டான்டலம் கார்பைடு வளையம்

வெடெக் செமிகண்டக்டரின் டான்டலம் கார்பைடு (டிஏசி) வளையம் உயர்தர கிராஃபைட்டை முக்கிய பொருளாகப் பயன்படுத்துகிறது, மேலும் அதன் தனித்துவமான கட்டமைப்பிற்கு நன்றி, ஒரு படிக வளர்ச்சி உலையின் தீவிர நிலைமைகளின் கீழ் அதன் வடிவம் மற்றும் இயந்திர பண்புகளை பராமரிக்க முடிகிறது. கிராஃபைட்டின் உயர் வெப்ப எதிர்ப்பு முழுவதும் சிறந்த நிலைத்தன்மையை அளிக்கிறதுபடிக வளர்ச்சி செயல்முறை.

TAC வளையத்தின் வெளிப்புற அடுக்கு a உடன் மூடப்பட்டுள்ளதுடான்டலம் கார்பைடு பூச்சு. டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு வன்முறை வேதியியல் எதிர்வினைகளை திறம்பட தடுக்கவும், கிராஃபைட் கோர் உயர் வெப்பநிலை உலை வாயுக்களால் சிதைக்கப்படுவதை உறுதிசெய்யவும் ஒரு வலுவான தடையை வழங்குகிறது.

போதுசிலிக்கான் கார்பைடு (sic) படிக வளர்ச்சி, உயர்தர படிகங்களை உறுதி செய்வதற்கு நிலையான மற்றும் சீரான வளர்ச்சி நிலைமைகள் முக்கியம். வாயு ஓட்டத்தை ஒழுங்குபடுத்துவதிலும், உலைக்குள் வெப்பநிலை விநியோகத்தை மேம்படுத்துவதிலும் டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு வளையம் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது. ஒரு எரிவாயு வழிகாட்டி வளையமாக, TAC வளையம் வெப்ப ஆற்றல் மற்றும் எதிர்வினை வாயுக்களின் சீரான விநியோகத்தை உறுதி செய்கிறது, இதனால் சீரான வளர்ச்சி மற்றும் SIC படிகங்களின் நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது.

கூடுதலாக, கிராஃபைட்டின் உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன் டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட பாதுகாப்பு விளைவுடன் இணைந்து, டிஏசி வழிகாட்டி வளையத்தை எஸ்ஐசி படிக வளர்ச்சிக்குத் தேவையான உயர் வெப்பநிலை சூழலில் நிலையானதாக செயல்பட உதவுகிறது. உலையில் நிலைமைகளை பராமரிப்பதற்கு அதன் கட்டமைப்பு வலிமை மற்றும் பரிமாண நிலைத்தன்மை முக்கியமானது, இது உற்பத்தி செய்யப்படும் படிகங்களின் தரத்தை நேரடியாக பாதிக்கிறது. உலைக்குள் வெப்ப ஏற்ற இறக்கங்கள் மற்றும் வேதியியல் எதிர்வினைகளை குறைப்பதன் மூலம், TAC பூச்சு வளையம் உயர் செயல்திறன் கொண்ட குறைக்கடத்தி பயன்பாடுகளுக்கு சிறந்த மின்னணு பண்புகளைக் கொண்ட படிகங்களை உருவாக்க உதவுகிறது.

வெடெக் குறைக்கடத்தியின் டான்டலம் கார்பைடு மோதிரம் ஒரு முக்கிய அங்கமாகும்சிலிக்கான் கார்பைடு படிக வளர்ச்சி உலைகள்மற்றும் அதன் சிறந்த ஆயுள், வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் வேதியியல் எதிர்ப்பு ஆகியவற்றிற்காக நிற்கிறது. கிராஃபைட் கோர் மற்றும் டிஏசி பூச்சு ஆகியவற்றின் தனித்துவமான கலவையானது கடுமையான நிலைமைகளின் கீழ் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாட்டையும் செயல்பாட்டையும் பராமரிக்க அனுமதிக்கிறது. உலைக்குள் வெப்பநிலை மற்றும் வாயு ஓட்டத்தை துல்லியமாகக் கட்டுப்படுத்துவதன் மூலம், TAC பூச்சு வளையம் உயர்தர SIC படிகங்களின் உற்பத்திக்கு தேவையான நிபந்தனைகளை வழங்குகிறது, அவை அதிநவீன குறைக்கடத்தி கூறு உற்பத்திக்கு முக்கியமானவை.

ஒரு நுண்ணிய குறுக்குவெட்டில் டான்டலம் கார்பைடு (டிஏசி) பூச்சு：