பீங்கான் எலக்ட்ரோஸ்டேடிக் சக்

குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகள், குறிப்பாக செதில் செயலாக்கம், ஒரு வெற்றிட சூழலில் மேற்கொள்ளப்படுகின்றன, மேலும் இயந்திரமயமாக்கல் செதில்கள் செல்கின்றன 

சில அபாயங்கள். ஃபோர்ஸ் கிளம்பிங் புள்ளியில் குவிந்து கொள்ளும்போது, ​​உடையக்கூடிய சிலிக்கான் செதில்கள் சிறிய துண்டுகளை சிந்தக்கூடும், இதனால் செதில் உற்பத்திக்கு கடுமையான சேதம் ஏற்படுகிறது.

இந்த வழக்கில், பீங்கான் எலக்ட்ரோஸ்டேடிக் சக் ஒரு சிறந்த தேர்வாக மாறும், இது மின்னியல் சக்தியால் செதில்களை சரிசெய்கிறது. மின்னியல் சக்தி செதிலில் சமமாக செயல்படுகிறது, எனவே செதில் தட்டையாக சரிசெய்யப்படலாம், இது செயல்முறையின் துல்லியத்தை மேம்படுத்துகிறது.

தொடர்புடைய ஆய்வுக் கட்டுரைகளின்படி, பீங்கான் எலக்ட்ரோஸ்டேடிக் சக் மற்ற மின்னியல் சக்ஸை விட வலுவான உறிஞ்சலைக் கொண்டுள்ளது. எடுத்துக்காட்டாக, பீங்கான் எலக்ட்ரோஸ்டேடிக் சக் செல்லப்பிராணி படமான எலக்ட்ரோஸ்டேடிக் சக் விட மிகவும் வலுவான உறிஞ்சலைக் கொண்டுள்ளது.

மட்பாண்ட சக் பொதுவாக AL2O3, ALN அல்லது SIC போன்ற உயர் செயல்திறன் கொண்ட பீங்கான் பொருட்களால் ஆனது, இது அதிக வெப்ப எதிர்ப்பு, காப்பு மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது. நுண்ணிய SIC பீங்கான் சக் தீவிர வெப்பநிலையில் நிலையானது மட்டுமல்லாமல், உற்பத்தி செயல்பாட்டின் போது ரசாயன உலைகள் மற்றும் பிளாஸ்மா பொறித்தல் காரணமாக பீங்கான் மின்-சக் சீரழிவிலிருந்து திறம்பட தடுக்கிறது.

வெப்பநிலை கட்டுப்பாடு: பீங்கான் பொருட்களின் அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் நிலையான வெப்ப பண்புகள் அலுமினா பீங்கான் வெற்றிட சக் வெப்பநிலையை திறம்பட கட்டுப்படுத்த உதவுகின்றன, இதனால் செயல்பாட்டின் போது வெப்பநிலை விநியோகத்தை மேம்படுத்துகிறது.

வெற்றிட தகவமைப்பு: பீங்கான் எலக்ட்ரோஸ்டேடிக் சக் வெற்றிட சூழல்களுக்கு ஏற்றது, குறிப்பாக குறைந்த அழுத்தம் மற்றும் உயர் துல்லியமான பொறித்தல் செயல்முறைகளில்.

குறைந்த துகள் உருவாக்கம்: நுண்ணிய SIC பீங்கான் இ-சக் ஒரு மென்மையான மேற்பரப்பைக் கொண்டுள்ளது, இது செதில் நிர்ணயிப்பின் போது துகள் மாசுபாட்டைக் குறைக்கும் மற்றும் தயாரிப்பு விளைச்சலை மேம்படுத்த உதவும்.

பயன்பாடு: முக்கியமாக குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் பயன்படுத்தப்படுகிறது, பிரிக்கக்கூடிய பீங்கான் எலக்ட்ரோஸ்டேடிக் சக் துல்லியமான நிலைப்படுத்தல் மற்றும் நிலைத்தன்மையை வழங்குகிறது, இது லித்தோகிராஃபி, பொறித்தல் மற்றும் பிற குறைக்கடத்தி வேஃபர் செயலாக்க உற்பத்தி செயல்முறைகளுக்கு மிகவும் உதவியாக இருக்கும். செயலாக்கத்தின் போது செதில் அப்படியே இருப்பதை உறுதிசெய்து, சிப் உற்பத்தியின் தரத்தை மேம்படுத்தவும்.

இது குறைக்கடத்திபீங்கான் இ-சக் உற்பத்தி கடைகள்: