LPE ரியாக்டருக்கான 8 இன்ச் ஹாஃப்மூன் பகுதி

தொழில்முறை உற்பத்தியாளராக, வெடெக் செமிகண்டக்டர் எல்பிஇ உலைக்கு உயர் தரமான 8 அங்குல அரைமூன் பகுதியை உங்களுக்கு வழங்க விரும்புகிறது.

LPE உலைக்கான VeTek செமிகண்டக்டர் 8 அங்குல அரை நிலவு பகுதி, குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகளில், குறிப்பாக SiC எபிடாக்சியல் உபகரணங்களில் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு முக்கிய அங்கமாகும். VeTek செமிகண்டக்டர், LPE அணு உலைக்கான 8 அங்குல அரை நிலவுப் பகுதியைத் தயாரிக்க காப்புரிமை பெற்ற தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்துகிறது. கூடுதலாக, இந்த பாகங்கள் குறிப்பிடத்தக்க இரசாயன எதிர்ப்பு மற்றும் வெப்ப நிலைத்தன்மை பண்புகளை வெளிப்படுத்துகின்றன.

LPE உலைக்கான 8 அங்குல அரை நிலவு பகுதியின் முக்கிய பகுதி உயர்-தூய்மை கிராஃபைட்டால் ஆனது, இது சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் இயந்திர நிலைத்தன்மையை வழங்குகிறது. உயர்-தூய்மை கிராஃபைட் அதன் குறைந்த தூய்மையற்ற உள்ளடக்கத்திற்காக தேர்வு செய்யப்படுகிறது, இது எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்முறையின் போது குறைந்தபட்ச மாசுபாட்டை உறுதி செய்கிறது. அதன் வலிமையானது LPE அணுஉலைக்குள் தேவைப்படும் நிலைமைகளைத் தாங்க அனுமதிக்கிறது.

வெடெக் செமிகண்டக்டர் எஸ்.ஐ.சி பூசப்பட்ட கிராஃபைட் ஹாஃப்மூன் பாகங்கள் மிகவும் துல்லியமாகவும், விவரங்களுக்கு கவனமாகவும் தயாரிக்கப்படுகின்றன. பயன்படுத்தப்பட்ட பொருட்களின் அதிக தூய்மை குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் சிறந்த செயல்திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மைக்கு உத்தரவாதம் அளிக்கிறது. இந்த பகுதிகளின் சீரான பூச்சு அவர்களின் சேவை வாழ்நாள் முழுவதும் நிலையான மற்றும் திறமையான செயல்பாட்டை உறுதி செய்கிறது.

எங்கள் SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் ஹாஃப்மூன் பாகங்களின் முக்கிய நன்மைகளில் ஒன்று அவற்றின் சிறந்த இரசாயன எதிர்ப்பாகும். செமிகண்டக்டர் உற்பத்தி சூழலின் அரிக்கும் தன்மையை அவை தாங்கும், நீண்ட கால நீடித்து நிலைத்திருப்பதை உறுதிசெய்து, அடிக்கடி மாற்றுவதற்கான தேவையை குறைக்கும். மேலும், அவற்றின் விதிவிலக்கான வெப்ப நிலைத்தன்மை அதிக வெப்பநிலை நிலைகளின் கீழ் அவற்றின் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாடு மற்றும் செயல்பாட்டை பராமரிக்க அனுமதிக்கிறது.

எங்கள் SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் ஹாஃப்மூன் பாகங்கள் SiC எபிடாக்சியல் உபகரணங்களின் கடுமையான தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்யும் வகையில் உன்னிப்பாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன. அவற்றின் நம்பகமான செயல்திறனுடன், இந்த பாகங்கள் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்முறைகளின் வெற்றிக்கு பங்களிக்கின்றன, உயர்தர SiC படங்களின் படிவுகளை செயல்படுத்துகிறது.

CVD SIC கோட்டிங் ஃபிலிம் கிரிஸ்டல் அமைப்பு: