அலுமினியம் நைட்ரைடு (AlN) செராமிக் எலக்ட்ரோஸ்டேடிக் சக்

1.நன்மைகள்

• திறமையான வெப்ப பரிமாற்றம் மற்றும் வெப்பநிலை சீரான தன்மைக்கு ~180 W/m·K வரை வெப்ப கடத்துத்திறன் கொண்ட உயர்-தூய்மை AlN செராமிக்

• வலுவான மின் காப்பு மற்றும் அதிக அளவு எதிர்ப்பாற்றல் 1-3 kV இல் நிலையான இறுக்கத்தை ஆதரிக்கிறது (அதிக மின்னழுத்தங்கள் கிடைக்கும்)

• தனிப்பயன் மின்கடத்தா அடுக்கு பொருட்கள் மற்றும் மின்முனை தளவமைப்புகள்: கூலம்ப் அல்லது ஜான்சன்-ரஹ்பெக் (JR); ஒற்றை அல்லது பல மண்டலம்

• வேகமான கிளாம்ப் மற்றும் டி-கிளாம்ப் செயல்திறன், பொதுவாக 0.1 வினாடிக்கு கீழ்

• மேற்பரப்பு டிம்பிள் நுண் கட்டமைப்புகள் ~300 μm விட்டம் வரை, தொடர்பு பகுதியை ~1% வரை குறைக்கிறது

• உயர் தட்டை திறன்; 300 மிமீ கிளாஸ் பிளாட்ஃபார்ம்களுக்கு 0.5-3 μm PV வரிசையில் பொதுவான உலகளாவிய சமதளம்

• பூஜ்ஜியத்திற்கு அருகில் நீர் உறிஞ்சுதல் மற்றும் செயல்முறை சூழல்களுக்கு நல்ல இரசாயன எதிர்ப்புடன் கூடிய அடர்த்தியான நுண் கட்டமைப்பு

2.வழக்கமான பயன்பாடுகள்

அலுமினியம் நைட்ரைடு செராமிக் எலக்ட்ரோஸ்டேடிக் சக்ஸ் பாதுகாப்பான செதில் வைத்திருத்தல் மற்றும் கட்டுப்படுத்தப்பட்ட வெப்ப நடத்தை ஆகிய இரண்டும் தேவைப்படும் செயல்முறை படிகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது:

• உலர் பிளாஸ்மா எட்ச் (ICP / RIE) மற்றும் தொடர்புடைய அறை செயல்முறைகள்

• CVD, PEALD, தெர்மல் ALD மற்றும் பிற மெல்லிய-பட படிவு நிலைகள்

• சீரான செதில் வெப்பநிலை தேவைப்படும் அனீலிங் மற்றும் வெப்ப செயல்முறை தொகுதிகள்

• ஆய்வு, அளவியல் மற்றும் துல்லிய நிலைகள் குறைந்த துகள் மற்றும் நிலையான இறுக்கம் ஆகியவை முக்கியமானவை

3.AlN பொருள் தரங்கள் - வழக்கமான பண்புகள்

VeTek வெப்ப கடத்துத்திறன், இயந்திர வலிமை மற்றும் ESC வடிவமைப்புகளுக்கான செலவு ஆகியவற்றை சமப்படுத்த பல அலுமினிய நைட்ரைடு தரங்களை வழங்குகிறது:

அலகுகள்: W/(m·K) இல் வெப்ப கடத்துத்திறன்; kV/mm இல் மின்கடத்தா வலிமை; தொகுதி எதிர்ப்பு Ω·cm (25 °C); 1 மெகா ஹெர்ட்ஸ் மின்கடத்தா மாறிலி. மதிப்புகள் வழக்கமானவை மற்றும் செயல்முறை மற்றும் பகுதி வடிவவியலில் மாறுபடலாம்.

4.வழக்கமான ESC வடிவமைப்பு அளவுருக்கள்

5.ஏன் சூபார்க்க VeTek AlN மின்னியல் சக்ஸ்?

VeTek செமிகண்டக்டர், வெப்ப செயல்திறன் மற்றும் நம்பகமான கிளாம்பிங் ஆகிய இரண்டும் தேவைப்படும் குறைக்கடத்தி வாடிக்கையாளர்களுக்கு துல்லியமான ESC உற்பத்தியுடன் மேம்பட்ட AlN மட்பாண்டங்களை ஒருங்கிணைக்கிறது:

• ~90 முதல் ~180 W/m·K வரையிலான வெப்ப கடத்துத்திறன் கொண்ட பல AlN கிரேடுகள் செயல்முறை வெப்ப வரவுசெலவுகளை பொருத்துவதற்கு

• கூலம்ப் அல்லது ஜேஆர் கிளாம்பிங் நடத்தைக்கான நெகிழ்வான மின்முனை மற்றும் மின்கடத்தா வடிவமைப்பு

• தட்டையான தன்மை, மேற்பரப்பு நுண் கட்டமைப்பு மற்றும் மின் காப்பு செயல்திறன் ஆகியவற்றின் இறுக்கமான கட்டுப்பாடு

• முழு வாழ்க்கைச் சுழற்சி ஆதரவு: வடிவமைப்பு, புதிய உருவாக்கம் மற்றும் பல நிலை புதுப்பித்தல்

சீரான செதில் வெப்பநிலை மற்றும் சுத்தமான, மீண்டும் மீண்டும் செய்யக்கூடிய கிளாம்பிங் ஆகியவற்றைச் சார்ந்திருக்கும் எட்ச், டெபாசிஷன் மற்றும் வெப்பக் கருவிகளுக்கு, VeTek அலுமினியம் நைட்ரைடு செராமிக் எலக்ட்ரோஸ்டேடிக் சக்ஸ் பயன்பாடு சார்ந்த பொறியியல் ஆதரவுடன் உயர் செயல்திறன் கொண்ட செராமிக் தளத்தை வழங்குகிறது.