உயர் தூய்மை SiC செதில் படகு கேரியர்

VeTekSemi உயர் தூய்மை SiC வேஃபர் படகு கேரியர் என்பது செமிகண்டக்டர் உற்பத்தி செயல்பாட்டில் அனீலிங் உலைகள், பரவல் உலைகள் மற்றும் பிற உபகரணங்களில் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு முக்கியமான தாங்கி கூறு ஆகும். உயர் தூய்மையான SiC செதில் படகு கேரியர் பொதுவாக உயர் தூய்மையான சிலிக்கான் கார்பைடு பொருட்களால் ஆனது மற்றும் முக்கியமாக பின்வரும் பகுதிகளை உள்ளடக்கியது:

• படகு ஆதரவு உடல்: ஒரு அடைப்புக்குறிக்கு ஒத்த ஒரு அமைப்பு, சிறப்பாகச் செல்ல பயன்படுகிறதுசிலிக்கான் செதில்கள்அல்லது பிற குறைக்கடத்தி பொருட்கள்.

• ஆதரவு அமைப்பு: அதன் ஆதரவு கட்டமைப்பு வடிவமைப்பு அதிக வெப்பநிலையில் அதிக சுமைகளைச் சுமக்க உதவுகிறது மற்றும் அதிக வெப்பநிலை சிகிச்சையின் போது சிதைக்கவோ அல்லது சேதம் செய்யவோாது.

சிலிக்கான் கார்பைடு பொருள்

இயற்பியல் பண்புகள்மறுபடிகப்படுத்தப்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைடு：

உற்பத்தி செயல்முறை தேவைகள் அதிகமாக இருந்தால்,சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூச்சுதூய்மை 99.99995%க்கும் அதிகமாக அடைய அதிக தூய்மை SIC WAFER படகு கேரியரில் செய்ய முடியும், இது அதன் உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பை மேலும் மேம்படுத்துகிறது.

சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்:

உயர் வெப்பநிலை சிகிச்சையின் போது, ​​உயர் தூய்மையான SiC செதில் படகு கேரியர், உள்ளூர் வெப்பமடைவதைத் தவிர்ப்பதற்காக சிலிக்கான் செதில்களை சமமாக சூடாக்க உதவுகிறது. கூடுதலாக, சிலிக்கான் கார்பைடு பொருளின் உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பானது 1200 டிகிரி செல்சியஸ் அல்லது அதற்கும் அதிகமான வெப்பநிலையில் கட்டமைப்பு நிலைத்தன்மையை பராமரிக்க உதவுகிறது.

பரவல் அல்லது வருடாந்திர செயல்பாட்டின் போது, ​​கான்டிலீவர் துடுப்பு மற்றும் உயர் தூய்மை சிக் வேஃபர் படகு கேரியர் ஆகியவை ஒன்றாக வேலை செய்கின்றன. திகான்டிலீவர் துடுப்புசிலிக்கான் செதில்களை எடுத்துச் செல்லும் உயர் தூய்மையான SiC வேஃபர் படகு கேரியரை உலை அறைக்குள் மெதுவாகத் தள்ளி, செயலாக்கத்திற்காக நியமிக்கப்பட்ட நிலையில் நிறுத்துகிறது. 

உயர் தூய்மையான SiC வேஃபர் படகு கேரியர் சிலிக்கான் செதில்களுடன் தொடர்பைப் பேணுகிறது மற்றும் வெப்ப சிகிச்சை செயல்பாட்டின் போது ஒரு குறிப்பிட்ட நிலையில் சரி செய்யப்படுகிறது, அதே சமயம் கான்டிலீவர் துடுப்பு வெப்பநிலை சீரான தன்மையை உறுதி செய்யும் போது முழு அமைப்பையும் சரியான நிலையில் வைத்திருக்க உதவுகிறது.

உயர் தூய்மையான SiC வேஃபர் படகு கேரியர் மற்றும் கான்டிலீவர் துடுப்பு ஆகியவை உயர் வெப்பநிலை செயல்முறையின் துல்லியம் மற்றும் நிலைத்தன்மையை உறுதிப்படுத்த ஒன்றாக வேலை செய்கின்றன.

உங்கள் தேவைகளுக்கு ஏற்ப தனிப்பயனாக்கப்பட்ட உயர் தூய்மை SIC WAFER படகு கேரியரை வெடெக் குறைக்கடத்தி உங்களுக்கு வழங்குகிறது. உங்கள் விசாரணையை எதிர்பார்க்கிறேன்.

இது குறைக்கடத்திஉயர் தூய்மை SIC WAFER படகு கேரியர் கடைகள்: