பரவல் உலைக்கான குவார்ட்ஸ் உலை குழாய்

1. முக்கிய அம்சங்கள் & நன்மைகள்

• பிபிபி அளவுகளில் கட்டுப்படுத்தப்படும் உலோக அசுத்தங்கள் மற்றும் மிகக் குறைந்த ஹைட்ராக்சில் உள்ளடக்கம் கொண்ட அல்ட்ரா-உயர் தூய்மை டீஹைட்ராக்சிலேட்டட் ஃப்யூஸ்டு குவார்ட்ஸ் (SiO₂ ≥ 99.999%)

• 1100 °C வரை நீண்ட கால இயக்க வெப்பநிலை; 1200 °C க்கு குறுகிய கால உச்ச எதிர்ப்பு

• முழு அழுத்த-நிவாரண அனீலிங்கிற்குப் பிறகு சிறந்த வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு - விரைவான வெப்பநிலை மாற்றங்களின் கீழ் விரிசல்களை எதிர்க்கும்

• ஆக்சிஜனேற்றம், குறைத்தல் மற்றும் ஆலசன் கொண்ட செயல்முறை வாயுக்களுக்கு எதிரான சிறந்த இரசாயன செயலற்ற தன்மை; பிளாஸ்மா மற்றும் அரிக்கும் வளிமண்டலங்களுக்கு ஏற்றது

• மிகக் குறைந்த வெற்றிட வாயு வெளியேற்றம்; மென்மையான உள் சுவர் துணை தயாரிப்பு உருவாக்கத்தை குறைக்கிறது மற்றும் செயல்முறை மீண்டும் மீண்டும் ஆதரிக்கிறது

• ஒரே மாதிரியான சுவர் தடிமன், உயர் கோஆக்சியலிட்டி மற்றும் நம்பகமான சீல் செய்ய துல்லியமாக முடிக்கப்பட்ட முனைகளுடன் ஒரு துண்டு உருவாக்கம்

• தனிப்பயனாக்கக்கூடிய கட்டமைப்புகள்: நேரான குழாய்கள், குறைப்பான் குழாய்கள், விளிம்பு குழாய்கள், நீட்டிக்கப்பட்ட நீளங்கள் மற்றும் செங்குத்து அல்லது கிடைமட்ட உலைகளுக்கான சிறப்பு முடிவு கட்டமைப்புகள்

2. வழக்கமான பயன்பாடுகள்

VeTek குவார்ட்ஸ் உலை குழாய்கள் முக்கிய எதிர்வினை அறையாக பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன:

• வெப்ப ஆக்சிஜனேற்ற உலைகள் (உலர்ந்த/ஈரமான ஆக்சிஜனேற்றம்)

• டோபண்ட் அறிமுகத்திற்கான பரவல் உலைகள் (B, P, As, முதலியன)

• மெல்லிய-படம் படிவுக்கான LPCVD அமைப்புகள்

• வெற்றிட அனீலிங் மற்றும் பிற உயர் வெப்பநிலை வெப்ப-சிகிச்சை செயல்முறைகள்

• 4-இன்ச், 6-இன்ச், 8-இன்ச் மற்றும் 12-இன்ச் வேஃபர் பிளாட்ஃபார்ம்களுடன் (Si, SiC, GaN, sapphire substrates) இணக்கமானது

அவை தர்க்கம், நினைவகம், சக்தி சாதனம், MCU, LED, MEMS மற்றும் நிலையான வெப்பநிலை சீரான தன்மை, வாயு-பாய்ச்சல் கட்டுப்பாடு மற்றும் தீவிர-சுத்தமான செயல்முறை சூழல்கள் தேவைப்படும் பரந்த-பேண்ட்கேப் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி வரிகளை ஆதரிக்கின்றன.

3. முக்கிய தொழில்நுட்ப அளவுருக்கள்

• பொருள்: செமிகண்டக்டர்-கிரேடு டீஹைட்ராக்சிலேட்டட் ஃப்யூஸ்டு குவார்ட்ஸ் (SiO₂ ≥ 99.999%), குறைந்த ஹைட்ராக்சில், குறைந்த உலோக அசுத்தங்கள்

• வேஃபர் இணக்கத்தன்மை: 4 / 6 / 8 / 12 அங்குலம்

• நீண்ட கால வேலை வெப்பநிலை: −20 °C முதல் 1100 °C வரை; 1200 °C வரை குறுகிய கால உச்சநிலை

• செயல்முறை: ஒரு-துண்டு வெப்ப உருவாக்கம், சுவர் ஒருமைப்படுத்தல், இறுதி முடித்தல், மன அழுத்த நிவாரண அனீலிங், ஹீலியம் கசிவு சோதனை, அல்ட்ரா-கிளீனிங்

• கிடைக்கக்கூடிய கட்டமைப்புகள்: நேரான குழாய், குறைப்பான் குழாய், விளிம்பு குழாய், நீட்டிக்கப்பட்ட / தனிப்பயன்-நீளம் குழாய், சிறப்பு-இறுதி உள்ளமைவுகள்

• தனிப்பயனாக்கம்: உள்/வெளி விட்டம், நீளம், சுவர் தடிமன், விளிம்பு விவரக்குறிப்புகள் மற்றும் வாடிக்கையாளருக்கான சிறப்பு வடிவவியல்

4. VeTek குவார்ட்ஸ் உலை குழாய்களை ஏன் தேர்வு செய்ய வேண்டும்?

செமிகண்டக்டர் குவார்ட்ஸ் கூறுகளின் தொழில்முறை உற்பத்தியாளராக, VeTek செமிகண்டக்டர் வழங்குகிறது:

ஆக்சிஜனேற்றம், பரவல், LPCVD மற்றும் அனீலிங் உபகரணங்களுக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட உயர்-தூய்மை குவார்ட்ஸ் உலை குழாய்கள்

• கண்டிப்பான தூய்மைக் கட்டுப்பாடு, பரிமாணத் துல்லியம் மற்றும் 10 ஆம் வகுப்பு / 100 ஆம் வகுப்பு க்ளீன்ரூம் உற்பத்திக்கு ஏற்ற தூய்மை

செங்குத்து மற்றும் கிடைமட்ட குழாய் உலைகளுக்கான முழு தனிப்பயனாக்கம் மற்றும் OEM-இணக்கமான வடிவமைப்புகள்

செதில் படகுகள், சிலுவைகள், லைனர்கள் மற்றும் பிற செயல்முறை கூறுகள் உட்பட நிரப்பு குறைக்கடத்தி குவார்ட்ஸ் தயாரிப்புகள்

எங்களின் குவார்ட்ஸ் உலை குழாய்கள் நிலையான வெப்ப மற்றும் வாயு-பாய்ச்சல் நிலைமைகளை பராமரிக்கவும், துகள் மற்றும் உலோக மாசுபாட்டைக் குறைக்கவும், தொடர்ச்சியான உயர் வெப்பநிலை சைக்கிள் ஓட்டுதலின் கீழ் சேவை வாழ்க்கையை நீட்டிக்கவும் உதவுகின்றன-அதிக மகசூல் மற்றும் குறைக்கடத்தி வெப்ப செயலாக்கத்தில் உரிமையின் குறைந்த செலவை ஆதரிக்கிறது.