வீகோ மோக்விடி பிராவிடன்ஸ்

குறைக்கடத்தியை கையாள்கிறதுவீகோ மோக்விடிவேஃபர் சசெப்டர் ஒரு முக்கியமான அங்கமாகும், இது அல்ட்ராபூர் கிராஃபைட்டைப் பயன்படுத்தி ஒரு நெருக்கமாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளதுசிலிக்கான் கார்பைடு (sic) பூச்சு. இதுSic பூச்சுபல நன்மைகளை வழங்குகிறது, குறிப்பாக அடி மூலக்கூறுக்கு திறமையான வெப்ப பரிமாற்றத்தை செயல்படுத்துகிறது. சீரான வெப்பநிலை கட்டுப்பாட்டுக்கு அடி மூலக்கூறு முழுவதும் உகந்த வெப்ப விநியோகத்தை அடைவது அவசியம், சீரான, உயர்தர மெல்லிய-பட படிவத்தை உறுதி செய்கிறது, இது குறைக்கடத்தி சாதன புனையலில் முக்கியமானது.

தொழில்நுட்ப அளவுருக்கள்

பொருள் பண்புகளின் அணி

முக்கிய குறிகாட்டிகள் நிலையான பாரம்பரிய தீர்வுகளை வெட்டெக்

அடிப்படை பொருள் தூய்மை 6N ஐசோஸ்டேடிக் கிராஃபைட் 5n மோல்டட் கிராஃபைட்

CTE பொருந்தக்கூடிய பட்டம் (25-1400 ℃) Δα ≤0.3 × 10⁻⁶/ k Δα ≥1.2 × 10⁻⁶/ k

வெப்ப கடத்துத்திறன் @800 ℃ 110 w/m · k 85 w/m · k

மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை (RA) ≤0.1μm ≥0.5μm

அமில சகிப்புத்தன்மை (pH = 1@80 ℃) 1500 சுழற்சிகள் 300 சுழற்சிகள்

முக்கிய நன்மை புனரமைப்பு

வெப்ப மேலாண்மை கண்டுபிடிப்பு

அணு CTE பொருந்தும் நுட்பம்

ஜப்பான் டோயோ கார்பன் கிராஃபைட்/எஸ்ஜிஎல் அடி மூலக்கூறு + சாய்வு எஸ்ஐசி பூச்சு

வெப்ப சுழற்சி மன அழுத்தம் 82% குறைக்கப்பட்டது (1400 ℃↔RT 500 சுழற்சிகள் விரிசல் இல்லாமல் அளவிடப்படுகிறது)

நுண்ணறிவு வெப்ப புலம் வடிவமைப்பு

12-மண்டல வெப்பநிலை இழப்பீட்டு அமைப்பு: ± 200 மிமீ செதில் மேற்பரப்பில் ± 0.5 ℃ சீரான தன்மையை அடைகிறது

டைனமிக் வெப்ப பதில்: வெப்பநிலை சாய்வு 5 ℃/s வெப்ப விகிதத்தில் ≤1.2 ℃/செ.மீ.

வேதியியல் பாதுகாப்பு அமைப்பு
மூன்று கலப்பு தடை

50μm அடர்த்தியான SIC முதன்மை பாதுகாப்பு அடுக்கு

நானோடாக் மாற்றம் அடுக்கு (விரும்பினால்)

எரிவாயு கட்ட ஊடுருவல் அடர்த்தி

ASTM G31-21 ஆல் சரிபார்க்கப்பட்டது:

சி.எல் அடிப்படை அரிப்பு வீதம் <0.003 மிமீ/ஆண்டு

தானிய எல்லை அரிப்பு இல்லாமல் 1000 மணிநேரத்திற்கு NH3 வெளிப்படும்

நுண்ணறிவு உற்பத்தி முறை

டிஜிட்டல் இரட்டை செயலாக்கம்

ஐந்து-அச்சு எந்திர மையம்: நிலை துல்லியம் ± 1.5μm

ஆன்லைன் 3D ஸ்கேனிங் ஆய்வு: 100% முழு அளவு சரிபார்ப்பு (ASME Y14.5 க்கு இணங்க)

காட்சி அடிப்படையிலான மதிப்பு விளக்கக்காட்சி

மூன்றாம் தலைமுறை குறைக்கடத்தி வெகுஜன உற்பத்தி

பயன்பாட்டு காட்சி செயல்முறை அளவுருக்கள் வாடிக்கையாளர் நன்மைகள்

கான் ஹெம்ட் 6 அங்குல /150μm எபிடாக்சியல் இரு பரிமாண எலக்ட்ரான் வாயு அடர்த்தி ஏற்ற இறக்கம் <2%

Sic mosfet c ஊக்கமருந்து சீரான தன்மை ± 3% வாசல் மின்னழுத்த விலகல் 40% குறைக்கப்படுகிறது

மைக்ரோ எல்.ஈ.டி அலைநீள சீரான தன்மை ± 1.2 என்எம் சிப் பின் வீதம் 15% அதிகரித்துள்ளது

பராமரிப்பு செலவு தேர்வுமுறை

துப்புரவு காலம் 3 மடங்கு நீட்டிக்கப்படுகிறது: HF: HNO ₃ = 1: 3 உயர் தீவிர சுத்தம் ஆதரிக்கப்படுகிறது

உதிரி பாகங்கள் வாழ்க்கை முன்கணிப்பு அமைப்பு: AI அல்காரிதம் துல்லியம் ± 5%

வெடெக் செமிகண்டக்டர் வீகோ மோக்விடி சசெப்டர் கடைகள்: