தயாரிப்புகள்
தயாரிப்புகள்
எல்.ஈ.டி எபிடாக்ஸி பிராவிடன்ஸ்
  • எல்.ஈ.டி எபிடாக்ஸி பிராவிடன்ஸ்எல்.ஈ.டி எபிடாக்ஸி பிராவிடன்ஸ்

எல்.ஈ.டி எபிடாக்ஸி பிராவிடன்ஸ்

வெடெக் செமிகண்டக்டரின் எல்.ஈ.டி எபிடாக்ஸி சுசெப்டர் நீல மற்றும் பச்சை எல்.ஈ.டி எபிடாக்சியல் உற்பத்திக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. இது சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு மற்றும் எஸ்.ஜி.எல் கிராஃபைட் ஆகியவற்றை ஒருங்கிணைக்கிறது, மேலும் அதிக கடினத்தன்மை, குறைந்த கடினத்தன்மை, நல்ல வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் சிறந்த வேதியியல் நிலைத்தன்மை ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளது. எல்.ஈ.டி எபிடாக்ஸி சசெப்டர் வெடெக் குறைக்கடத்தியின் மிகச்சிறந்த தயாரிப்புகளில் ஒன்றாகும். உங்கள் விசாரணையை எதிர்பார்க்கிறோம்.

நீல மற்றும் பச்சை எல்.ஈ.டி உற்பத்தித் துறையில், தற்போதைய சந்தையில் சிறந்த தயாரிப்புகளில் ஒன்றாக எல்.ஈ.டி எபிடாக்ஸி சஸ்கெப்டர், வெடெக் குறைக்கடத்தியின் வலுவான உற்பத்தி திறன்களை நிரூபிக்கிறது. எல்.ஈ.டி ஈபிஐ சசெப்டர் AMEC MOCVD கருவிகளுடன் தடையின்றி இணைக்கப்பட்டுள்ளது, இது பெரிய நிறுவனங்களுடன் வெடெக் குறைக்கடத்தியின் நல்ல கூட்டுறவு உறவை நிரூபிக்கிறது. சிறந்த செயல்திறனை இணைத்தல்சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுஎஸ்.ஜி.எல் கிராஃபைட்டின் சிறந்த குணாதிசயங்களுடன், இந்த SUSSCECTOR LED EPITAXIAL வளர்ச்சிக்கு இணையற்ற ஆதரவை வழங்குகிறது, இது எல்.ஈ.டி நிறுவனங்கள் கடுமையான சந்தை போட்டியில் தனித்து நிற்க உதவுகிறது.


முக்கிய பொருள் நன்மைகள்


(I) சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு

சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு எல்.ஈ.டி எபிடாக்ஸி சசெப்டருக்கு சிறந்த மேற்பரப்பு கடினத்தன்மையை அளிக்கிறது, இது எல்.ஈ.டி எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியின் போது பல்வேறு உடல் உடைகள் மற்றும் கீறல்களை எதிர்க்க உதவுகிறது. நீண்ட காலமாக மேற்பரப்பின் தட்டையான தன்மை மற்றும் மென்மையை பராமரிப்பது எபிடாக்சியல் லேயர் வளர்ச்சியின் சீரான தன்மை பாதிக்கப்படுவதில்லை என்பதை உறுதி செய்கிறது, இது உற்பத்தியின் மகசூல் மற்றும் நிலைத்தன்மையை திறம்பட மேம்படுத்துகிறது. இதன்மூலம் படிக குறைபாடுகளின் உருவாக்கத்தை குறைத்து, நீல மற்றும் பச்சை எல்.ஈ.டிகளின் ஒளிரும் செயல்திறன் மற்றும் மின் செயல்திறனை கணிசமாக மேம்படுத்துகிறது. அதே நேரத்தில், திசிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுசிறந்த வேதியியல் நிலைத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளது. இது MOCVD கருவிகளில் உள்ள வேதியியல் எதிர்வினைகளுடன் வினைபுரியாது, அசுத்தங்களை அறிமுகப்படுத்துவதையும் பூச்சு அரிப்பையும் தவிர்க்கிறது.


(Ii) எஸ்ஜிஎல் கிராஃபைட்

வெடெக் குறைக்கடத்தி எஸ்.ஜி.எல் கிராஃபைட்டை அடி மூலக்கூறாகப் பயன்படுத்துகிறது. நீல மற்றும் பச்சை எல்.ஈ.டிகளின் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியின் போது, ​​எஸ்.ஜி.எல் கிராஃபைட் எதிர்வினையால் உருவாகும் வெப்பத்தை விரைவாக நடத்த முடியும், இது சசெப்டரின் வெப்பநிலை சாய்வைக் குறைத்து, முழு வளர்ச்சிப் பகுதியின் வெப்பநிலை சீரான தன்மையை உறுதி செய்கிறது. இது வெப்ப அழுத்தத்தால் ஏற்படும் படிக குறைபாடுகளைக் குறைக்க உதவுகிறது மற்றும் எல்.ஈ.டி சில்லுகளின் படிக தரம் மற்றும் நம்பகத்தன்மையை மேம்படுத்துகிறது.


எஸ்.ஜி.எல் கிராஃபைட்டின் நல்ல செயலாக்க செயல்திறன் பல்வேறு வகையான MOCVD உபகரணங்கள் மற்றும் எல்.ஈ.டி உற்பத்தி செயல்முறைகளின் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய பல்வேறு சிக்கலான வடிவங்கள் மற்றும் அளவுகளில் துல்லியமாக செயலாக்க அனுமதிக்கிறது.


SIC பூச்சு தொழில்நுட்ப செயல்திறன் குறிகாட்டிகள்


SIC பூச்சு தொழில்நுட்ப செயல்திறன் குறிகாட்டிகள்
சொத்து
வழக்கமான மதிப்பு
படிக அமைப்பு
FCC β கட்ட பாலிகிரிஸ்டலின், முக்கியமாக (111) நோக்கு
பூச்சு அடர்த்தி
3.21 கிராம்/செ.மீ
Sic பூச்சு கடினத்தன்மை
2500 விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை (500 கிராம் சுமை
தானிய அளவு
2 ~ 10 மி.மீ.
வேதியியல் தூய்மை
99.99995%
Sic பூச்சு வெப்ப திறன்
640 ஜே · கிலோ-1· கே-1
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை
2700
நெகிழ்வு வலிமை
415 MPa RT 4-POINT
யங்கின் மாடுலஸ்
430 ஜிபிஏ 4 பி.டி பெண்ட், 1300
வெப்ப கடத்துத்திறன்
300W · மீ-1· கே-1
வெப்ப விரிவாக்கம் (சி.டி.இ)
4.5 × 10-6K-1

வெடெக் செமிகண்டக்டர் ஒரு தொழில்முறை தொழில்நுட்பக் குழுவைக் கொண்டுள்ளது, இது வாடிக்கையாளர்களுக்கு எல்.ஈ.டி எபிடாக்ஸி சுசெப்டருக்கு முழு அளவிலான தொழில்நுட்ப ஆலோசனை சேவைகளை வழங்க முடியும். இது உற்பத்தியின் கொள்கை மற்றும் பண்புகள், அல்லது உண்மையான பயன்பாடுகளில் செயல்முறை தேர்வுமுறை மற்றும் சிக்கல் தீர்க்கும், வாடிக்கையாளர்களின் தொழில்நுட்ப நிலை மற்றும் உற்பத்தி திறனை மேம்படுத்த எங்கள் வல்லுநர்கள் விரிவான மற்றும் தொழில்முறை வழிகாட்டுதல்களை வழங்க முடியும்.


சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூச்சு படத்தின் SEM தரவு

SEM DATA OF CVD SIC COATING FILM


இது குறைக்கடத்திஎல்.ஈ.டி எபிடாக்ஸி சசெப்டர் தயாரிப்பு கடைகள்

SiC Coating Wafer CarrierSemiconductor process equipmentCVD SiC Focus RingOxidation and Diffusion Furnace Equipment


சூடான குறிச்சொற்கள்: எல்.ஈ.டி எபிடாக்ஸி பிராவிடன்ஸ்
விசாரணையை அனுப்பு
தொடர்பு தகவல்
  • முகவரி

    வாங்டா சாலை, ஜியாங் தெரு, வுயி கவுண்டி, ஜின்ஹுவா நகரம், ஜெஜியாங் மாகாணம், சீனா

  • டெல்

    +86-18069220752

  • மின்னஞ்சல்

    anny@veteksemi.com

சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு, டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு, சிறப்பு கிராஃபைட் அல்லது விலைப்பட்டியல் பற்றிய விசாரணைகளுக்கு, தயவுசெய்து உங்கள் மின்னஞ்சலை எங்களுக்கு அனுப்பவும், நாங்கள் 24 மணி நேரத்திற்குள் தொடர்பில் இருப்போம்.
X
உங்களுக்கு சிறந்த உலாவல் அனுபவத்தை வழங்கவும், தள போக்குவரத்தை பகுப்பாய்வு செய்யவும் மற்றும் உள்ளடக்கத்தைத் தனிப்பயனாக்கவும் நாங்கள் குக்கீகளைப் பயன்படுத்துகிறோம். இந்தத் தளத்தைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம், எங்கள் குக்கீகளைப் பயன்படுத்துவதை ஒப்புக்கொள்கிறீர்கள். தனியுரிமைக் கொள்கை
நிராகரிக்கவும் ஏற்றுக்கொள்