தயாரிப்புகள்
தயாரிப்புகள்
SiC பூசப்பட்ட எபி ரிசெப்டர்
  • SiC பூசப்பட்ட எபி ரிசெப்டர்SiC பூசப்பட்ட எபி ரிசெப்டர்
  • SiC பூசப்பட்ட எபி ரிசெப்டர்SiC பூசப்பட்ட எபி ரிசெப்டர்

SiC பூசப்பட்ட எபி ரிசெப்டர்

சிலிக்கான் கார்பைடு மற்றும் டான்டலம் கார்பைடு பூச்சுகளின் சிறந்த உள்நாட்டு உற்பத்தியாளராக, வெடெக் செமிகண்டக்டர் எஸ்ஐசி பூசப்பட்ட ஈபிஐ சுசெப்டரின் துல்லியமான எந்திரத்தையும் சீரான பூச்சுவும் வழங்க முடியும், இது 5 பிபிஎம் கீழே பூச்சு மற்றும் உற்பத்தியின் தூய்மையை திறம்பட கட்டுப்படுத்துகிறது. தயாரிப்பு வாழ்க்கை எஸ்.ஜி.எல் உடன் ஒப்பிடத்தக்கது. எங்களை விசாரிக்க வரவேற்கிறோம்.

எங்கள் தொழிற்சாலையில் இருந்து SiC கோடட் எபி சஸ்செப்டரை வாங்க நீங்கள் உறுதியாக இருக்க முடியும்.


வெடெக் செமிகண்டக்டர் எஸ்.ஐ.சி பூசப்பட்ட ஈபிஐ சசெப்டர் என்பது எபிடாக்சியல் பீப்பாய் என்பது பல நன்மைகளைக் கொண்ட குறைக்கடத்தி எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்முறைக்கு ஒரு சிறப்பு கருவியாகும்:


LPE SI EPI Susceptor Set

● திறமையான உற்பத்தி திறன்: VeTek செமிகண்டக்டரின் SiC கோடட் எபி சஸ்செப்டர் பல செதில்களுக்கு இடமளிக்கும், இது ஒரே நேரத்தில் பல செதில்களின் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியை சாத்தியமாக்குகிறது. இந்த திறமையான உற்பத்தி திறன் உற்பத்தி திறனை பெரிதும் மேம்படுத்தி உற்பத்தி சுழற்சிகள் மற்றும் செலவுகளை குறைக்கும்.

● உகந்த வெப்பநிலை கட்டுப்பாடு: SiC கோடட் Epi Susceptor ஆனது, தேவையான வளர்ச்சி வெப்பநிலையை துல்லியமாக கட்டுப்படுத்தவும் பராமரிக்கவும் மேம்பட்ட வெப்பநிலை கட்டுப்பாட்டு அமைப்புடன் பொருத்தப்பட்டுள்ளது. நிலையான வெப்பநிலை கட்டுப்பாடு சீரான எபிடாக்சியல் அடுக்கு வளர்ச்சியை அடைய உதவுகிறது மற்றும் எபிடாக்சியல் அடுக்கின் தரம் மற்றும் நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்துகிறது.

● சீரான வளிமண்டல விநியோகம்: SIC பூசப்பட்ட EPI SUSSCECTOR வளர்ச்சியின் போது ஒரு சீரான வளிமண்டல விநியோகத்தை வழங்குகிறது, இது ஒவ்வொரு செதிலையும் ஒரே வளிமண்டல நிலைமைகளுக்கு வெளிப்படும் என்பதை உறுதி செய்கிறது. இது செதில்களுக்கு இடையிலான வளர்ச்சி வேறுபாடுகளைத் தவிர்க்க உதவுகிறது மற்றும் எபிடாக்சியல் அடுக்கின் சீரான தன்மையை மேம்படுத்துகிறது.

● பயனுள்ள தூய்மையற்ற கட்டுப்பாடு: SiC கோடட் Epi Susceptor வடிவமைப்பு, அசுத்தங்களின் அறிமுகம் மற்றும் பரவலைக் குறைக்க உதவுகிறது. இது நல்ல சீல் மற்றும் வளிமண்டலக் கட்டுப்பாட்டை வழங்கலாம், எபிடாக்சியல் லேயரின் தரத்தில் அசுத்தங்களின் தாக்கத்தைக் குறைக்கலாம், இதனால் சாதனத்தின் செயல்திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மையை மேம்படுத்தலாம்.

● நெகிழ்வான செயல்முறை வளர்ச்சி: Epi Susceptor நெகிழ்வான செயல்முறை மேம்பாட்டு திறன்களைக் கொண்டுள்ளது, இது விரைவான சரிசெய்தல் மற்றும் வளர்ச்சி அளவுருக்களை மேம்படுத்த அனுமதிக்கிறது. இது பல்வேறு பயன்பாடுகள் மற்றும் தேவைகளின் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி தேவைகளை பூர்த்தி செய்ய விரைவான செயல்முறை மேம்பாடு மற்றும் தேர்வுமுறையை மேற்கொள்ள ஆராய்ச்சியாளர்கள் மற்றும் பொறியாளர்களுக்கு உதவுகிறது.


சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்:

CVD SiC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்
சொத்து வழக்கமான மதிப்பு
படிக அமைப்பு FCC β கட்ட பாலிகிரிஸ்டலின், முக்கியமாக (111) சார்ந்தது
Sic பூச்சு அடர்த்தி 3.21 கிராம்/செ.மீ.
சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பூச்சு கடினத்தன்மை 2500 விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை (500 கிராம் சுமை
தானிய அளவு 2 ~ 10 மி.மீ.
இரசாயன தூய்மை 99.99995%
வெப்ப திறன் 640 ஜே · கிலோ-1·கே-1
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை 2700
நெகிழ்வு வலிமை 415 MPa RT 4-POINT
யங்ஸ் மாடுலஸ் 430 Gpa 4pt வளைவு, 1300℃
வெப்ப கடத்துத்திறன் 300W · மீ-1·கே-1
வெப்ப விரிவாக்கம் (சி.டி.இ) 4.5×10-6K-1


இது குறைக்கடத்திஇதனால் பூசப்பட்ட எபி கல்விதயாரிப்பு கடை

VeTek Semiconductor SiC Coated Epi Susceptor Production Shop

செமிகண்டக்டர் சிப் எபிடாக்ஸி தொழில் சங்கிலியின் கண்ணோட்டம்:

SiC Epitaxy Si Epitaxy GaN Epitaxy


சூடான குறிச்சொற்கள்: SiC பூசப்பட்ட எபி ரிசெப்டர்
விசாரணையை அனுப்பு
தொடர்பு தகவல்
  • முகவரி

    வாங்டா சாலை, ஜியாங் தெரு, வுயி கவுண்டி, ஜின்ஹுவா நகரம், ஜெஜியாங் மாகாணம், சீனா

  • டெல்

    +86-18069220752

  • மின்னஞ்சல்

    anny@veteksemi.com

For inquiries about Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Special Graphite or price list, please leave your email to us and we will be in touch within 24 hours.
X
உங்களுக்கு சிறந்த உலாவல் அனுபவத்தை வழங்கவும், தள போக்குவரத்தை பகுப்பாய்வு செய்யவும் மற்றும் உள்ளடக்கத்தைத் தனிப்பயனாக்கவும் நாங்கள் குக்கீகளைப் பயன்படுத்துகிறோம். இந்தத் தளத்தைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம், எங்கள் குக்கீகளைப் பயன்படுத்துவதை ஒப்புக்கொள்கிறீர்கள். தனியுரிமைக் கொள்கை
நிராகரிக்கவும்ஏற்றுக்கொள்