.

4. டெலிவரி ஆய்வு & COA அறிக்கை

ஒவ்வொரு தொகுதியும் ஐந்து முக்கிய பரிமாணங்களில் முழு சரிபார்ப்பு தரவுகளுடன் வழங்கப்படுகிறது:

5. பொருந்தக்கூடிய தயாரிப்புகள் & செயல்முறை பின்னணி

தயாரிப்பு அளவுருக்கள்

சேவை செயல்முறை

1. விசாரணை- மதிப்பீட்டிற்கு பகுதி புகைப்படங்கள் / மாதிரி / அளவு அனுப்பவும்.

2. மேற்கோள்- தொழில்நுட்ப மதிப்பீடு மற்றும் மேற்கோளுடன் விரிவான துப்புரவு முன்மொழிவு.

3. கப்பல் போக்குவரத்து- எங்களுக்கு பாகங்களை அனுப்பவும் அல்லது பிக்அப் சேவையை ஏற்பாடு செய்யவும்.

4. சுத்தம் செய்தல்- தொழில்முறை சுத்தம் + முழு பல பரிமாண ஆய்வு.

5. அறிக்கை- COA அறிக்கை வெளியிடப்பட்டது மற்றும் சுத்தம் செய்யப்பட்ட பாகங்கள் திரும்பியது.

6. பின்தொடர்தல்- விளைவு கண்காணிப்பு மற்றும் தொடர்ந்து தொழில்நுட்ப ஆதரவு.

6. VETEK துப்புரவு சேவையை ஏன் தேர்வு செய்ய வேண்டும்?

VETEK ஆனது CVD SiC பூச்சு தொழில்நுட்பத்தில் ஆழ்ந்த நிபுணத்துவத்தை உயர் மதிப்பு கிராஃபைட் சஸ்செப்டர்களுக்கான சிறப்பு துப்புரவு திறன்களுடன் ஒருங்கிணைக்கிறது. GaN/AlN எபிடாக்ஸியில் பூச்சு ஒருமைப்பாடு, துகள் கட்டுப்பாடு மற்றும் செயல்முறை தூய்மை ஆகியவற்றின் முக்கியமான முக்கியத்துவத்தை நாங்கள் புரிந்துகொள்கிறோம். விலையுயர்ந்த CVD SiC பூச்சுகளுக்கு முழுமையான பாதுகாப்பு தேவைப்படும் வாடிக்கையாளர்களுக்காக எங்கள் சேவை வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, அதே நேரத்தில் நினைவக விளைவு மற்றும் வாயு-பாய்ச்சல் உறுதியற்ற சிக்கல்களை முழுமையாக தீர்க்கிறது.

சிறிய தொகுதி சரிபார்ப்புக்கு சோதனை சுத்தம் கிடைக்கிறது

ஒவ்வொரு டெலிவரிக்கும் முழு COA அறிக்கை வழங்கப்படுகிறது

பூச்சு சேதம் அல்லது புதிய மாசுபாட்டின் பூஜ்ஜிய ஆபத்து

· தொழில்முறை · பாதுகாப்பானது · சரிபார்க்கக்கூடியது