தொழில் செய்திகள்

ஃபேப் தொழிற்சாலையில் பல வகையான அளவீட்டு உபகரணங்கள் உள்ளன. பொதுவான உபகரணங்களில் லித்தோகிராஃபி செயல்முறை அளவீட்டு உபகரணங்கள், பொறித்தல் செயல்முறை அளவீட்டு உபகரணங்கள், மெல்லிய திரைப்பட படிவு செயல்முறை அளவீட்டு உபகரணங்கள், ஊக்கமருந்து செயல்முறை அளவீட்டு உபகரணங்கள், சி.எம்.பி செயல்முறை அளவீட்டு உபகரணங்கள், செதில் துகள் கண்டறிதல் உபகரணங்கள் மற்றும் பிற அளவீட்டு உபகரணங்கள் அடங்கும்.

டான்டலம் கார்பைடு (டிஏசி) பூச்சு உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, அரிப்பு எதிர்ப்பு, இயந்திர பண்புகள் மற்றும் வெப்ப மேலாண்மை திறன்களை மேம்படுத்துவதன் மூலம் கிராஃபைட் பகுதிகளின் ஆயுளை கணிசமாக நீட்டிக்க முடியும். அதன் உயர் தூய்மை பண்புகள் தூய்மையற்ற மாசுபாட்டைக் குறைக்கின்றன, படிக வளர்ச்சி தரத்தை மேம்படுத்துகின்றன, மேலும் ஆற்றல் செயல்திறனை மேம்படுத்துகின்றன. அதிக வெப்பநிலை, அதிக அரிக்கும் சூழல்களில் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி மற்றும் படிக வளர்ச்சி பயன்பாடுகளுக்கு இது ஏற்றது.

டான்டலம் கார்பைடு (டிஏசி) பூச்சுகள் குறைக்கடத்தி துறையில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, முக்கியமாக எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி உலை கூறுகள், ஒற்றை படிக வளர்ச்சி முக்கிய கூறுகள், உயர் வெப்பநிலை தொழில்துறை கூறுகள், எம்ஓசிவிடி சிஸ்டம் ஹீட்டர்கள் மற்றும் செதில் கேரியர்கள்.

SiC எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்பாட்டின் போது, ​​SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் இடைநீக்க தோல்வி ஏற்படலாம். இந்த கட்டுரை SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் இடைநீக்கத்தின் தோல்வி நிகழ்வின் கடுமையான பகுப்பாய்வை நடத்துகிறது, இதில் முக்கியமாக இரண்டு காரணிகள் அடங்கும்: SiC எபிடாக்சியல் வாயு தோல்வி மற்றும் SiC பூச்சு தோல்வி.

இந்தக் கட்டுரை முக்கியமாக மூலக்கூறு பீம் எபிடாக்ஸி செயல்முறை மற்றும் உலோக-கரிம இரசாயன நீராவி படிவு தொழில்நுட்பங்களின் தொடர்புடைய செயல்முறை நன்மைகள் மற்றும் வேறுபாடுகளைப் பற்றி விவாதிக்கிறது.

வெடெக் செமிகண்டக்டரின் நுண்ணிய டான்டலம் கார்பைடு, ஒரு புதிய தலைமுறை எஸ்.ஐ.சி படிக வளர்ச்சிப் பொருளாக, பல சிறந்த தயாரிப்பு பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் பல்வேறு குறைக்கடத்தி செயலாக்க தொழில்நுட்பங்களில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது.